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公开(公告)号：CN110987089A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911366444.6
申请日：2019-12-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于传感器设计与制造领域，并具体公开了一种单金属层电极的多功能柔性变胞传感器、制备方法及应用。所述传感器包括金属功能层以及柔性基底，金属功能层包括第一应变栅、第一叉指电极、引线一以及引线二，第一应变栅包括M个首尾依次连接且平行布置的S型结构，第一叉指电极包括M根平行布置的叉指结构。所述制备方法包括基底层和牺牲层的制备、金属功能层的制备、传感器的剥离。本发明多功能柔性变胞传感器可应用于温度、应变、流速和湿度的测量。本发明可通过引线之间的变拓扑切换实现多功能小尺寸原位感知，同时，可实现少量引脚的变拓扑多模态的变胞感知，还可采用两种原理测量相互补充验证提高系统的鲁棒性和稳定性。
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公开(公告)号：CN110816055A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911192414.8
申请日：2019-11-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于喷墨打印领域，并具体公开了一种基于等离子体射流引导的喷墨打印装置及喷印方法。该喷墨打印装置包括喷墨喷头和等离子体喷头，其中喷墨喷头工作时喷嘴的一端与供墨单元连接，另一端与输送针头连接，同时该喷嘴与第一电源连接；等离子体喷头中喷头主体设置有气体导路用于放置电极针，并通过进气孔通入工作气体，工作时电极针与第二电源连接，通过放电形成等离子体射流，作用于基板使其区域化带电，带电荷的墨液在等离子体射流的引导下沉积到基板的指定位置，以此完成喷墨打印。本发明能够克服厚基板接高压电源地极无效的问题，同时能够克服喷墨打印在曲面基板、绝缘基板上打印精度不高的问题，有效提高喷墨打印的精度、分辨率和便捷度。
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公开(公告)号：CN109307809B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201810993609.1
申请日：2018-08-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01R29/14
Abstract: 本发明属于电场测量相关技术领域，其公开了一种采用粒子图像测速的电场测量设备及方法，所述设备包括示踪粒子、示踪粒子带电系统、视觉测量系统及计算机辅助处理控制系统，所述示踪粒子带电系统及所述视觉测量系统分别连接于所述计算机辅助处理控制系统；所述示踪粒子带电系统用于分批次地给所述示踪粒子提供动能并对所述示踪粒子进行上电；所述视觉测量系统用于实时地捕获被测空间电场中运动的所述示踪粒子的图像，并将捕获的图像传输给所述计算机辅助处理控制系统；所述计算机辅助处理控制系统用于实时地对接收到的图像进行处理以得到被测空间电场的整体电场分布及强度信息。本发明能够实现实时测量，且精度及效率较高，灵活性较好。
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公开(公告)号：CN109243982B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201811011385.6
申请日：2018-08-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/48
Abstract: 本发明属于曲面集成电路制造相关技术领域，其公开了一种制造曲面集成电路的电流体喷印刻蚀方法，该方法包括以下步骤：(1)制定曲面集成电路的平面电路图并进行分区；(2)将平面电路图布置到曲面基板三维模型上，以得到曲面集成设计电路；(3)对镀膜后的曲面基板进行扫描以识别及获取曲面基板的点云数据，进而得到曲面基板三维模型；(4)将曲面集成设计电路布置到新曲面基板三维模型上，以得到喷印图案；(5)生成喷印轨迹的代码，进而得到运动代码；(6)共形喷印设备执行运动代码以进行共形喷印，并将喷印后的曲面基板进行刻蚀以得到曲面喷印电路；(7)贴装芯片以得到曲面集成电路。本发明提高了集成度，适用性较好，制造精度高。
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公开(公告)号：CN108982003B
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201810510476.8
申请日：2018-05-24
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于传感器领域，并公开了飞行器智能蒙皮非均匀传感器阵列，包括次级阵列传感器组和主阵列传感器组，该非均匀传感器阵列是通过次级阵列传感器组替换M×N传感器组的任意一个主传感器单元形成，所述次级阵列传感器组由M′行、N′列的次级传感器单元形成；所述M×N传感器组由M行、N列的主传感器单元形成；所述主阵列传感器组由所述M×N传感器组去除被次级阵列传感器组替换的主传感器单元后，剩余的主传感器单元所形成。本发明优化了传感器的阵列布局，利用少量的传感器有效获取与更大规模均匀传感器阵列几乎等效的有效数据信息，同时避免无用测点的布置，容易实现更大面积的功能扩展，适合集成到飞行器蒙皮中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110588186A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201910726036.0
申请日：2019-08-07
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性显示器件制造相关技术领域，并公开一种喷墨打印柔性显示器件制造系统，其包括基板输入模块、基板转移模块、喷印模块、喷印后处理模块、固含量检测模块、薄膜封装喷印模块、成膜检测模块和基板输出模块等，同时对这些功能模块进行了高度集成及结构和布置的优化设计。本发明还公开了相应的工艺方法。通过本发明，可形成一种更适于工业级应用的喷墨打印柔性显示器件制造系统，同时采用多个检测模块对制造流程进行监控，更有效地实现了柔性显示器件喷墨打印制造的制造效率高、器件良品率高和生产成本低等优点。
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公开(公告)号：CN107195569B
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201710326311.0
申请日：2017-05-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/3065
Abstract: 本发明属于半导体器件相关技术领域，其公开了一种微等离子体刻蚀加工装置，所述微等离子体刻蚀加工装置包括第一运动机构、第二运动机构及电喷印喷头，所述电喷印喷头连接于所述第一运动机构；所述微等离子体刻蚀加工装置还包括单针式等离子体喷头及扫描式等离子体喷头；所述单针式等离子体喷头及所述扫描式等离子体喷头之一可拆卸地连接于所述第二运动机构上，所述第二运动机构带动所述单针式等离子体喷头或者所述扫描式等离子体喷头进行移动，进而采用直写式或者掩膜式对石墨烯薄膜进行图形化加工。本发明还涉及微等离子刻蚀加工方法。上述的微等离子体刻蚀加工装置可同时实现直写式及掩膜式，依工况选择直写式或者掩膜式，提高了效率及精度。
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公开(公告)号：CN108621580B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201810389436.2
申请日：2018-04-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明属于电流体动力喷印设备相关技术领域，其公开了电流体动力打印喷头，所述电流体动力打印喷头包括集成偏转电极及集成喷头，所述集成偏转电极连接于所述集成喷头的一端；所述集成喷头包括喷头外壳及四个喷头，所述喷头的一端收容于所述喷头外壳；所述喷头邻近所述集成偏转电极的一端形成有喷嘴；所述集成偏转电极包括环状的偏转电极连接块及四个偏转电极，所述偏转电极连接块连接于所述喷头外壳远离所述喷头接口的一端；四个所述偏转电极连接于所述偏转电极连接块；四个所述偏转电极的位置分别与四个所述喷嘴的位置相对应。本发明还涉及电流体动力打印装置。本发明提高了打印精度，扩宽了打印色域，且提高了打印色彩的真实度。
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公开(公告)号：CN109664493A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811524382.2
申请日：2018-12-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于功能薄膜的技术领域，并公开了一种可图形化调控功能薄膜润湿性的高效等离子体方法。该方法包括下列步骤：(a)选取一维纳米材料和粘性热塑性材料制备基体薄膜；(b)采用等离子体射流在相应的气体氛围下来回扫描基体薄膜的一维纳米材料，以此将所述基体薄膜的表面疏水化/亲水化，即获得所需的功能薄膜；(c)再次采用等离子射流在功能薄膜上局部逐点扫描或者图案化扫描形成亲水/疏水图案，该亲水/疏水图案用于调节所述功能薄膜的润湿性。通过本发明，为高效收集空气中水分或者表面复杂流道提供了一种有效的新途径，在调控微区润湿性、微流道、新能源等领域有着潜在的应用。
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公开(公告)号：CN109524512A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811360533.5
申请日：2018-11-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微型元件巨量转移相关技术领域，其公开了一种基于可控微反射镜阵列的微型发光二极管巨量转移方法，该方法包括以下步骤：(1)将红色微型发光二极管阵列、蓝色微型发光二极管阵列及绿色微型发光二极管阵列分别粘接在三个临时转移基板上；(2)分别将上述三种颜色的微型发光二极管阵列自对应的所述临时转移基板转移至透明基板上，该透明基板设置有激光释放层；(3)紫外激光经该可控微反射镜阵列后被分为三束图案化激光，该三束图案化激光分别照射于三种微型发光二极管所连接的激光释放层上，进而使三种颜色的微型发光二极管选择性地转移至目标基板上。本发明提高了转移效率，且可同时转移红、绿、蓝三种颜色的微型发光二极管。
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