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公开(公告)号:CN110588186B
公开(公告)日:2020-07-10
申请号:CN201910726036.0
申请日:2019-08-07
申请人: 华中科技大学
摘要: 本发明属于柔性显示器件制造相关技术领域,并公开一种喷墨打印柔性显示器件制造系统,其包括基板输入模块、基板转移模块、喷印模块、喷印后处理模块、固含量检测模块、薄膜封装喷印模块、成膜检测模块和基板输出模块等,同时对这些功能模块进行了高度集成及结构和布置的优化设计。本发明还公开了相应的工艺方法。通过本发明,可形成一种更适于工业级应用的喷墨打印柔性显示器件制造系统,同时采用多个检测模块对制造流程进行监控,更有效地实现了柔性显示器件喷墨打印制造的制造效率高、器件良品率高和生产成本低等优点。
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公开(公告)号:CN112937122B
公开(公告)日:2022-11-11
申请号:CN202110115691.X
申请日:2021-01-28
申请人: 华中科技大学
摘要: 本发明属于喷墨打印相关技术领域,更具体地,涉及一种均匀喷射的电喷印喷头及系统。一种均匀喷射的电喷印喷头,该喷头包括流道和喷嘴,其中,流道包括墨水入口、墨水出口和微流道,微流道一端与墨水入口连接,另一端与墨水出口连接,该微流道为从墨水入口出发并关于该墨水入口对称的一级或多级的二分叉结构,喷嘴均匀分布在该二分叉结构的末端分支上;电喷印过程中,墨水出口关闭,墨水从墨水入口进入微流道,然后从喷嘴中喷出,以此进行电喷印。通过本发明,实现各个喷嘴墨水流量的均匀分配,从而实现喷墨打印的一致性,解决打印不均匀,无法多色、多材料打印的难题。
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公开(公告)号:CN113478973B
公开(公告)日:2022-04-29
申请号:CN202110609528.9
申请日:2021-06-01
申请人: 华中科技大学
IPC分类号: B41J2/095
摘要: 本发明属于喷墨打印技术领域,并具体公开了一种抑制射流倾斜的阵列化电流体喷印控制方法及装置,其包括如下步骤:给点火喷嘴施加工作电压,使该点火喷嘴发生喷射,同时给点火喷嘴相邻的非点火喷嘴施加调控电压,使该非点火喷嘴不喷射,并能对点火喷嘴喷射处的电场进行调节,从而抑制射流倾斜。本发明可以解决目前阵列化电流体喷印喷头的独立喷射控制需求,通过高低压电场调控、喷嘴三态切换和间隔点火时序控制的方法,有效减少了喷射时的射流倾斜现象,同时为阵列化电流体喷印喷头的自动化控制和图案化打印打下了基础,且装置具有结构简单、同步性高、可靠性强且便于扩展等优点。
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公开(公告)号:CN110497698B
公开(公告)日:2020-05-19
申请号:CN201910757729.6
申请日:2019-08-16
申请人: 华中科技大学
IPC分类号: B41J2/14 , B41J2/145 , B41J2/125 , B41J29/377
摘要: 本发明属于喷墨打印设备相关技术领域,并公开了一种集成式喷头模组结构,其呈现由多个板状组件共同封闭而成的框架式模组形式,并且在其内部设置有墨水喷头及其配套的喷头附件,其中底板组件用于精确定位及安装墨水喷头,后板组件用于喷头模组的自动快速外接电气接口,前板组件用于喷头模组的稳定提升,顶板组件用于灌装墨液及拿取模组,封板组件用于封闭模组及散热等。通过本发明,在获得便捷组装、通用性强的喷头模组结构的同时,还便于实现XYZ三轴方向上的自由调节,动态实时地调整喷头的高精度位姿,同时可自动快速地与外部电气接头相连等,因而尤其适用于喷墨打印柔性器件制造之类的应用场合。
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公开(公告)号:CN110497698A
公开(公告)日:2019-11-26
申请号:CN201910757729.6
申请日:2019-08-16
申请人: 华中科技大学
IPC分类号: B41J2/14 , B41J2/145 , B41J2/125 , B41J29/377
摘要: 本发明属于喷墨打印设备相关技术领域,并公开了一种集成式喷头模组结构,其呈现由多个板状组件共同封闭而成的框架式模组形式,并且在其内部设置有墨水喷头及其配套的喷头附件,其中底板组件用于精确定位及安装墨水喷头,后板组件用于喷头模组的自动快速外接电气接口,前板组件用于喷头模组的稳定提升,顶板组件用于灌装墨液及拿取模组,封板组件用于封闭模组及散热等。通过本发明,在获得便捷组装、通用性强的喷头模组结构的同时,还便于实现XYZ三轴方向上的自由调节,动态实时地调整喷头的高精度位姿,同时可自动快速地与外部电气接头相连等,因而尤其适用于喷墨打印柔性器件制造之类的应用场合。
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公开(公告)号:CN106654013B
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201611197642.0
申请日:2016-12-22
申请人: 华中科技大学
摘要: 本发明属于半导体与电喷印技术领域,具体涉及一种薄膜晶体管精细掩模板的制备方法及采用该掩模板制备薄膜晶体管的方法,首先使用激光切割技术得到阵列化、镂空的金属薄板,采用静电纺丝技术在金属薄板上制备横跨镂空部分的纤维,使得镂空部分被分为间距为亚微米甚至纳米级的两块区域。以打印有纤维的金属薄板为掩模板,在半导体层上采用蒸镀或溅射的方式同时构造源极和漏极,源漏极之间的沟道长度略小于纤维直径,纤维直径宽度可实现范围为50nm~30μm,从而可以获得性能优异的TFT器件。本发明提出的精细掩模板制备方法和采用该精细掩模板制备薄膜晶体管的方法,工艺流程少,成本低,可以实现大面积、阵列化制备,有利于得到高集成度、高性能的薄膜晶体管器件。
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公开(公告)号:CN106654013A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201611197642.0
申请日:2016-12-22
申请人: 华中科技大学
CPC分类号: H01L51/0545 , C23C14/042 , H01L51/0011
摘要: 本发明属于半导体与电喷印技术领域,具体涉及一种薄膜晶体管精细掩模板的制备方法及采用该掩模板制备薄膜晶体管的方法,首先使用激光切割技术得到阵列化、镂空的金属薄板,采用静电纺丝技术在金属薄板上制备横跨镂空部分的纤维,使得镂空部分被分为间距为亚微米甚至纳米级的两块区域。以打印有纤维的金属薄板为掩模板,在半导体层上采用蒸镀或溅射的方式同时构造源极和漏极,源漏极之间的沟道长度略小于纤维直径,纤维直径宽度可实现范围为50nm~30μm,从而可以获得性能优异的TFT器件。本发明提出的精细掩模板制备方法和采用该精细掩模板制备薄膜晶体管的方法,工艺流程少,成本低,可以实现大面积、阵列化制备,有利于得到高集成度、高性能的薄膜晶体管器件。
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公开(公告)号:CN112265379B
公开(公告)日:2022-02-15
申请号:CN202011163873.6
申请日:2020-10-27
申请人: 华中科技大学
摘要: 本发明属于喷墨打印装置领域,并具体公开了一种抑制电场串扰的独立可控阵列化电喷印喷头,其包括喷孔芯片、流道层、电路板、墨盒和外壳,其中:喷孔芯片包括喷孔板、电极板和电极组件,喷孔板上开设有多个喷孔,喷孔板一侧设有多个电极引脚;电极板设置在喷孔板下方,该电极板上开设有电极板通孔,电极板下端设有静电透镜;电极组件包括控制电极和屏蔽电极,控制电极单独对每个喷孔处的电场进行调节,屏蔽电极用于降低各喷孔间电场串扰;流道层安装在电路板上;电路板安装在外壳底部,其下表面设有多个焊盘,焊盘与电极引脚对应连接;墨盒安装在外壳内部。本发明可实现独立可控的高分辨率打印,且效率高、减少了喷嘴间串扰。
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公开(公告)号:CN112937122A
公开(公告)日:2021-06-11
申请号:CN202110115691.X
申请日:2021-01-28
申请人: 华中科技大学
摘要: 本发明属于喷墨打印相关技术领域,更具体地,涉及一种均匀喷射的电喷印喷头及系统。一种均匀喷射的电喷印喷头,该喷头包括流道和喷嘴,其中,流道包括墨水入口、墨水出口和微流道,微流道一端与墨水入口连接,另一端与墨水出口连接,该微流道为从墨水入口出发并关于该墨水入口对称的一级或多级的二分叉结构,喷嘴均匀分布在该二分叉结构的末端分支上;电喷印过程中,墨水出口关闭,墨水从墨水入口进入微流道,然后从喷嘴中喷出,以此进行电喷印。通过本发明,实现各个喷嘴墨水流量的均匀分配,从而实现喷墨打印的一致性,解决打印不均匀,无法多色、多材料打印的难题。
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公开(公告)号:CN110588186A
公开(公告)日:2019-12-20
申请号:CN201910726036.0
申请日:2019-08-07
申请人: 华中科技大学
摘要: 本发明属于柔性显示器件制造相关技术领域,并公开一种喷墨打印柔性显示器件制造系统,其包括基板输入模块、基板转移模块、喷印模块、喷印后处理模块、固含量检测模块、薄膜封装喷印模块、成膜检测模块和基板输出模块等,同时对这些功能模块进行了高度集成及结构和布置的优化设计。本发明还公开了相应的工艺方法。通过本发明,可形成一种更适于工业级应用的喷墨打印柔性显示器件制造系统,同时采用多个检测模块对制造流程进行监控,更有效地实现了柔性显示器件喷墨打印制造的制造效率高、器件良品率高和生产成本低等优点。
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