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公开(公告)号：CN107174284A
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201710553431.4
申请日：2017-07-08
Applicant: 中北大学
CPC classification number: A61B8/0825 , A61B8/145 , A61B8/15 , A61B8/40 , A61B8/4494
Abstract: 本发明为一种基于CMUT环形阵列的乳腺超声成像系统及其检测方法，该系统包括检测床板、CMUT环形阵列超声测试装置、控制系统、计算机；检测床板上设有两个检测窗口，检测床板下方设有水箱；CMUT环形阵列超声测试装置由电动旋转台、圆筒夹具和CMUT阵列换能器组成。该检测方法为待测乳房放入CMUT环形阵列超声测试装置中，CMUT阵列换能器逐一阵元进行扫描，利用透射信号和反射信号获得乳房断层信息，电动旋转台每转动3°扫描一次，直到转动90°，获得乳房所有断层信息，然后分别利用透射信号和反射信号进行3D成像，最后对比分析，准确诊断乳腺状况。本发明具有自动化程度高、非接触测量、适用广泛等优点。
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公开(公告)号：CN105006520B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201510335552.2
申请日：2015-06-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种隧穿压力传感器，它的单元传感器采用双势垒单势阱系统，势阱层采用阱结构，由两端的六方氮化硼和夹在中间的Be离子掺杂氮化硼组成；第一势垒层和第二势垒层为石墨烯薄膜层并分别设有金属电极；氧化硅基底顶部长有六方氮化硼衬底，第一势垒层和第二势垒层长在六方氮化硼衬底上表面，氧化硅基底底部设硅电极；单元传感器以N×N的方式排列于六方氮化硼衬底表面；在第一势垒层和第二势垒层之间施加偏置电压Vb=0.3‑0.5V，在第二层势垒和硅电极之间施加栅极电压Vg=14‑16V。相比于其他类型的压力传感器，本发明所设计的隧穿压力传感器的稳定性更好，灵敏度比硅制力敏薄膜传感器要高近一个数量级。
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公开(公告)号：CN106338617A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201610785127.8
申请日：2016-08-31
Applicant: 中北大学
IPC: G01P5/08
CPC classification number: G01P5/08
Abstract: 本发明涉及矿用MEMS风速计，具体是一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法。一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法，包括以下步骤（：a）Parylene薄膜淀积：在矢量风速计外表面上采用CVD方法淀积2微米厚的Parylene薄膜；b）利用ICP刻蚀机对Parylene薄膜进行加工，采用SF6进行等离子体处理，在Parylene薄膜表面就形成高疏水表面。本发明利用Parylene薄膜的绝缘性，基于仿荷叶自洁效应的疏水处理方式，然后采用SF6等离子处理在Parylene薄膜表面形成高疏水表面，实现了微结构的电绝缘自清洁，具有一致性好、可批量加工的优点。
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公开(公告)号：CN106153243A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610488805.4
申请日：2016-06-29
Applicant: 中北大学
IPC: G01L19/06
CPC classification number: G01L19/06 , G01L19/0645
Abstract: 本发明涉及海洋湍流探测，具体是一种MEMS湍流传感器封装方法。本发明针对MEMS湍流传感器在海中应用可靠性封装的技术瓶颈问题，提出Parylene薄膜淀积、保护罩、保护杆和中空壳体结合的保护方式，解决电绝缘、防腐蚀、耐高静水压、防碰撞、防泥沙堵塞等问题。本发明适用于MEMS湍流传感器的封装。
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公开(公告)号：CN103424770B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201310362765.5
申请日：2013-08-20
Applicant: 中北大学
IPC: G01V1/00
Abstract: 本发明涉及管道内检测器的定位技术，具体是一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列。本发明解决了现有管道内检测器的定位技术定位精确性低的问题。一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列包括两个四梁臂硅微结构、两个微型柱状体、两个中心连接体、以及检测电路；两个四梁臂硅微结构和两个中心连接体均位于同一平面；两个微型柱状体的上端各自垂直固定于两个中心连接体的下表面中央。本发明适用于油气管道的内检测器的声定位，也适用于各类管道的泄漏检测定位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105486399A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201510956913.5
申请日：2015-12-21
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种用于测距和成像的微电容超声波换能器及其制备方法，本发明在微电容超声波换能器图形化上电极与振动薄膜之间增加了一层二氧化硅隔离层，防止上电极与振动薄膜之间形成欧姆接触，使微电容超声波换能器的上电极面积增大，提高了微电容超声波换能器的带宽和发射声压。本发明具有结构简单、工艺可控性好、成本低和适于大批量生产等优点。
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公开(公告)号：CN103528663B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201310512073.4
申请日：2013-10-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01H3/00
Abstract: 本发明为一种具有隔振功能的MEMS矢量水听器封装结构，该封装结构减小了工作环境对MEMS矢量水听器性能指标的影响。该装置包括内设放大电路板的外支柱、软支柱、支撑底盘和透声帽，支撑底盘上安装有软支座，软支座包括设有缓冲孔和缓冲凸块的支撑柱体，支撑柱体顶部设有底板和安装槽，安装槽内安装有MEMS矢量水听器。检测时，工作平台的振动噪声通过外支柱向MEMS水听器传播的路径上，外支柱可以阻隔掉噪声中高于软支撑结构固有频率的大部分噪声成分，软支座可以滤除掉部分未被软支撑隔掉的振动噪声。本发明开创性地利用封装材料的特性和结构设计来实现对水听器的隔振要求，设计结构简单，隔振效果明显。
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公开(公告)号：CN104749566A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510140302.3
申请日：2015-03-27
Applicant: 中北大学
IPC: G01S7/52
CPC classification number: G01S7/521
Abstract: 本发明涉及一种固定于浮体的水听器的工作状态模拟平台，包括平台支架、动力源，平台支架的四周对称地设置数个圆盘，圆盘通过动力源进行驱动旋转，其中同方向的每两个圆盘为一组，且每组的两个圆盘的端面相对设置，相对设置的圆盘之间设置连杆，每组圆盘之间的连杆通过直杆连接，其中任意一根或两根直杆上连接水听器，直杆与连杆形成的结构在圆盘的带动下跟随圆盘活动，本发明结构简单，价格低廉，尺寸、动力大小可随实验需求进行更改。
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公开(公告)号：CN104121984A
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201410402582.6
申请日：2014-08-16
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明涉及矢量水听器，具体是一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构。本发明解决了现有矢量水听器抗干扰能力差、灵敏度低的问题。一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构，包括四梁臂硅微结构、微型柱状体、中心连接体、驱动电极、检测电极；其中，四梁臂硅微结构和中心连接体均位于同一平面；微型柱状体的下端垂直固定于中心连接体的上表面中央；驱动电极的数目、检测电极的数目均为八个；第一个驱动电极铺设于四梁臂硅微结构的前梁臂的上表面左前部；第二个驱动电极铺设于四梁臂硅微结构的前梁臂的上表面左后部。本发明适用于水下声压信号的精确定位和测量。
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公开(公告)号：CN103064060B
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201210557743.X
申请日：2012-12-20
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种四元阵列MEMS矢量水听器微结构。本发明包括正方形衬底，正方形衬底上刻蚀有四个十字形悬臂梁，每个十字形悬臂梁中心固定有微型柱状体，十字形悬臂梁的梁臂上设有压敏电阻，四个十字形悬臂梁相对于正方形衬底之间的角度各不相同，分别为0o、30o、45o和60o。本发明微结构采用MEMS工艺制成，具有高灵敏度、低功耗、微体积的优点。与现有单矢量水听器相比，利用本发明微结构制作的水听器定向精度高、空间分辨率力强，可有效的消除了左右舷模糊问题。与传统的水听器阵列相比，本发明极大的缩小了阵列尺寸，并且本发明列阵采用MEMS工艺一次成型，各阵元间具有极高的一致性，为后续算法解算减轻压力。
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