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公开(公告)号：CN109579975B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201811551375.1
申请日：2018-12-19
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种X、Y方向振动抑制的三维矢量水听器，包括基片和纤毛，基片由中心质量块、梁和边框组成，在每个梁的末端各分布一个压敏电阻。中心质量块的每边通过两个梁悬挂在边框上，即中心质量块右边、上边、左边和下边分别通过梁与边框连接，将中心质量块悬挂在边框上。质量块、梁与边框之间留有一定的空隙，通过限制中心质量块在笛卡尔坐标系中X方向和Y方向的位移达到抗过载的目的；中心质量块与下盖板之间留有一定的空隙，通过限制中心质量块在笛卡尔坐标中Z方向的位移达到抗过载的目的；中心质量块的厚度和面积变大，使得水听器受到振动信号作用时，质量块对梁的弯矩可以抵消纤毛对梁的弯矩达到降低水听器振动灵敏度的目的。
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公开(公告)号：CN107290567A
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201710350326.0
申请日：2017-05-18
Applicant: 中北大学
CPC classification number: G01P15/18 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81C1/0038 , B81C1/00523 , B81C3/001 , G01P15/123 , G01P2015/0862
Abstract: 本发明公开了一种具有抗过载能力的压阻式三轴加速度传感器，包括基片，所述基片的中心刻蚀出质量块（1）和八个矩形梁（2），所述质量块（1）上部边缘四边通过矩形梁（2）与基片一体连接，即质量块（1）右边通过梁L1和梁L2与基片边框连接、其上边通过梁L3和梁L4与基片边框连接、其左边通过梁L5和梁L6与基片边框连接、其下边通过梁L7和梁L8与基片边框连接；则，梁与梁之间、质量块边缘与基片之间、梁与基片之间均留有抗过载间隙（6）。本发明通过限制质量块的移动位移实现了三轴加速度传感器在笛卡尔坐标系中X、Y和Z三个方向的抗过载。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107271720A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710350327.5
申请日：2017-05-18
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
CPC classification number: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种低轴间耦合度的八梁三轴加速度传感器，包括边框（1），所述边框（1）中部设有敏感质量块（2），所述敏感质量块（2）每边通过两个平行的矩形梁（3）与边框（1）连接；具体为，所述敏感质量块（2）右边通过梁L1和梁L2与边框（1）连接、其上边通过梁L3和梁L4与边框（1）连接、其左边通过梁L5和梁L6与边框（1）连接、其下边通过梁L7和梁L8与边框（1）连接。本发明通过合理的增加压敏电阻的数量并正确的布置压敏电阻的位置，解决了梁结构压阻式加速度传感器结构上必然导致轴间耦合度大的难题，有效降低了传感器的轴间耦合度。
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公开(公告)号：CN107271720B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201710350327.5
申请日：2017-05-18
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种低轴间耦合度的八梁三轴加速度传感器，包括边框（1），所述边框（1）中部设有敏感质量块（2），所述敏感质量块（2）每边通过两个平行的矩形梁（3）与边框（1）连接；具体为，所述敏感质量块（2）右边通过梁L1和梁L2与边框（1）连接、其上边通过梁L3和梁L4与边框（1）连接、其左边通过梁L5和梁L6与边框（1）连接、其下边通过梁L7和梁L8与边框（1）连接。本发明通过合理的增加压敏电阻的数量并正确的布置压敏电阻的位置，解决了梁结构压阻式加速度传感器结构上必然导致轴间耦合度大的难题，有效降低了传感器的轴间耦合度。
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公开(公告)号：CN109579975A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811551375.1
申请日：2018-12-19
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种X、Y方向振动抑制的三维矢量水听器，包括基片和纤毛，基片由中心质量块、梁和边框组成，在每个梁的末端各分布一个压敏电阻。中心质量块的每边通过两个梁悬挂在边框上，即中心质量块右边、上边、左边和下边分别通过梁与边框连接，将中心质量块悬挂在边框上。质量块、梁与边框之间留有一定的空隙，通过限制中心质量块在笛卡尔坐标系中X方向和Y方向的位移达到抗过载的目的；中心质量块与下盖板之间留有一定的空隙，通过限制中心质量块在笛卡尔坐标中Z方向的位移达到抗过载的目的；中心质量块的厚度和面积变大，使得水听器受到振动信号作用时，质量块对梁的弯矩可以抵消纤毛对梁的弯矩达到降低水听器振动灵敏度的目的。
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公开(公告)号：CN107727885A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201711113324.6
申请日：2017-11-13
Applicant: 中北大学
CPC classification number: G01P15/124 , G01P15/18
Abstract: 本发明公开了一种具有高输出稳定性的压阻式三轴加速度计，包括SOI基片、上玻璃盖板和下玻璃盖板，中心质量块通过八个矩形梁支撑在回形边框上。在梁上的每个压敏电阻四周都通过离子注入磷元素进行重掺杂，通过一个焊盘接入一个不低于惠斯通电桥供电电压的电势，避免了压敏电阻条的漏电现象，实现了压阻式加速度计的输出的稳定性。
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公开(公告)号：CN105486399A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201510956913.5
申请日：2015-12-21
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种用于测距和成像的微电容超声波换能器及其制备方法，本发明在微电容超声波换能器图形化上电极与振动薄膜之间增加了一层二氧化硅隔离层，防止上电极与振动薄膜之间形成欧姆接触，使微电容超声波换能器的上电极面积增大，提高了微电容超声波换能器的带宽和发射声压。本发明具有结构简单、工艺可控性好、成本低和适于大批量生产等优点。
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