一种直写系统运动平台的正交性测定方法

    公开(公告)号:CN105629678B

    公开(公告)日:2017-09-19

    申请号:CN201610047977.8

    申请日:2016-01-25

    Abstract: 本发明公开了一种直写系统运动平台的正交性测定方法,包括以下步骤:步骤一,设计光刻文件,使其四个角具有定位标记点;步骤二,将基板固定于运动平台上;步骤三,根据光刻文件对基板进行直写曝光;步骤四,记录下基板各个侧边对应运动平台的XY方向,然后进行显影、清洗、烘干;步骤五,将基板旋转90°后固定于直写系统的运动平台上;步骤六,移动运动平台,分别使得四个定位标记点位于CCD的中心位置,并记录下相应的位置坐标;步骤七,将位置坐标连线形成平行四边形,计算运动平台的正交性。本发明相较于现有技术,无需借助第三方设备与工具,周期快,简单便捷,成本低,而且适用于大幅面平台的校正。

    全息立体投影屏及其投影方法

    公开(公告)号:CN103488036B

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201310437594.8

    申请日:2013-09-24

    Abstract: 本发明公开了一种全息立体投影屏及其投影方法,投影屏包括基材层,与所述基材层的表面结合,分布有离轴响应结构和可控扩散结构,离轴响应结构使入射光整体偏折向观察区域;可控扩散结构使入射光沿一维或二维方向扩散,实现离散三维空间角谱的线性插值,形成连续的三维空间信息,实现立体投影;所述离轴响应结构和可控扩散结构的参数分别独立调制。投影光线由多束不同角度入射的携带有该角度图像信息的光线组成,投影光线由离轴响应结构偏折至观察区域,并由可控扩散结构作用形成扩散光线,不同角度入射的光线的扩散光线相互拼接形成连续的空间角谱。本发明可同时实现离轴投影和全息立体投影,立体效果好,能量利用率高。

    一种背光模组中的导光组件结构及其制作方法

    公开(公告)号:CN100529810C

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200710135196.5

    申请日:2007-11-13

    Abstract: 本发明公开了一种背光模组中的导光组件结构,包括导光基材以及导光基材表面制备形成的导光网点结构,其特征在于:包括至少两层导光基材重叠组合构成,每层所述导光基材为厚度50um~150um的导光膜;各层所述基材上的导光网点结构分布位置相互互补;其制作方法:(1)根据LED光源的厚度与导光薄膜材料厚度,确定多层组合的层数;(2)根据LED光源亮度数据及发光面积,确定初始的导光网点分布;(3)根据步骤(2)数据及布点方式进行相应调整;(4)制作相应导光模仁小样;(5)制作各层导光膜,并进行组装。本发明充分利用了LED光源能量,并有效地提高了发光均匀度,多层重叠结构获得更好的触感。

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