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公开(公告)号：CN102944980A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201210434531.2
申请日：2012-11-02
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种具有永磁重力支撑结构的微动台，主要用于光刻机工件台系统中。该微动台包括微动台定子、微动台动子以及至少三个永磁重力支撑单元，所述的至少三个永磁重力支撑单元绕微动台的Z轴均布在微动台边缘；每个永磁重力支撑单元含有固定部分和支撑部分；所述固定部分是空心圆柱永磁体，其空心圆柱永磁体沿轴向充磁下底面为S极，上底面为N极；支承部分由两个同轴，沿半径并指向圆心方向充磁的圆环永磁体组成；固定部分的空心圆柱永磁体与双层圆环永磁体同轴布置，并位于所述的双层圆环永磁体上方。本发明所述支承结构能够降低行程范围内沿轴线方向的刚度，同时提高承载能力。
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公开(公告)号：CN101719712B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200910243477.1
申请日：2009-12-24
Applicant: 清华大学
IPC: H02K41/02
CPC classification number: H02K41/02
Abstract: 一种动铁式直线电机线圈阵列功率驱动分配方法，该方法是将动铁式直线电机长方形定子线圈阵列分成n个划分区域，每个划分区域分为工作状态区域和过渡状态区域，根据每个划分区域中的线圈数量，确定功率驱动器的总数量，组成驱动器阵列，将驱动器阵列通过开关设备与定子线圈阵列连接，并保证每个驱动器与每个划分区域内对应位置的线圈通过开关设备连接。本发明根据动子磁钢阵列所在位置，确定线圈阵列的作用范围，利用过渡状态区域的限定，控制线圈通断及电流，实现动子的大行程直线运动。本发明可解决定子线圈数量多，引起的驱动器数量过多而带来结构复杂及驱动器设备总费用过于昂贵问题。
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公开(公告)号：CN101719712A
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200910243477.1
申请日：2009-12-24
Applicant: 清华大学
IPC: H02K41/02
CPC classification number: H02K41/02
Abstract: 一种动铁式直线电机线圈阵列功率驱动分配方法，该方法是将动铁式直线电机长方形定子线圈阵列分成n个划分区域，每个划分区域分为工作状态区域和过渡状态区域，根据每个划分区域中的线圈数量，确定功率驱动器的总数量，组成驱动器阵列，将驱动器阵列通过开关设备与定子线圈阵列连接，并保证每个驱动器与每个划分区域内对应位置的线圈通过开关设备连接。本发明根据动子磁钢阵列所在位置，确定线圈阵列的作用范围，利用过渡状态区域的限定，控制线圈通断及电流，实现动子的大行程直线运动。本发明可解决定子线圈数量多，引起的驱动器数量过多而带来结构复杂及驱动器设备总费用过于昂贵问题。
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公开(公告)号：CN100371944C
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200610011416.9
申请日：2006-03-03
Applicant: 清华大学
Inventor： 张利
Abstract: 本发明属于数字图像分析和计算机视觉领域。该方法是在对图像进行噪声滤除后，根据反射或透射光强分布呈凸函数或凹函数的特性以及目标和背景的亮暗关系，分别以图像行或列的方式对图像的每行或每列进行图像背景点的寻找；在图像上按照纵横等距的方式均匀地设置关键点坐标，如果关键点的位置是已经找到的背景点，则坐标不再变，如果不是，则把周围最近的背景点坐标作为关键点新坐标；再利用插值方法由上述找到的关键点构造出图像背景；将构造出的图像背景与原始图像差的绝对值作为目标图像；对得到的目标图像进行全局阈值分割就是所期望的分割结果。本方法简单易行，而且精度较高，易于推广。
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公开(公告)号：CN205607402U
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201620341930.8
申请日：2016-04-21
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G01C21/00
Abstract: 基于一维运动机构和二维位置传感器的六自由度定位系统，该系统包括半导体激光器、光纤准直器、光纤分路器、滤光片、两个一维运动机构、三个PSD传感器及信号处理系统。半导体激光器发射的激光照射到光纤准直器，后经光纤分路器分成三路，三路光经输出光纤和滤光片后，分别由三个PSD传感器接收；激光光斑在三个PSD传感器的位置和两个一维运动机构的位移经信号处理系统处理，得到空间六自由度的物体位姿。该定位系统采用非接触式测量，避免线缆对平台运动精度的影响，并采用一维运动机构进行跟踪测量，解决了二维位置敏感传感器测量行程不足的问题，具有定位精度高、测量行程大、响应快、结构简单及成本低的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN203838476U
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201420219639.4
申请日：2014-04-28
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台，该粗微动一体掩模台包括粗微动一体掩模台动台、平衡质量、驱动电动机、掩模板、基座、隔振系统及测量系统；隔振系统位于平衡质量与基座之间，掩模板安装在粗微动一体掩模台动台上；掩模台动台的驱动电动机为动铁式平面电动机，该平面电动机动子为安装在粗微动一体掩模台动台顶面的永磁体阵列，平面电动机定子为安装在平衡质量上的线圈阵列。本实用新型可降低掩模台动台驱动电动机的设计复杂性；与直线电动机相比，平面电动机能够提供更多方向的推力，减少电动机的数量，使粗微动一体掩模台动台结构更加紧凑，提高粗微动一体掩模台动台的固有频率及控制带宽，进而提高控制精度。
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公开(公告)号：CN203365914U
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201320346593.8
申请日：2013-06-17
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种带自动抓取抬升机构的六自由度微动台，主要应用于半导体光刻设备中。本实用新型是在现有六自由度微动台的基础上增加了一个自动抓取抬升机构，该自动抓取抬升机构含有驱动模块、导向模块和测量模块；所述驱动模块是一个动圈式洛伦兹电机，导向模块由三个圆柱滚珠导套组成，测量模块采用一个线性光栅尺传感器组件。本实用新型与现有六自由度微动台结构相比，由于增加了一个自动抓取抬升机构，使得该六自由度微动台具有了一个沿垂直方向的大行程的单自由度抬升与抓取功能，满足了光刻机对于硅片的抬升与抓取的要求。
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公开(公告)号：CN208506271U
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201820683829.X
申请日：2018-05-09
Applicant: 清华大学 , 同方威视技术股份有限公司
IPC: G01V5/00
Abstract: 本实用新型涉及一种车辆检查系统，其包括：底盘；成像扫描装置，设于所述底盘，用于形成检查通道，且对通过所述检查通道的待检查车辆进行检查；和驱动装置，驱动连接于所述成像扫描装置，用于驱动所述成像扫描装置相对于所述底盘运动，以使所述检查通道位于不同路径。本实用新型在对第一路径上的待检查车辆进行检查的过程中，另一待检查车辆可以驶入第二路径，不必等待第一路径上的待检查车辆完成检查并驶出通道后再进入，大大提高了检查效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207992683U
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201820438317.7
申请日：2018-03-29
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统，主要应用于半导体光刻设备中。在硅片台双台交换系统中不仅设有气囊装置，在每个硅片台上均配备一套用来保护其内部部件免受碰撞和损害的缓冲装置，共同构成了硅片台的双重安全防撞系统，该双重防撞保护系统具有防撞效果好，质量轻且结构紧凑，避免了硅片台体积过大而造成的行程减小的缺点，以及便于在碰撞发生后迅速恢复等特点；与现有技术相比，大大提高了对硅片台内部结构的安全防护能力，大大减少了碰撞对硅片台零部件造成的损伤。
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公开(公告)号：CN206237268U
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201621282796.5
申请日：2016-11-25
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: H02K15/03
Abstract: 平面电机永磁体阵列拼接中防止永磁体极性错误的装置，该装置包括底板、绕线架、线圈和电动势检测单元；底板上加工有多个通孔，多个通孔在底板上的排布与待拼接的平面电机永磁体阵列中永磁体的排列顺序一致；绕线架固定在底板上的通孔内，线圈绕制在绕线架上，相邻两排线圈绕制旋向相反，多个线圈串联并与电动势检测单元连接。本实用新型有效满足了永磁体阵列粘结过程中安全可靠性要求，解决了永磁体极性粘结过程中容错率低，不必每个永磁体用人工手持检测法检测极性，只需按照永磁体标识的极性放入待安装区域，显著提高集成效率以及安全性。
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