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公开(公告)号:CN102992595A
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201110273303.7
申请日:2011-09-15
Applicant: 江苏华尔光电材料股份有限公司
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03B19/095
Abstract: 本发明公开了一种石英坩埚自动上料成型系统,包括旋转坩埚熔制炉、石英坩埚熔制房、镭射式位置计算光电管、光学定位摄像头、气动式装料机、上料机械手、石英坩埚成型机械手和成型棒,所述旋转坩埚熔制炉两侧分别设有石英坩埚熔制房和上料机械手,上料机械手上安装有气动式装料机,旋转坩埚熔制炉的上方设有镭射式位置计算光电管和光学定位摄像头,旋转坩埚熔制炉内装有石英坩埚,石英坩埚内设有成型棒,成型棒与石英坩埚成型机械手连接。本发明能提高石英坩埚成型品质,相对传统石英坩埚制造工艺能更有效的提高产品质量,节省人工,在上料的质量上更加精确。
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公开(公告)号:CN101724887B
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN200910003377.1
申请日:2009-01-22
Applicant: 日本超精石英株式会社
CPC classification number: C30B15/10 , C03B19/095 , C30B29/06 , C30B35/002 , Y02P40/57 , Y10T117/1032
Abstract: 本发明提供一种石英玻璃坩埚,其即使在制造(提拉)大型化的硅单晶时,也可抑制熔融硅的局部温度偏差,制造(提拉)均匀的硅单晶。硅单晶提拉用石英玻璃坩埚,其从坩埚内表面侧至外表面侧至少具有透明层、半透明层和不透明层,其中,透明层气泡含有率小于0.3%,半透明层气泡含有率为0.3%~0.6%的范围,不透明层气泡含有率大于0.6%。
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公开(公告)号:CN102531350A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110445484.7
申请日:2011-12-27
Applicant: 日本超精石英株式会社
CPC classification number: C03B19/095 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供一种控制氧化硅玻璃坩埚制造时的熔化状态,来防止单晶硅制造时坩埚内表面发生褐色环,并能够抑制熔液面振动的氧化硅玻璃坩埚的制造方法。本发明的氧化硅玻璃坩埚制造方法,向坩埚形成用的模具内供给原料氧化硅粉末形成氧化硅粉层,再利用电弧放电加热熔化该氧化硅粉层来制造氧化硅玻璃坩埚的方法,其包含:通过向上述模具内部供给原料氧化硅粉末来形成氧化硅粉层的氧化硅粉末供给工序,以及通过利用多个碳电极进行的电弧放电来熔化氧化硅粉层的电弧熔化工序,在所述电弧熔化工序中,测量上述氧化硅粉层的温度,并以在上述电弧熔化工序中初期出现的最初的温度最高点Tp作为基准温度,根据上述基准温度来控制氧化硅玻璃熔化状态。
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公开(公告)号:CN102531347A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110444729.4
申请日:2011-12-27
Applicant: 日本超精石英株式会社
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03B19/095
Abstract: 制造内表面的状态(坩埚内表面特性)等得到适当控制的氧化硅玻璃坩埚。一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法,在旋转的模具(10)内,通过多个碳电极(13)的电弧放电加热熔化由氧化硅粉末构成的氧化硅粉层(11),制造氧化硅玻璃坩埚,该制造方法包括:对上述氧化硅粉层(11)的多个部位预先求出加热熔化时的最佳熔化温度的预备工序;测量上述多个部位的加热熔化时的实际温度的温度测量工序;以及控制上述多个部位的上述实际温度使之成为上述最佳熔化温度的温度控制工序。
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公开(公告)号:CN102531346A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110444720.3
申请日:2011-12-27
Applicant: 日本超精石英株式会社
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03B19/095 , G01J5/0003 , G01J5/0044 , G01J5/047
Abstract: 提供一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法,该方法通过控制制造氧化硅玻璃坩埚时的熔化状态,防止单晶硅制造时坩埚内表面发生褐色环,并抑制熔液面振动。本发明的氧化硅玻璃坩埚制造方法,是将原料氧化硅粉末成形于坩埚成形用模具内,用电弧放电加热熔化该氧化硅粉层来制造氧化硅玻璃坩埚的方法,包含向坩埚成形用模具内部供给氧化硅粉末来形成氧化硅粉层的氧化硅粉末供给工序,以用多个碳电极的电弧放电熔化氧化硅粉层的电弧熔化工序,其中,在上述电弧熔化工序中,边旋转上述模具边测量位于设定在氧化硅粉层内表面不同高度的多个测量点的温度,控制上述电弧放电来检测出现于各测量点熔化初期的最初的温度最高点Tp。
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公开(公告)号:CN102471126A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201080035202.X
申请日:2010-08-09
Applicant: 日本超精石英株式会社
CPC classification number: C25B11/12 , C03B19/09 , C03B19/095 , C04B35/52 , C25B11/0405 , Y02P40/57
Abstract: 在氧化硅玻璃坩埚的制造工程中,提供可防止内表面特性的降低的氧化硅玻璃坩埚的制造装置,以及氧化硅玻璃坩埚的制造方法。本发明的氧化硅玻璃坩埚的制造装置,具备限定氧化硅玻璃坩埚的外形的模具,具有多个电极以及电力供给单元的电弧放电单元,上述多个电极各自分别具有朝向上述模具的前端部,作为该前端部的相反侧端部的他端部,以及设置与上述前端部与上述他端部之间的弯曲部。
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公开(公告)号:CN102453956A
公开(公告)日:2012-05-16
申请号:CN201110040454.8
申请日:2011-02-18
Applicant: 杭州先进石英材料有限公司
CPC classification number: C03B19/095 , C30B15/10
Abstract: 本发明公开了一种石英玻璃坩埚,所述石英玻璃坩埚的坩埚基体的内表面上涂敷有理论厚度为50~500μm的透明涂层,所述透明涂层是通过熔融掺杂有碱土金属元素的石英砂制备得到,所述碱土金属元素是指镁元素、钡元素、锶元素或钙元素,所述碱土金属元素来自于氧化钡、碱土金属的碱、碱土金属的盐或碱土金属的碱与碱土金属的盐任意比例的混合物,所述掺杂有碱土金属元素的石英砂中碱土金属元素的质量百分含量为400~2000ppm。本发明还公开了所述石英玻璃坩埚的制备方法。本发明提供的石英玻璃坩埚具有较高的耐久使用性,坩埚使用过程中内表面透明涂层不易发生脱落剥离等对拉晶过程造成不利影响的现象,拉制单晶硅的无位错比例高,拉晶效果好。
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公开(公告)号:CN102351407A
公开(公告)日:2012-02-15
申请号:CN201110246406.4
申请日:2011-08-25
Applicant: 江苏阳山硅材料科技有限公司
Inventor: 杜建中
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03B19/095 , Y02P40/57
Abstract: 本发明一种熔铝石英坩埚的制作方法涉及的是与铝、锡、铅、锌、铜、镉等金属浇铸行业使用的中小型熔铝电炉配套的一种工业坩埚的制作方法,具体涉及一种以较高纯度的石英砂熔制的熔铝石英坩埚的制作方法。其制作方法:(1)首先是按照预先设定好的熔铝石英坩埚尺寸和厚度范围,制作合适的电弧法石英坩埚熔制模具;(2)熔制石英坩埚时,在电弧法石英坩埚熔制设备上旋转中的石墨或者合金模具中均匀加入厚度1.5-5cm的高纯石英砂,在模具中心以石墨电极为发热元件进行熔制;(3)坩埚熔制完成出模冷却后,将上口的毛边切除,外层浮砂除尽,再用2-5%浓度的氢氟酸浸泡2-3小时,用纯净水清洗,在100-300℃温度下烘干,再检验、包装,即得成品熔铝石英坩埚。
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公开(公告)号:CN101685688B
公开(公告)日:2011-11-16
申请号:CN200910204437.6
申请日:2009-09-25
Applicant: 日本超精石英株式会社
CPC classification number: C03B19/095 , C04B35/52 , C04B41/009 , C04B41/53 , C04B41/91 , C04B2235/72 , H05B7/085 , Y10T29/49002 , Y10T29/49117 , Y10T29/49204 , Y10T29/49206
Abstract: 本发明涉及碳素电极的制造方法及石英玻璃坩埚的制造方法。碳素电极的制造方法用于通过电弧放电对被熔融物进行熔融,其中,具有:摩擦处理工序,在电力供给之前,通过与所述被熔融物同种的摩擦体对所述碳素电极表面进行摩擦处理。
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公开(公告)号:CN102219361A
公开(公告)日:2011-10-19
申请号:CN201110134584.8
申请日:2011-05-13
Applicant: 宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03B19/095
Abstract: 一种制作坩埚用金属模具,属高温熔炼模具技术领域,包括外壁和内腔,所述外壁包括侧壁和底部,所述圆柱形侧壁分为侧壁上部、侧壁下部,侧壁上部比侧壁下部厚,而底部又比侧壁上部厚;所述圆柱形侧壁内,纵向设置有抽真空大孔,横向设置有抽真空小孔A,所述底部纵向设置有抽真空小孔B;所述坩埚用金属模具内径尺寸为16-26英寸,侧壁上部厚(s)为30-60mm,侧壁上部的高度为总高度的60%-90%,底部中心厚度(h)为40-80mm,抽真空大孔的直径φ1为8-18mm,抽真空小孔A、B的直径φ2、φ3相等,都为3-9mm。本发明的优点在于由球墨铸铁制造,在常温下易打孔加工,而在高温下又能保持一定的强度,不变形、不氧化,提高了使用寿命。
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