沟槽栅型碳化硅功率器件、其制作方法和半导体结构

    公开(公告)号:CN117457746A

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202311769736.0

    申请日:2023-12-21

    Inventor: 张鹏 冯尹

    Abstract: 本申请提供了一种沟槽栅型碳化硅功率器件、其制作方法和半导体结构。该器件包括:衬底;外延层,位于衬底的表面上;沟槽栅,至少位于外延层中;第一注入区,位于沟槽栅至少一侧的外延层中,与沟槽栅的部分侧壁接触,第一注入区远离衬底的表面与外延层远离衬底的部分表面重合;第二注入区,位于沟槽栅至少一侧的外延层中,与沟槽栅的部分侧壁接触,第二注入区还与第一注入区靠近衬底的表面接触;第三注入区,位于外延层中,与沟槽栅的部分底部、沟槽栅的部分侧壁和第二注入区靠近衬底的部分表面分别接触;外延层、第一注入区和第三注入区的导电类型相同,且不同于第二注入区的掺杂离子的导电类型,第三注入区的掺杂浓度大于外延层的掺杂浓度。

    碳化硅晶圆快速热退火用导热衬片及其制备方法和载具

    公开(公告)号:CN117393489A

    公开(公告)日:2024-01-12

    申请号:CN202311349100.0

    申请日:2023-10-17

    Inventor: 冯尹 张鹏

    Abstract: 本发明提供了一种碳化硅晶圆快速热退火用导热衬片及其制备方法和载具,导热衬片用于对碳化硅晶圆进行辅助加热,导热衬片包括:衬片基体(1),衬片基体(1)的至少一侧的表面上设置有槽结构,槽结构至少包括第一凹槽结构(10),第一凹槽结构(10)包括多个第一凹槽(100),多个第一凹槽(100)沿第一方向间隔地设置于衬片基体(1)上,相邻的两个第一凹槽(100)之间形成第一凸起(101),第一凹槽结构(10)用非透明淀积层及保护层填充覆盖至表面平整。采用本申请的技术方案,解决了现有技术中的导热衬片在热退火过程中易变形导致其需频繁更换的问题。

    焊接治具
    115.
    发明公开
    焊接治具 审中-实审

    公开(公告)号:CN117260123A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311311071.9

    申请日:2023-10-10

    Abstract: 本申请涉及功率模块焊接定位技术领域,尤其涉及一种焊接治具,该焊接治具用于定位底板和位于底板上的基板,焊接治具包括定位座、定位组件、定位滑块和压板,定位座设置有用于定位底板的定位槽以及沿定位槽的深度方向延伸的滑动槽;定位组件活动设置于定位座上,用于定位基板的一端;定位滑块滑动设置于滑动槽内;压板设置于定位滑块上,用于压紧底板的远离定位组件的一端,压板具有第一定位部,当压板将底板压入定位槽内时,第一定位部与基板的远离定位组件的一端抵接,该焊接治具可以对基板进行自适应定位,操作简便,提高作业效率。

    绝缘栅双极型晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN116884997B

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311149652.7

    申请日:2023-09-07

    Inventor: 冯尹 张鹏

    Abstract: 本申请提供了一种绝缘栅双极型晶体管及其制备方法。该绝缘栅双极型晶体管结构包括:集电层,具有第一掺杂类型;漂移层,设置于集电层的一侧,且漂移层具有第二掺杂类型;栅极结构,设置于漂移层远离集电层的一侧;第一掺杂层,接触设置于漂移层远离集电层的一侧,第一掺杂层包括第一部分和第二部分,第一部分和第二部分之间具有第一间隔区域,第一间隔区域位于栅极结构靠近漂移层的一侧,且第一掺杂层具有第一掺杂类型;第二掺杂层,第二掺杂层在第一掺杂层上的投影位于第一间隔区域两侧,分别与栅极结构和第一掺杂层接触设置,且第二掺杂层具有第二掺杂类型;发射层,接触设置于第一掺杂层远离漂移层的一侧,且发射层具有第一掺杂类型。

    功率器件测试装置和方法
    117.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117214649A

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202311464979.3

    申请日:2023-11-07

    Inventor: 张鹏 冯尹

    Abstract: 本发明实施例提供了一种功率器件测试装置和方法,包括待测的功率器件、电流源、电压表和探针组,每组探针组包括多个并联的探针,每个探针接触连接功率器件的源极或漏极上的测点,并串联有均流电阻;每个探针上连接的均流电阻的阻值远大于探针接触电阻;2组探针组接触连接功率器件漏极、并分别引出第一激励线和第一检测线,2组探针组接触连接功率器件源极、并分别引出第二激励线和第二检测线;将第一激励线、第一检测线、第二激励线和第二检测线两两连接,分别构成激励回路和检测回路,在激励回路和检测回路上分别设置电流源和电压表,构成探针接触性测试电路或功率器件电流性能测试电路。本发明实施例保证了功率器件的测试顺利进行。

    欧姆接触电极的制备方法
    118.
    发明授权

    公开(公告)号:CN116864379B

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202311137558.X

    申请日:2023-09-05

    Inventor: 冯尹 张鹏

    Abstract: 本申请涉及半导体领域,公开了一种欧姆接触电极的制备方法。本申请所述制备方法使用Ti/Ni双金属依次淀积,然后采用三次独立退火后形成欧姆接触电极。由于Ti可与C反应避免了C原子会积累在界面附近和金属表面形成碳膜或碳团簇,使得欧姆接触电极的表面形貌平整,具有较低的比接触电阻并提高了SiC欧姆接触性能。三次独立退火增强接触界面粘附性并且使用温度较低从而降低了点缺陷和扩展缺陷的发生概率,提高了器件性能和可靠性。

    碳化硅器件的制作方法和碳化硅器件

    公开(公告)号:CN117116760A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202311357453.5

    申请日:2023-10-19

    Inventor: 张鹏 冯尹

    Abstract: 本发明提供了一种碳化硅器件的制作方法和碳化硅器件,该方法包括:步骤S1:提供衬底,并在衬底的裸露表面上形成外延层;步骤S2:在衬底和凹槽之间的部分的外延层形成掺杂部;步骤S3:在凹槽的侧壁上形成侧墙结构,并在掺杂部的裸露表面和侧墙结构的裸露表面上形成第一预备金属层;步骤S4:对第一预备金属层进行退火处理,生成欧姆接触金属部;步骤S5:在步骤S4形成的结构的第一部分裸露表面上形成氧化部,在步骤S4形成的结构的第二部分裸露表面上以及氧化部的至少部分裸露表面上形成肖特基接触金属层;步骤S6:在肖特基接触金属层远离衬底一侧的裸露表面上形成电极层。该方法解决了碳化硅器件导通压降升高的问题。

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