-
公开(公告)号：CN114459648A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210061554.7
申请日：2022-01-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于多模态Lamb波数据融合的无基线应力在线监测系统及监测方法，根据被测对象的几何尺寸和材料参数建立Lamb波频散曲线，得到一阶Lamb波模态的截止频率，确定Lamb波信号的激励频率，进而得到在被测对象内部得到纯净的S0和A0模态Lamb波；建立声弹性方程，求解被测对象在预应力条件下的弹性动力学方程，得到S0和A0模态Lamb波在激励频率下的群速度与应力之间的线性关系；通过在线监测系统处理数据；计算深度方向应力梯度，最终实现对被测对象应力状态表征；本发明不需要零应力状态下的数据作为基线数据，不需要设计能够产生临界折射纵波的楔块，将不同模态Lamb波的声弹性效应相结合，即可实现无基线数据的应力在线监测。
-
公开(公告)号：CN113944691B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111110622.6
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种移动式气浮导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔并平行设置，且均由能够与磁铁配合吸附的金属材质制成，导轨与悬浮装置连接并架设于两基座上；第一悬浮装置设于导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一气悬浮组件和第一磁矩阵，第一悬浮装置的底部设有第二气悬浮组件和第二磁矩阵；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三气悬浮组件和第三磁矩阵。本发明通过设计底部及侧面的气悬浮组件和磁矩阵结构降低导向机构的运动摩擦，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。
-
公开(公告)号：CN114354184A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111624091.2
申请日：2021-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M13/028 , G06K9/62 , G06N3/04 , G06N3/08
Abstract: 本发明公开一种基于深度学习的大型回转装备主轴健康预警模型建立方法和装置，属于大型回转装备主轴健康监测与状态识别技术领域，解决现有缺少主轴健康预警模型有效地保证大型回转装备工作性能的同时能显著地降低经济损失的问题。本发明的方法包括：获取大型回转装备主轴状态振动信号；分别从时域、频域和时频域进行特征提取，获取多维特征；对多维特征进行降维处理，将降维处理后的多维特征划分为训练集和测试集；基于BP神经网络建立大型回转装备主轴健康预警模型，并利用训练集和测试集对大型回转装备主轴健康预警模型进行训练和测试，完成大型回转装备主轴健康预警模型的建立。本发明适用于大型回转装备主轴健康监测与状态识别。
-
公开(公告)号：CN108875124B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201810385126.3
申请日：2018-04-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F30/20
Abstract: 本发明公开了一种提取共焦轴向响应曲线峰值位置的极大值补偿算法，首先根据理想点散射体建立高斯目标峰值模型，然后判断是否存在一个3×3邻域内存在曲线峰值，若是，以3×3邻域为单位依次进行纵向扫描来获得峰值的高度以及进行横向扫描获得峰值的轴向位移，从而确定曲线峰值位置的具体信息，本发明公开的一种提取共焦轴向响应曲线峰值位置的极大值补偿算法，可以提高提取共焦轴向响应曲线峰值位置的准确度，使其具有极佳的提取精度。
-
公开(公告)号：CN110906862B
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN201911214416.2
申请日：2019-12-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种大型高速回转装备几何形貌与质量特性一体化测量装置，包括平行设置在基座两侧的两个立柱、气浮轴系、调心调倾工作台、称重机构、翻转卡盘和起振机构；翻转卡盘调节被测转子的测量姿态，所述的气浮轴系设置在基座的中心，所述的气浮轴系由力矩电机带动，力矩电机的转轴末端固设有扭杆，扭杆的末端由励磁制动器制动，力矩电机上设有光栅测角机构，在两个立柱上滑动设置有四个横臂，且四个横臂两两一组，每个横臂的端部处均配置一球关节万向表架，在每一球关节万向表架的端部处配置一电感传感器。本发明通过单次装夹测得大型高速回转装备单级盘几何形貌参数与质量特性参数，测量集成化更高，节约测量时间与测量成本。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113917794A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110520.4
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密仪器的技术领域，本发明的实施例提供了一种反射镜架及反射装置，包括：架本体，所述架本体用于与反射镜连接；三个安装件，所述安装件用于与光刻机计量基准部件连接；以及三个驱动装置，所有的所述驱动装置均与所述架本体连接，且三个所述驱动装置在横截面上的相互连线形成三角形，所述驱动装置与所述安装件一一对应连接，各所述驱动装置分别用于驱动对应的所述安装件，以使所述架本体的相应部位相对各所述安装件沿Z轴方向移动并实现所述反射镜的位姿调整。
-
公开(公告)号：CN113833756A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111110722.9
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于气磁联合调平的微动台支撑装置，包括承重板、外部框架、负压调节框架、负压调节板、磁悬浮导轨、连接结构、基座及直线编码器；外部框架设于基座上，连接结构设于外部框架上，连接结构用于支撑微动台；基座上设有与磁悬浮导轨相适配的金属导轨；直线编码器与所述磁悬浮导轨电连接。本发明使用气浮与磁悬浮结合的方式，通过控制外部框架底部负压腔体改善正压气膜各处厚度不均匀的情况，减少气膜振动误差；通过磁悬浮技术调节外部框架上板面与导轨间的悬浮间隙，在降低与导轨间运动摩擦的同时进一步微调支撑板姿态，并由编码器控制磁力线圈产生周期性变化的磁力，驱动支撑板实现高精度运动。
-
公开(公告)号：CN113820924A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202111110624.5
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种光刻机的微动平台，涉及微动台领域。光刻机的微动平台包括底座、驱动机构和运动座，运动座间隔设于底座上侧，驱动机构安装于底座和运动座之间；驱动机构包括至少三个周向间隔布置的驱动件，驱动件的驱动方向垂直于运动座的支撑平面，且驱动件的驱动端与运动座柔性连接；底座与运动座之间设有至少三个高度传感器和至少三个平面传感器，至少三个高度传感器和平面传感器分布于运动座的边角位置，高度传感器检测运动座的高度位移，平面传感器检测运动座的平面位移，且至少三个平面传感器的检测方向呈相交布置。本专利实现了运动座的Z向、RX向和RY向运动，提高了微动平台六自由度运动的控制精度，提高了微动平台的运动平稳性和精度。
-
公开(公告)号：CN113758617A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202111062917.0
申请日：2021-09-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01L1/25
Abstract: 本发明公开了一种基于宽带扫频信号频域计算的应力梯度高效无损检测系统及其检测方法。步骤1：标定待测对象的LCR波速度；步骤2：基于步骤1的待测对象的LCR波速度及待测对象深度方向的应力梯度测量范围，计算宽带扫频信号的起始频率和截止频率；步骤3：基于步骤2的起始频率和截止频率的相位延迟，将相位延迟换算为时间延迟信息；步骤4：基于步骤3的时间延迟信息，确定不同频率分量对应深度的应力，最终实现被测对象不同深度处应力的逐层扫描。本发明用以解决应力梯度测量准确度低的问题，实现深度方向上的应力梯度高效表征。
-
公开(公告)号：CN113671521A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110925287.9
申请日：2021-08-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01S17/36
Abstract: 本发明是一种粗精测尺差频调制与解调的相位激光测距装置与测距方法。本发明测距装置包括多频率发生模块、激光调制模块、测量光路和光信号接收及处理模块；测距方法开启激光器和多频率发生模块；激光经过调制产生精测尺c/v1、次级粗测尺c/v2和粗测尺c/f，其中通过频率为v3和v3+f信号进行差频调制产生粗测尺c/f；激光分成参考光和测量光并测距；对精测尺进行频率为v1‑f1的差频解调并探测差频信号f1获取精测结果，探测次级粗测尺c/v2和粗测尺c/f并获取相位，合成相位差数据得到被测距离。本发明打破了激光干涉相干长度、探测器件带宽、调制带宽的限制，可实现在未来数十万千米的测量范围需求中达到亚毫米甚至微米级的精确测量。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
2216
records
(took 0.045 seconds)
