一种三自由度微纳定位平台

    公开(公告)号:CN211087931U

    公开(公告)日:2020-07-24

    申请号:CN202020168963.3

    申请日:2020-02-14

    Applicant: 苏州大学

    Inventor: 钟博文 黄开明

    Abstract: 本实用新型涉及的三自由度微纳定位平台,第一运动平台的运动组件由第一运动平台的压电陶瓷驱动其沿X轴方向移动,第二运动平台设置在第一运动平台的运动组件上且随第一运动平台的运动组件沿X轴方向移动,第二运动平台的运动组件由第二运动平台的压电陶瓷驱动其沿Y方向移动,第三运动平台设置在第二运动平台的运动组件上且随第二运动组件沿Y轴方向移动,第三运动平台的运动组件由第三运动平台的压电陶瓷驱动沿Z轴方向移动。运动平台结构简单、制作工艺简单、制造成本较低且可实现厘米级行程和微米级定位精度,得到的三自由度微纳定位平台整体结构尺寸紧凑、便于加工和装配、并且平台运动精度高、定位精度高、行程范围大、运动稳定性好。

    压电式物镜驱动台
    102.
    实用新型

    公开(公告)号:CN204964864U

    公开(公告)日:2016-01-13

    申请号:CN201520291229.5

    申请日:2015-05-07

    Applicant: 苏州大学

    Inventor: 钟博文

    Abstract: 本实用新型属于微驱动应用领域,涉及一种压电式物镜驱动台,该压电式物镜驱动台,用以固定物镜环,包括中空型壳体和设置在所述壳体上的压电陶瓷,所述中空型壳体包括壳体部和首尾贯穿壳体部形成的腔体,所述壳体部上设置有移动平台,所述物镜环位于所述腔体内,且固定在所述移动平台上,所述压电陶瓷驱动所述移动平台移动,该压电式物镜驱动台通过设置中空型壳体,且该中空型壳体上设置安装物镜环的移动平台,并由压电陶瓷驱动该移动平台移动,从而依靠压电陶瓷驱动电源的电压激励,实现移动平台的微型位移,及实现纳米级定位。

    一种Z轴负向放大微驱动平台

    公开(公告)号:CN204403695U

    公开(公告)日:2015-06-17

    申请号:CN201420801869.1

    申请日:2014-12-16

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种Z轴负向放大微驱动平台,包括Z轴负向放大机构、用于保护Z轴负向放大机构的基座、位于Z轴负向放大机构上方的运动平台,所述Z轴负向放大机构包括若干柔性臂、固定在柔性臂两侧的平行板、连接柔性臂与运动平台的输出件、压电陶瓷安装件以及与基座连接固定的底盘,所述平行板通过柔性铰链与柔性臂柔性连接,位于所述平行板之间、所述Z轴负向放大机构下方、所述底盘上方的空间内设置有压电陶瓷,所述压电陶瓷通过设置在两侧的平行板上的压电陶瓷安装件固定。本实用新型相较于传统的放大定位平台具有行程范围大、精度高、结构简单、体积小、刚度大、灵敏度高、分辨率高、纳米级、适宜作微动平台等优点。

    三自由度微动并联机器人
    104.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203792328U

    公开(公告)日:2014-08-27

    申请号:CN201420163980.2

    申请日:2014-04-04

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种三自由度微动并联机器人,其包括:工作台、与工作台相对设置的底座,工作台与底座之间设置有三根PRS支链,任一PRS支链包括:上斜块、上部柔性铰链、压电陶瓷驱动器、下部柔性铰链、调整垫片、下斜块;上斜块和下斜块通过圆柱销进行定位,下斜块中还设置有用于顶紧所述下部柔性铰链的平面紧定螺钉,上部柔性铰链为球面副柔性铰链,下部柔性铰链为转动副柔性铰链。本实用新型的三自由度微动并联机器人依靠压电陶瓷直接驱动的,并通过柔性铰链进行传动,实现了三个自由度的运动。且只含有三个压电陶瓷致动器,其集精密机械、驱动和测量反馈技术于一体,实现了机构、驱动、检测一体化的设计。

    一种3‑RRR及3‑RPS型微振动台

    公开(公告)号:CN206066417U

    公开(公告)日:2017-04-05

    申请号:CN201620838781.6

    申请日:2016-08-04

    Applicant: 苏州大学

    Inventor: 钟博文

    Abstract: 本实用新型涉及一种3‑RRR及3‑RPS型微振动台,包括工作台、与工作台相平行的支撑台,以及支撑支撑台的底座,还包括三根RPS支链和设置在底座内、并与支撑台连接的3‑RRR机构。本实用新型通过3‑RPS支链,使工作台具有绕X、Y方向的转动和Z方向的振动,通过3‑RRR机构,带动工作台X、Y方向振动以及Z方向转动,即实现了工作台六个自由度的运动,具有刚性高、振幅传递稳定、能量吸收少、精度高的优点。

    一种微转动精密定位平台
    106.
    实用新型

    公开(公告)号:CN206018171U

    公开(公告)日:2017-03-15

    申请号:CN201620839245.8

    申请日:2016-08-04

    Applicant: 苏州大学

    Inventor: 钟博文

    Abstract: 本实用新型涉及一种微转动精密定位平台,包括台体和设置在所述台体内的动台体,所述动台体的四个直角与所述台体之间连接有柔性铰链,连接所述动台体两对角的柔性铰链的中心线与所述动台体相应的对角线在同一条直线上;所述台体内设置有两伸入所述动台体内部的压电陶瓷,两所述压电陶瓷分别从所述动台体两平行的侧边伸入所述动台体内部,且两所述压电陶瓷相对所述动台体的中心呈对角关系。本实用新型通过设置两相对动台体的中心呈对角关系的压电陶瓷,在压电陶瓷通电情况下,能够驱使动台体以其中心为轴心进行旋转,且由于两压电陶瓷对角设置,在工作时能相互消除两自由度(即水平方向)上的耦合位移,不会产生旋转误差,定位精度更高。

    新型微操作平台
    107.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205069577U

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201520753105.4

    申请日:2015-09-25

    Abstract: 本实用新型涉及一种新型微操作平台,应用于扫描电子显微镜设备,该新型微操作平台包括基座、设置在基座上的若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台、设置在五轴宏动平台上的样品操作台和对应每个三轴直线运动平台设置的碳纳米操作手,碳纳米操作手设置在三轴直线运动平台上,若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周,三轴直线运动平台和五轴宏动平台均通过压电马达驱动,基座上贯通设置有用以容纳样品操作台的腔体,五轴宏动平台位于基座的下方。

    压电式物镜驱动台
    108.
    实用新型

    公开(公告)号:CN204631348U

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201520182401.3

    申请日:2015-03-30

    Applicant: 苏州大学

    Inventor: 钟博文

    Abstract: 本实用新型属于微驱动应用领域,涉及一种压电式物镜驱动台,包括具有固定杆的底座、固定在所述固定杆上的固定环、固定在所述固定环内的安装环、设置在所述底座上的移动平台、固定在所述移动平台上的运动环、固定在所述运动环内的物镜环及与所述移动平台连接的压电陶瓷,所述移动平台与固定杆平行设置,所述物镜环设置在所述安装环的一侧且与所述安装环平行设置,所述物镜环与安装环的轴线方向与固定杆的延伸方向平行设置,所述压电陶瓷驱动所述移动平台沿物镜环的轴线方向移动。

    高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台

    公开(公告)号:CN204332383U

    公开(公告)日:2015-05-13

    申请号:CN201420802078.0

    申请日:2014-12-16

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台,其包括:基座、放大机构、运动平台、压电陶瓷、预紧机构;放大机构包括:柔性臂、第一连接部、第二连接部以及两端的固定部;运动平台一侧与所述第一连接部相抵靠,另一侧形成平台承载面;压电陶瓷设置于第一连接部和第二连接部之间,压电陶瓷一端与预紧机构相抵靠,另一端与固定部向抵靠;预紧机构设置于一端的固定部中,预紧机构包括预紧螺母和钢珠,钢珠与压电陶瓷相抵靠,预紧螺母通过钢珠为压电陶瓷提供预紧力。本实用新型的高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台具有行程范围大、高精度、结构简单、体积小、刚度大、灵敏度高、极高分辨率、纳米级、适宜作微动平台等优点。

    可调预紧力式惯性粘滑驱动跨尺度精密定位平台

    公开(公告)号:CN204231227U

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201420744540.6

    申请日:2014-12-01

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种可调预紧力式惯性粘滑驱动跨尺度精密定位平台,平台包括外壳、与外壳固定安装的椭圆放大机构、位于椭圆放大机构上方的钳位机构、位于钳位机构上方的驱动机构、以及导向机构,导向机构为交叉滚柱导轨,驱动机构为驱动压电陶瓷,钳位机构包括与驱动机构粘接的钳位块和位于钳位块下方的钳位导轨,椭圆放大机构包括与钳位导轨相连的椭圆框架及位于椭圆框架内的钳位压电陶瓷,驱动压电陶瓷两端输入有用于控制钳位块左右运动的第一电压信号,钳位压电陶瓷两端输入有用于控制钳位导轨上下运动的第二电压信号。本实用新型集导向、钳位、驱动于一体,系统集成度高、体积小,适用于对尺寸有要求的高精密定位场合。

Patent Agency Ranking