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公开(公告)号：CN103956880A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410222778.7
申请日：2014-05-23
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Inventor： 张鸣 , 朱煜 , 陈安林 , 支凡 , 杨开明 , 成荣 , 刘召 , 蔡田 , 张利 , 秦慧超 , 赵彦坡 , 胡清平 , 田丽 , 叶伟楠 , 张金 , 尹文生 , 穆海华
IPC: H02K41/03
Abstract: 一种动铁式直线电机多盘式线圈切换装置及方法，所述切换装置含有布置在一根转轴上的多相圆盘组，每一相圆盘组包含线圈圆盘和驱动器圆盘，线圈圆盘上布置有线圈电极，驱动器圆盘上布置有驱动器电极，每一相线圈通过导线与该相线圈电极相连，每一相驱动器通过导线与该相驱动器电极相连，线圈圆盘和驱动器圆盘随着磁钢阵列的运动而绕着转轴相对转动，实现线圈电极与驱动器电极的接触与分离，从而实现驱动器对线圈阵列中不同相线圈的供电。本发明降低能耗和电机发热，减少驱动器数量，能够实现在动铁式直线电机行程较大，参与切换的线圈数量较多的场合中线圈的有效切换。
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公开(公告)号：CN103715975A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310750361.3
申请日：2013-12-31
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Inventor： 朱煜 , 张鸣 , 刘召 , 刘峰 , 成荣 , 支凡 , 胡金春 , 徐登峰 , 杨开明 , 张利 , 秦慧超 , 赵彦坡 , 胡清平 , 叶伟楠 , 张金 , 尹文生 , 穆海华
IPC: H02P31/00
Abstract: 一种控制平面电机线圈电流快速切换的装置，包含控制区和电子开关阵列区。控制区根据平面电机供电需求给出控制指令，控制电子开关做出相应开关动作。按照行列方式排布控制区的多路输出线路，每个行列交点位置布置一个电子开关，每个电子开关由行、列两个指令控制闭合或者断开，每个开关连接一个或者多个线圈。本发明可以通过实际需求设定开关阵列的大小，结构柔性高，同时能够减少所需控制端口的数量，进而能够适用于不同类型平面电机。
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公开(公告)号：CN103543612A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201310447559.4
申请日：2013-09-25
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种带真空罩的动铁式无线缆六自由度磁浮运动平台，主要应用于半导体光刻设备中。该磁浮运动平台含有基座、定子、动子、载片台和测量系统；在动子和载片台之间设有三轴陀螺仪、三轴加速度计、电源模块和无线信号输出模块，并将它们集成在一块线路板上；将动子和定子分别设置于一个真空腔中。本发明采用平面光栅尺测量系统来实现高精度测量，并运用无线充电技术和无线信号传输技术，来实现磁浮运动平台的无线缆设计，使磁浮运动平台的运动部分可在水平面内实现大角度的自由旋转，大大提高了工作台的抗干扰能力和控制系统的控制带宽；同时在极紫外光刻时，避免了一些灌封胶释放的一些气体对光刻产生的影响。
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公开(公告)号：CN103309176A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310239699.2
申请日：2013-06-17
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种带升降真空爪的六自由度微动台，含有实现微动工作台在水平面内沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和实现微动工作台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块、真空吸盘、微动台上盖、升降真空爪和基座；真空吸盘设置在微动台上盖的上表面的凹槽内；升降真空爪布置在微动台上盖的下方，包括驱动模块、导向模块和测量模块；驱动模块是一个音圈电机，导向模块由两组微型滚珠导轨组成，测量模块是一个线性光栅尺传感器组件。本发明与现有六自由度微动台相比，由于增加了一个带升降真空爪，使得该六自由度微动台具有一个沿垂直方向的大行程的单自由度抬升与抓取功能，满足了光刻机对于硅片的抬升与抓取的要求。
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公开(公告)号：CN103307986A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310243113.X
申请日：2013-06-19
Applicant: 清华大学
Inventor： 张鸣 , 朱煜 , 王磊杰 , 杨开明 , 刘召 , 成荣 , 刘昊 , 徐登峰 , 叶伟楠 , 张利 , 赵彦坡 , 田丽 , 张金 , 胡金春 , 穆海华 , 尹文生 , 秦慧超
CPC classification number: G01B9/02007 , G01B9/02003 , G01B9/02021 , G01B9/02022 , G01B9/02027 , G01B11/14 , G01B2290/70
Abstract: 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器出射的双频激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出两路光信号至接收器，后至电子信号处理部件。当光栅干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量二个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102780846A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201210240509.4
申请日：2012-07-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出一种基于惯导信息的电子稳像方法，首先对视频的每幅图像提取特征点，然后利用特征点匹配算法对相邻的两帧进行全局运动估计，如果全局运动估计出现较大误差，将利用惯导系统所获得的运动信息对全局运动进行估计，弥补由于单纯利用图像进行全局运动估计的误差，全局运动估计的模型采用仿射变换模型，然后结合图像和惯导信息对模型中进行运动滤波，区分出摄像机的有意运动和抖动分量，并且求出由于抖动引入的旋转分量，再利用所得到的抖动和旋转分量对原始视频图像进行补偿，获得稳定的视频，以及结合图像信息和惯导预测运动信息对视频的每帧图像进行图像复原处理，提高图像质量。该方法无需复杂硬件，提高了运算精度，电子稳像效果好。
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公开(公告)号：CN101807010B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201010131056.2
申请日：2010-03-19
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70758 , G03F7/70716
Abstract: 纳米精度六自由度磁浮微动台及应用，主要应用于半导体光刻设备中。该微动台含有十字支架和四个两自由度致动器。每个两自由度致动器包括沿竖直方向极化的永磁体、水平力线圈以及竖直力线圈，永磁体固定于十字支架的末端，水平力线圈和竖直力线圈分别布置于永磁体的侧面和下面，并与永磁体保持间隙；十字支架和四块沿竖直方向极化的永磁体组成微动台的动子；水平力线圈和竖直力线圈分别由线圈骨架固定，组成微动台的定子；定子固定于微动台的基座上。采用两个所述的微动台，与两自由度大行程直线电机组合，可构成光刻机双硅片台定位系统。本发明具有结构简单，驱动力大，质量轻，无线缆扰动的特点，易于实现高精度、高加速度六自由度微运动。
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公开(公告)号：CN101807010A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN201010131056.2
申请日：2010-03-19
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70758 , G03F7/70716
Abstract: 纳米精度六自由度磁浮微动台及应用，主要应用于半导体光刻设备中。该微动台含有十字支架和四个两自由度致动器。每个两自由度致动器包括沿竖直方向极化的永磁体、水平力线圈以及竖直力线圈，永磁体固定于十字支架的末端，水平力线圈和竖直力线圈分别布置于永磁体的侧面和下面，并与永磁体保持间隙；十字支架和四块沿竖直方向极化的永磁体组成微动台的动子；水平力线圈和竖直力线圈分别由线圈骨架固定，组成微动台的定子；定子固定于微动台的基座上。采用两个所述的微动台，与两自由度大行程直线电机组合，可构成光刻机双硅片台定位系统。本发明具有结构简单，驱动力大，质量轻，无线缆扰动的特点，易于实现高精度、高加速度六自由度微运动。
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公开(公告)号：CN1811794A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200610011416.9
申请日：2006-03-03
Applicant: 清华大学
Inventor： 张利
Abstract: 本发明属于数字图像分析和计算机视觉领域。该方法是在对图像进行噪声滤除后，根据反射或透射光强分布呈凸函数或凹函数的特性以及目标和背景的亮暗关系，分别以图像行或列的方式对图像的每行或每列进行图像背景点的寻找；在图像上按照纵横等距的方式均匀地设置关键点坐标，如果关键点的位置是已经找到的背景点，则坐标不再变，如果不是，则把周围最近的背景点坐标作为关键点新坐标；再利用插值方法由上述找到的关键点构造出图像背景；将构造出的图像背景与原始图像差的绝对值作为目标图像；对得到的目标图像进行全局阈值分割就是所期望的分割结果。本方法简单易行，而且精度较高，易于推广。
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公开(公告)号：CN1766607A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510115774.X
申请日：2005-11-11
Applicant: 清华大学
Inventor： 张利
CPC classification number: G01N30/95
Abstract: 本发明属于数字图像处理和化学分析领域，其特征在于利用数码相机或摄像机在不同波长的光照条件下对薄层板进行拍摄；对所拍摄的图像进行镜头畸变校正、噪声虑除预处理；利用点样时点均匀分布的特点以及纵向距离等分原则确定控制点；根据控制点再利用插值方法构造出图像背景；将构造出的背景图像从镜头畸变校正后的薄层图像中去除，并根据所构造的背景图像对每一像素点进行亮度归一化；对去掉背景图像后的薄层图像进行分割；根据分割结果对每个区域内的灰度进行积分。本方法不仅能够准确的描述所给图像背景信息，分割出目标图像，而且还可以对每一点的光照强度进行修正，图像分割以及样品定量分析结果精度都很高，重复性也非常好，易于推广。
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