公开(公告)号：CN111719141A

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN202010554568.3

申请日：2020-06-17

Applicant: 季华实验室

Inventor： 侯少毅 ,  胡琅 ,  胡强 ,  徐平 ,  侯立涛 ,  何斌 ,  黎天韵 ,  郭远军 ,  黄丽玲

IPC: C23C16/458

Abstract: 旋转承载盘结构及承载盘，涉及化学气相沉积技术领域，旋转承载盘结构，应用于化学气相沉积工艺，包括旋转轴、用于承载衬底的承载盘，旋转轴与承载盘中心连接，以驱动承载盘旋转，旋转轴包括轴体、隔热件，隔热件设在轴体与承载盘之间，以隔开轴体与承载盘，使轴体与承载盘不接触。承载盘，应用于化学气相沉积工艺，用于承载衬底，用于给所述承载盘加热的热源位于所述承载盘下方，所述承载盘的底面为非平面，以使承载盘底面不同区域与热源的距离不同。

公开(公告)号：CN111172504A

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201911382863.9

申请日：2019-12-27

Applicant: 季华实验室

Inventor： 胡琅 ,  徐平 ,  侯立涛 ,  冯杰 ,  胡强 ,  方威 ,  黄星星 ,  尤晶

IPC: C23C14/35

Abstract: 本发明公开了一种新型磁控溅射阴极，包括靶材、第一磁体结构和第二磁体结构；第一磁体结构产生第一磁力线回路，形成第一磁场；第二磁体结构产生第二磁力线回路，形成第二磁场；当启动溅射时，第一磁场作用使靶材位于第一磁力线回路内的区域形成第一等离子区，第二磁场作用使靶材位于第二磁力线回路内的区域形成第二等离子区，实现溅射；第二等离子区和第一等离子区叠加区域不完全重合；通过在第一磁体结构的基础上叠加第二磁体结构，可以增大靶材的溅射使用面积，溅射靶材的溅射后表面形态可以由V形变成U形，靶材的利用率可以从传统的20~25%增加到30~35%，提高靶材的利用率。

公开(公告)号：CN111161987A

公开(公告)日：2020-05-15

申请号：CN201911382854.X

申请日：2019-12-27

Applicant: 季华实验室

Inventor： 胡琅 ,  胡强 ,  徐平 ,  冯杰 ,  侯立涛 ,  方威 ,  尤晶

IPC: H01J3/04

Abstract: 本发明提供一种离子源，包括：一阴极壳体，其包括底壁、顶壁以及连接底壁和顶壁的侧壁，所述底壁、顶壁以及侧壁围成一容纳空间，所述顶壁上开设有呈迂回曲折延伸的开口，壳体上设置有电极以及一通气孔；一阴极板条，其与所述开口的形状适配，阴极板条设置于所述开口处并沿着所述开口迂回曲折延伸，阴极板条的外侧缘与所述开口的内侧缘间隔预设距离以形成迂回曲折延伸的狭缝；一阳极，其设置于所述壳体内并位于狭缝正对，所述阳极沿着所述狭缝的延伸方向迂回曲折延伸；一永磁体，其设置于所述容纳空间内并位于所述阴极板条相对，所述永磁体沿着所述阴极板条的延伸方向迂回曲折延伸。本发明实施例提供的离子源可以提高离子源的效率，节省空间。

公开(公告)号：CN111134526A

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201911382860.5

申请日：2019-12-27

Applicant: 季华实验室

Inventor： 黄星星 ,  胡琅 ,  侯立涛 ,  冯杰 ,  胡强 ,  徐平 ,  郭远军 ,  李晓峰 ,  何斌 ,  黄丽玲

IPC: A47J27/092 ,  A47J27/08

Abstract: 本发明公开了一种快速降压的压力容器，包括内胆以及热电制冷电偶，热电制冷电偶包括冷端面和热端面，所述热电制冷电偶的冷端面与内胆的外侧壁面贴合，热电制冷电偶通电后冷端面将从内胆上快速吸收热量并通过热端面向四周环境放热；本技术方案通过在内胆的外壁上设置热电制冷电偶，能实现快速的冷却降压，有助于加热完成后快速开盖；本技术方案的冷却降压过程无需排气，不会造成容器内液体或流质随排气过程喷出而污染器具或环境；热电制冷电偶布置在内胆的外壁上，不破坏整体密封性，不会带来漏气漏液风险；本快速降压的压力容器的冷却降压速度快，通电后即可开始恒定功率的制冷，操作简单方便。

公开(公告)号：CN111132514A

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201911379939.2

申请日：2019-12-27

Applicant: 季华实验室

Inventor： 黄星星 ,  胡强 ,  侯立涛 ,  徐平 ,  胡琅 ,  冯杰 ,  黎天韵 ,  尤晶

IPC: H05K7/20

Abstract: 本发明提供了一种喷射强化散热器，包括上侧开口的喷射控制腔，盖设在喷射控制腔上侧开口处的散热基板，设置在喷射控制腔内下部的喷射装置，以及用于向喷射装置输送高压冷却液的高压输送装置；喷射装置用于使高压冷却液朝上喷出形成高压喷雾；所述散热基板的上表面用于布置发热元件。该散热器能够有效地对高流量密度发热元件散热，且结构较简单，制造难度低，加工成本低。

公开(公告)号：CN111093347A

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201911379925.0

申请日：2019-12-27

Applicant: 季华实验室

Inventor： 黄星星 ,  侯立涛 ,  冯杰 ,  胡强 ,  胡琅 ,  徐平 ,  何斌 ,  方威

IPC: H05K7/20

Abstract: 本发明公开了一种自循环高效散热器，采用封闭式管道，无需外连冷却水进行外循环，有利于降低冷却成本，操作方便；通过采用TiO2-水纳米流体作为冷却剂，在TiO2-水纳米流体中，TiO2的浓度在0.2%-0.5%范围内最佳，相较于常规散热器采用的自来水冷却剂可将换热系数提高25%左右；同时，散热基板内设有可自旋转的螺旋形旋转轴，螺旋形旋转轴的持续自旋转加强了管路内TiO2-水纳米流体的扰动，将TiO2-水纳米流体由层流变成紊流，将很大程度上提高散热能力，换热系数将提高50%。

公开(公告)号：CN111088478A

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201911382861.X

申请日：2019-12-27

Applicant: 季华实验室

Inventor： 胡琅 ,  徐平 ,  侯立涛 ,  胡强 ,  方威 ,  黄丽玲

IPC: C23C14/16 ,  C23C14/06 ,  C23C14/18 ,  C23C14/35 ,  C23C14/32

Abstract: 本发明公开了一种超硬DLC涂层、铝合金、制备装备及制备方法，超硬DLC涂层包括由下到上依次设置的钛过渡层、碳化钛混合层、纳米结构超硬DLC层和第一DLC层，纳米结构超硬DLC层包括由下到上依次设置的第二DLC层和钛耦合层；通过设置合适的过渡层，能够过渡性缓解铝合金基体和纳米结构超硬DLC层组的硬度差距；钛耦合层可以减少采用阴极过滤电弧溅射得到的第二DLC层内应力，降低超硬涂层脱落概率；整个超硬DLC涂层厚度可以根据应用需要，通过调节纳米结构超硬DLC层的总厚度来控制；通过在铝合金基体上设置超硬DLC涂层，得到具有高硬度的铝合金成品，且超硬DLC涂层具有低内应力、高硬度、高结合力、低摩擦性。

公开(公告)号：CN111074215A

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201911382889.3

申请日：2019-12-27

Applicant: 季华实验室

Inventor： 胡琅 ,  胡强 ,  侯立涛 ,  冯杰 ,  徐平 ,  方威 ,  黄星星 ,  黄丽玲

IPC: C23C14/32

Abstract: 本发明提供了一种新型阴极电弧的颗粒过滤器，包括管体，以及套设在管体外的螺线管或多个磁场线圈；还包括设置在管体内的挡环机构；所述挡环机构包括多个沿管体轴线方向排布的挡环，挡环与管体的轴线垂直，挡环具有供阴极电弧穿过的内孔，从前到后，挡环的内孔直径先逐渐减小后逐渐增大。该颗粒过滤器对宏观粒子的过滤能力强。

公开(公告)号：CN119560363A

公开(公告)日：2025-03-04

申请号：CN202411848997.6

申请日：2024-12-16

Applicant: 季华实验室

Inventor： 赵渝宁 ,  黄星星 ,  郑敬都 ,  安丽 ,  胡强

IPC: H01J37/32

Abstract: 本申请属于等离子加工设备领域，公开了一种远程等离子体加工设备，包括远程等离子体源、反应腔和载物台，所述反应腔下部填充有电解质溶液，所述载物台的下部浸泡在所述电解质溶液中，反应腔内设置有阳极金属件，所述阳极金属件的活泼性比所述反应腔的内壁材质以及所述载物台的材质的活泼性高，且阳极金属件6部分地伸入电解质溶液4中；通过在反应腔下部填充电解质溶液并设置活泼性较高的阳极金属件，可以有效吸收和消耗氧离子，从而抑制反应腔和载物台的氧化反应，延长反应腔和载物台的使用寿命。

公开(公告)号：CN119293887A

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202411800778.0

申请日：2024-12-09

Applicant: 季华实验室

Inventor： 安丽 ,  黄星星 ,  杨振怀 ,  胡琅 ,  胡强

IPC: G06F30/10 ,  G06F30/20

Abstract: 本申请属于等离子源技术领域，公开了一种远程等离子源变截面石英管结构优化设计方法及相关设备，通过对微波远程等离子源进行二维建模、网格划分、设置材料参数和物理场、仿真模拟以及优化求解，实现了对石英管内表面形状的精确优化设计，解决了传统圆柱形石英管无法精细调控等离子体流动和分布的问题，具有提高电子密度分布均匀性、提高等离子体出口通量和提高功率利用率的优点；而且通过仿真分析进行优化设计，与采用实物试验的方式相比设计周期更短、设计成本更低。