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公开(公告)号:CN102176637A
公开(公告)日:2011-09-07
申请号:CN201110027379.1
申请日:2011-01-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种微型电磁式振动能量采集器及其制作方法。所述的电磁式振动能量采集器由中心质量块、外部支撑框架、二根折叠弹性梁、平面螺旋线圈、两块永磁体、上盖板及衬底等组成。所述的电磁式振动能量采集器利用体硅微机械加工技术的方法制作振动结构(包括中心质量块和折叠弹性梁),利用表面微机械加工技术的方法制作平面螺旋线圈,平面螺旋线圈制作在中心质量块的上表面上,两块永磁体并列位于平面螺旋线圈的正上方。本发明的能量采集器可在较低的频率范围内工作,将环境中振动的机械能转化为电能,用于解决无线传感网络或微纳器件等依赖电池供电的问题,该能量采集器具有体积小、制作方法简单、易于批量制造等优点,应用前景广阔。
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公开(公告)号:CN209433059U
公开(公告)日:2019-09-24
申请号:CN201822059191.5
申请日:2018-12-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种温度不敏感马赫曾德尔干涉仪,包括:第一模式转换器;第二模式转换器,位于第一模式转换器的一侧,且与第一模式转换器具有间距;连接臂,位于第一模式转换器与第二模式转换器之间,一端与第一模式转换器相连接,另一端与第二模式转换器相连接;连接臂包括直波导连接臂。本实用新型的温度不敏感马赫曾德尔干涉仪通过设置所述连接臂的宽度及厚度等参数可以实现对温度不敏感。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN209764294U
公开(公告)日:2019-12-10
申请号:CN201821826360.7
申请日:2018-11-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Inventor: 李伟
IPC: G01K11/32
Abstract: 本实用新型涉及一种监测区域自动划分的长距电缆连续温度监测系统,包括相互连接的分布式测温设备和分布式测温光纤,所述分布式测温光纤环绕在被测电缆上,用于测量所述被测电缆表面温度信息;所述分布式测温设备的信号处理器用于接收整条分布式测温光纤的温度信息,以获取被测电缆上的光纤沿线每一点的温度信息,并依据光纤沿线所测温度信息及电缆长度、光纤长度和空间分辨率计算对所述被测电缆进行自动分区。本实用新型能够把光纤的测温位置和温度信息与电缆的实际位置和温度信息进行对应。
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公开(公告)号:CN208110093U
公开(公告)日:2018-11-16
申请号:CN201820361533.6
申请日:2018-03-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种弯曲波导结构及基于所述弯曲波导结构的偏振分束旋转器,弯曲波导结构包括:衬底;第一波导,弯曲设置于衬底上,包括第一耦合区;第二波导,弯曲设置于衬底上,第二波导包括与第一耦合区耦合的第二耦合区,第二波导与第一波导之间具有预设间距,第二耦合区包括下部波导及位于下部波导上方的上部波导,下部波导与上部波导的截面宽度不同。通过上述方案,本实用新型提供的弯曲波导结构,通过改进外部波导的结构,在整体波导结构中引入了非对称结构的设计,使得外部波导的耦合区的两端以及上下均具有不同的尺寸,该非对称性设计具有增大带宽的作用,解决了现有波导结构的对波长敏感问题,进一步拓宽了弯曲波导结构的实际应用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN203551595U
公开(公告)日:2014-04-16
申请号:CN201320724059.6
申请日:2013-11-15
Applicant: 江苏尚飞光电科技有限公司 , 中科院南通光电工程中心 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01Q60/18
Abstract: 本实用新型提供一种扫描近场光学检测台,包括:本体(22);所述本体包括相互垂直的XOY面、YOZ面以及ZOX面;所述XOY面、YOZ面以及ZOX面围成一个收容空间;收容于所述收容空间内用于放置工件(17)的矩形工作台(18);所述矩形工作台包括底面以及相互垂直相邻的四个侧面;所述矩形工作台的底面四角设有与所述本体XOY面固定的四个液压驱动单元(21);所述矩形工作台相邻的两个侧面分别设有与所述本体YOZ面以及ZOX面固定的两个液压驱动单元(11);所述本体YOZ面上设有位于所述工件上方的用于实现所述工件在Z轴方向上的定位的喷嘴单元。本实用新型支柱伸长量可调、可测,因此工作台的位移精度较高且控制较为简单;工作台运动的有效行程较大。
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公开(公告)号:CN204529301U
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201520177296.4
申请日:2015-03-26
Applicant: 江苏尚飞光电科技有限公司 , 中科院南通光电工程中心 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种光学微纳谐振腔结构,所述光学微纳谐振腔结构包括两个对工作电磁波具有全反射功能的单排粒子链,所述单排粒子链由多个间隔排列的粒子组成,所述两个单排粒子链之间的间隔距离使得所述光学微纳谐振腔结构的共振波长为工作电磁波的波长。本实用新型利用了单排粒子链对于特定偏振光的全反射特性,通过优化单排粒子链的结构以及两个单排粒子链之间的距离,获得了一种新型的高品质因子光学微纳谐振腔。本实用新型利用两个单排粒子链的全反射所设计的谐振腔,具有低损耗、高品质因子和小尺寸的特点,在集成光学领域具有很好的应用前景。
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公开(公告)号:CN203545671U
公开(公告)日:2014-04-16
申请号:CN201320724746.8
申请日:2013-11-15
Applicant: 江苏尚飞光电科技有限公司 , 中科院南通光电工程中心 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81B3/00
Abstract: 本实用新型提供一种液压微位移驱动器及微位移装置,至少包括:设有内腔(18)的缸筒(13);密封所述缸筒(13)两端的上端盖(12)以及下端盖(15);位于所述上端盖上表面的球形凸台(11);所述球形凸台的中心线与所述缸筒的中心线重合;设置于所述下端盖(15)内与所述内腔连通的进油通道(14)以及与所述进油通道(14)导通的进油嘴(17)。本实用新型提出的液压微位移驱动器采用向密封的缸筒内充进一定压力的液体使得圆柱形管状缸筒产生相应的轴向伸长来实现微位移驱动,具有驱动行程较大、驱动平稳、抗干扰能力强以及皮实耐用等特点,克服了压电晶体驱动行程小、稳定性较差缺陷。
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公开(公告)号:CN207490105U
公开(公告)日:2018-06-12
申请号:CN201721007696.6
申请日:2017-08-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种电磁吸收超材料,其上表面处于工作环境中,包括周期性谐振单元阵列,所述电磁吸收超材料所述电磁吸收超材料上表面设有一层电介质复合薄膜,该薄膜为固态电介质层按不同厚度比例的叠加所述电介质复合薄膜的材料选自氧化硅、氮化硅、氧化铝、氟化镁或硅中的至少两种。本实用新型的电磁吸收超材料通过选取不同种类的介质薄膜,并把他们按照一定比例叠加,可以获得折射率在选取介质中最大与最小折射率之间的介质薄膜,从而实现表面晶格共振的更加灵活和可控的调制;电介质复合薄膜为固态电介质层按不同厚度比例的叠加,所以几乎可以在任意工作环境下工作,甚至是液态或运动的环境。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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