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公开(公告)号：CN102349137B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201080011571.5
申请日：2010-03-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/67051 , H01L21/02057
Abstract: 本发明提供一种衬底清洗方法，将形成有微细图案的衬底以不会对其细微图案带来不良影响的方式在短时间内进行清洗。关于形成有具有代表长度为0.1μm以下的槽或者孔的微细图案的晶圆(W)，以在含有水分的空间内隔着配置在规定位置上的对置电极(46)并隔着固定间隔与具有锐角状的前端部的冷却自由的放电电极(45)的前端部相对置的方式，配置晶圆(W)，使放电电极(45)进行冷却使放电电极(45)产生结露，并且在放电电极(45)与对置电极(46)之间施加固定电压。在施加该固定电压时，在放电电极(45)的前端部产生含有直径10nm以下的水微粒子的气溶胶，通过将气溶胶喷射到晶圆(W)来清洗晶圆(W)。
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公开(公告)号：CN101777487B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201010126106.8
申请日：2008-07-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 守屋刚
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67201
Abstract: 本发明提供一种气密模块以及该气密模块的排气方法，能够不降低生产效率地防止在基板的主面形成的图案发生倾倒。基板处理系统的负载锁定模块(5)具有移载臂(31)、腔室(32)以及负载锁定模块排气系统(34)，在腔室(32)内以与搬入到腔室(32)内的晶片(W)的主面相对的方式配置有板状部件(36)，在晶片(W)的主面的正上方，通过晶片(W)的主面和板状部件(36)划分成与腔室(32)的剩余部分隔离的排气流路，该排气流路的截面积比腔室(32)的剩余部分的截面积小。
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公开(公告)号：CN101814425B
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201010121550.0
申请日：2010-02-11
Applicant: 株式会社岛津制作所 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01N21/3554 , G01N21/031 , G01N21/05 , G01N21/3504 , G01N21/9501 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种半导体制造工艺用吸光分析装置，其具备与半导体制造工艺的处理室的排气流路连接的流路切换机构和多重反射型水分浓度计测用吸光分析计，该吸光分析计使来自激光光源的激光在单元内多重反射，检测单元内的气体的吸光度变化，并测定该气体中的水分浓度。所述流路切换机构将所述排气流路在经由所述单元而被排气的计测用流路和不经由所述单元而被排气的旁通流路之间进行切换并连接。
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公开(公告)号：CN102714169A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201180006564.0
申请日：2011-02-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 守屋刚
IPC: H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67359 , H01L21/67393 , Y10T137/86035
Abstract: 本发明提供一种基板收纳装置。该基板收纳装置根据使用环境有效地防止异物附着在被收纳的基板上。基板收纳装置包括：供气部（110），其用于向基板收纳装置（100）内引入外部空气；排气部（120），其与供气部相对配置；基板载置板（140），其设在供气部与排气部之间，具有连通该供气部和该排气部的连通孔（142）；供气过滤器（112），其设在供气部；鼓风机（122），其设在供气部或排气部，该基板收纳装置将状态传感器、微粒带电装置和调温装置中的任一个或状态传感器、微粒带电装置和调温装置中的两个以上的组合装卸自如地设于安装孔（150），该状态传感器用于检测基板收纳装置（100）内的状态（图2）。
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公开(公告)号：CN101355018B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200810144215.5
申请日：2008-07-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 守屋刚
IPC: H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/677 , C23C16/54
CPC classification number: H01L21/67201
Abstract: 本发明提供一种气密模块以及该气密模块的排气方法，能够不降低生产效率地防止在基板的主面形成的图案发生倾倒。基板处理系统的负载锁定模块(5)具有移载臂(31)、腔室(32)以及负载锁定模块排气系统(34)，在腔室(32)内以与搬入到腔室(32)内的晶片(W)的主面相对的方式配置有板状部件(36)，在晶片(W)的主面的正上方，通过晶片(W)的主面和板状部件(36)划分成与腔室(32)的剩余部分隔离的排气流路，该排气流路的截面积比腔室(32)的剩余部分的截面积小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102473593A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080029631.6
申请日：2010-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/3065
CPC classification number: A61K8/25 , A61K8/022 , A61K8/21 , A61K8/24 , A61K8/27 , A61Q11/00 , C03C3/062 , C03C3/097 , C03C3/112 , C03C4/0007 , C03C4/0021 , C03C4/0035 , C03C12/00 , H01J37/32935 , H01J37/3299 , H01L21/67288
Abstract: 本发明提供一种高精度地对装置中产生的异常进行检测的异常检测系统。对等离子体处理装置(2)所产生的异常进行检测的异常检测系统(100)具备：多个超声波传感器(41)，其检测由异常的产生所引起的AE；分配器(65)，其将超声波传感器(41)的各输出信号分别分配为第一信号和第二信号；触发器(52)，其例如以10kHz对第一信号进行采样，在检测出规定的特征时产生触发信号；触发产生时刻计数器(54)，其接收触发信号并决定触发产生时刻；数据记录器(55)，其例如以1MHz对第二信号进行采样来制作采样数据；以及PC(50)，其通过对采样数据中的与以由触发产生时刻计数器(54)决定的触发产生时刻为基准的固定期间相对应的数据进行波形分析，对等离子体处理装置(2)所产生的异常进行分析。
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公开(公告)号：CN102349137A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201080011571.5
申请日：2010-03-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/67051 , H01L21/02057
Abstract: 本发明提供一种衬底清洗方法，将形成有微细图案的衬底以不会对其细微图案带来不良影响的方式在短时间内进行清洗。关于形成有具有代表长度为0.1μm以下的槽或者孔的微细图案的晶圆(W)，以在含有水分的空间内隔着配置在规定位置上的对置电极(46)并隔着固定间隔与具有锐角状的前端部的冷却自由的放电电极(45)的前端部相对置的方式，配置晶圆(W)，使放电电极(45)进行冷却使放电电极(45)产生结露，并且在放电电极(45)与对置电极(46)之间施加固定电压。在施加该固定电压时，在放电电极(45)的前端部产生含有直径10nm以下的水微粒子的气溶胶，通过将气溶胶喷射到晶圆(W)来清洗晶圆(W)。
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公开(公告)号：CN101320677B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200810128050.2
申请日：2004-08-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明涉及减压处理室内的部件清洁方法和基板处理装置。为了使附着在减压处理室内的部件上的微颗粒飞散，清洁部件，采用将电压加在部件上，利用麦克斯韦应力使微颗粒飞散的方法；使微颗粒带电，利用库仑力飞散的方法，将气体导入减压处理室中，使气体冲击波到达附着有微颗粒的部件，使微颗粒飞散的方法；使部件温度上升，利用热应力和热泳动力，使微颗粒飞散的方法；或将机械振动给与部件，使微颗粒飞散的方法。另外，使飞散的微颗粒在较高压的气氛下被气体流夹带除去。
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公开(公告)号：CN102326002A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201080009031.3
申请日：2010-02-05
Applicant: 株式会社岛津制作所 , 东京毅力科创株式会社
IPC: F04D19/04
CPC classification number: F04D29/701 , F04D19/042
Abstract: 本发明提供一种涡轮分子泵，其包括：转子(30)，其形成有多层旋转叶片(32)且能够进行高速旋转；多个固定叶片(33)，它们在泵轴线方向上与旋转叶片(32)交替配置；泵外壳(34)，其用于容纳旋转叶片(32)及固定叶片(33)且形成有进气口(21a)；圆盘(150)，其设在靠近转子(30)的进气口侧的位置上且以与比转子(30)的旋转叶片根部靠近内径侧的面相面对的方式进行配置；圆筒状的网眼结构体(153a、153b)，其配置在进气口(21a)和转子(30)之间且由细线编织而成，将被转子弹起的颗粒捕捉到网眼结构体(153a、153b)的内部。
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公开(公告)号：CN101490816B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200780025076.8
申请日：2007-07-02
Applicant: 学校法人立命馆 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065 , H05H1/00
CPC classification number: H05H1/0006 , H01J37/32935 , H01J2237/0206
Abstract: 等离子体异常放电诊断系统具备：数据获取部(21)，其获取随着等离子体的状态而变动的时间序列数据；平移误差运算部(24)，其根据通过数据获取部(21)获取的时间序列数据，算出表示确定性的值，该值成为等离子体的时间序列数据是确定的数据还是或然的数据的指标；以及异常放电判断部(26)，其在上述等离子体产生中由上述确定性导出单元算出的表示确定性的值在规定的阈值以下的情况下，判断为上述等离子体是异常放电状态。表示确定性的值例如能够使用平移误差或者排列熵。在作为表示确定性的值而使用排列熵的情况下，具备排列熵运算部。
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