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公开(公告)号：CN1119837C
公开(公告)日：2003-08-27
申请号：CN00105549.6
申请日：2000-03-31
Applicant: 清华大学
IPC: H01L41/22 , H01L41/16 , C04B35/01 , C04B35/622
Abstract: 本发明涉及一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构的制备方法，首先制备PZT和PT先驱溶胶备用，在单晶硅衬底上生长二氧化硅，再在溅射一层金属Pt/Ti层作底层电极，在其上旋涂一层PT溶胶，再旋涂一层PZT溶胶，最后在铁电薄膜表面旋涂一层正胶，光刻，溅射一层金属Pt/Ti层，正胶剥离形成顶层电极，即得本发明的用于电子元器件的夹心结构。本发明方法降低了铁电薄膜的退火温度，从而提高了铁电薄膜的制备工艺与微电子工艺的兼容性。
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公开(公告)号：CN1267918A
公开(公告)日：2000-09-27
申请号：CN00105549.6
申请日：2000-03-31
Applicant: 清华大学
IPC: H01L41/22 , H01L41/16 , C04B35/01 , C04B35/622
Abstract: 本发明涉及一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构的制备方法,首先制备PZT和PT先驱溶胶备用,在单晶硅衬底上生长二氧化硅,再在溅射一层金属Pt/Ti层作底层电极,在其上旋涂一层PT溶胶,再旋涂一层PZT溶胶,最后在铁电薄膜表面旋涂一层正胶,光刻,溅射一层金属Pt/Ti层,正胶剥离形成顶层电极,即得本发明的用于电子元器件的夹心结构。本发明方法降低了铁电薄膜的退火温度,从而提高了铁电薄膜的制备工艺与微电子工艺的兼容性。
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公开(公告)号：CN120070392A
公开(公告)日：2025-05-30
申请号：CN202510183384.3
申请日：2025-02-19
Applicant: 清华大学 , 北京电子控股有限责任公司
Abstract: 本发明提供一种基于图像圆弧特征提取的晶圆凸点高度检测方法、装置、设备及介质，包括：获取待测晶圆的凸点和基底平面所成的光条图像；对光条图像进行边缘提取，获得光条边缘；基于霍夫变换对光条边缘进行圆弧特征检测获得若干圆形；对检测出的若干圆形的冗余解进行去除；根据光条图像的几何特征生成掩膜区域，对去除冗余解后剩余的圆形基于生成的掩膜区域进行剔除，得到图像圆弧特征；基于图像圆弧特征计算得到晶圆凸点的高度。因此，本发明通过非极大值抑制和掩膜策略对霍夫圆检测的结果进行优化，从而实现精确的圆弧特征求解，实现晶圆凸点的高度测量。
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公开(公告)号：CN119784219A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411814156.3
申请日：2024-12-10
Applicant: 清华大学 , 北京电子控股有限责任公司
Abstract: 本公开涉及数据处理技术领域，包括智能硅基OLED良率预测方法、装置及存储介质。通过获取每个智能硅基OLED的生产数据；删除生产数据中的第一数据类型和第一数据类型对应的类型值，得到的目标数据包括多种第二数据类型和第二数据类型对应的类型值；将目标数据的第一数据格式转置为第二数据格式，得到的转置数据中行方向的数据包括同一智能硅基OLED的多种第二数据类型的类型值；基于转置数据训练得到不良预测模型；基于转置数据以及不良预测模型，确定多种第二数据类型中各个特征类型的Shapley值；基于每种特征类型的Shapley值生成多维度解释信息；可以提高不良预测模型的训练效率、以及良率预测的可解释性。
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公开(公告)号：CN109542839B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN201910049564.7
申请日：2019-01-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种融合非易失多值存储与逻辑运算功能的动态可控器件单元，包括：主晶体管，主晶体管的栅极控制端串联有一个的两端非易失多值可变性阻抗，两端非易失多值可变性阻抗的两端分别为所属主晶体管的栅极控制端与单元整体栅极控制输入端；控制晶体管，控制晶体管的源极和漏极与两端非易失多值可变性阻抗并联；两端非易失多值可变性阻抗，用于当其维持在不同阻抗值时，通过单元整体栅极控制输入端对主晶体管进行栅控时的阈值电压不同，进而实现多值存储的功能。该单元有效解决传统芯片架构中运算单元与存储单元分立实现，使得在计算过程中数据在运算单元与存储单元之间搬运限制了芯片速度进一步提升的技术问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118478084A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410620814.9
申请日：2024-05-17
Applicant: 清华大学
Abstract: 本申请提供一种基于相变材料制备可重构光子器件的激光调制方法，包括获取硫系相变材料在实现非晶态和晶态可逆转变过程中所需要的激光功率阈值，根据所述激光功率阈值和预设光路确定脉冲激光的预设激光参数；采用具有所述预设激光参数的脉冲激光沿所述预设光路对生长在基底上的硫系相变材料进行激光直写，诱导所述硫系相变材料的部分区域完成从非晶态到晶态的可逆转变过程，以获得具有特定折射率的可重构光子器件。本申请提供的激光调制方法采用脉冲激光对相变材料进行直写，能够降低激光直写过程中的热量累积，并激励硫系相变材料的折射率发生改变，实现可重构光子器件光学性能的动态调整，大大提高了可重构光子器件的加工精度和空间分辨率。
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公开(公告)号：CN113331785B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202110515632.1
申请日：2021-05-12
Applicant: 清华大学
IPC: A61B3/16
Abstract: 本发明提出一种无线压平式眼压监测系统，涉及眼压监测技术领域。该系统包括：一对角膜接触镜和一个便携式眼镜；其中，角膜接触镜由添加了磁性材料的水凝胶制成，每只角膜接触镜内嵌有应变感应电路和与该电路两端相连的内部信号处理模块；便携式眼镜包括：一个外部信号处理模块、分别对应于两只角膜接触镜的两个磁场生成模块和一个供电电池；外部信号处理模块分别连接两个磁场生成模块、供电电池、各内部信号处理模块及移动通信设备。本发明操作方便快捷，可以用于使用者眼压的无线和24小时连续监测；利用电学信号处理模块控制磁场，测量结果更加精确，而且由于主动调节磁场大小，无需对每位患者的角膜曲率进行标定。
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公开(公告)号：CN118398565A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410501801.X
申请日：2024-04-24
Applicant: 清华大学
IPC: H01L23/31 , H01L23/48 , H01L23/522 , H01L23/538
Abstract: 本公开涉及一种柔性集成装置，该装置包括至少一个柔性器件层、至少一个柔性中介层和柔性衬底，各柔性器件层中包括至少一个器件，柔性器件层位于柔性衬底上方，且在柔性器件层为多个的情况下，多个柔性器件层垂直依次堆叠在柔性衬底上；各柔性中介层设置在柔性器件层与柔性衬底之间、或者设置在相邻的两个柔性器件层之间；装置的电气连接和通信通过设置在柔性器件层中多个第一柔性导电结构和柔性中介层中设置的多个第二柔性导电结构实现。所提供的柔性集成装置能够实现器件的柔性集成，使得装置本身就具备需要的柔性，装置的集成度高、尺寸小、工艺简单、制造容易、性能稳定、可靠性好、成本低、应用场景广泛。
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公开(公告)号：CN118356153A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410258283.3
申请日：2024-03-07
Applicant: 清华大学
IPC: A61B5/00
Abstract: 本申请实施例提供了一种健康监护装置和健康监护系统，包括第一柔性支撑部与柔性传感器，柔性传感器的一侧表面与第一柔性支撑部固定连接，柔性传感器的另一侧表面用于与健康监护对象的表皮接触，以采集健康监护对象的健康信号，健康信号用于根据健康信号获取健康监护对象的健康监护结果，其中，在健康监护对象的表皮发生正常形变时，柔性传感器的另一侧表面与健康监护对象的表皮保持共形贴附。本申请所提供的健康监护装置和健康监护系统对于健康监护的准确性更高。
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公开(公告)号：CN117914887A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410070050.0
申请日：2024-01-17
Applicant: 清华大学
Abstract: 本公开涉及信号处理领域，提出一种第一设备及信号处理方法。第一设备包括信号收发模块、电源管理模块、柔性存算一体芯片，信号收发模块从第二设备处接收第一信号，在第一信号的用途是供能时，将第一信号传输至电源管理模块，在第一信号的用途是数据分析时，将第一信号传输至柔性存算一体芯片；电源管理模块将第一信号转换为电能存储，并为信号收发模块和柔性存算一体芯片供电；柔性存算一体芯片按照第一信号指示的方式完成数据分析。本公开实施例的第一设备集成了能量转换和数据分析功能，并且是可穿戴的电子设备，第一设备的充电方式对用户的影响更小，同时使用了柔性存算一体芯片，使得第一设备的具备更小的能耗、更长的续航时间。
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