基于数字微流控的动态声场调制与微粒操控方法

    公开(公告)号:CN119425825A

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202411635642.9

    申请日:2024-11-15

    Abstract: 本发明公开了基于数字微流控的动态声场调制与微粒操控方法,通过液滴来实现对声场的调制,液滴位于上极板和下极板之间,液滴的周围为空气,声波在下极板、液滴、上极板的路径上,因液体和玻璃的声阻抗差异不大,声波的大部分能量可以透射实现传输,因空气和玻璃的声阻抗差异很大,大部分声波能量在空气和玻璃界面发生反射而难以传输,通过控制液滴的数量和排布,使声波在特定位置的选择性穿透,从而形成特定的声场,通过控制液滴实时移动,使穿透形成的声场实时变化,从而达到对声场的动态调制,将调制获得声场作用于溶液,通过声场来获得微粒的特定运动,实现对微粒的操控,在微组装和细胞操控方面具有非常好的应用前景。

    基于静电MEMS微镜与激光器同步运动的投影方法及控制电路

    公开(公告)号:CN119376092A

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202411379192.1

    申请日:2024-09-30

    Abstract: 本发明公开一种基于静电MEMS微镜与激光器同步运动的投影方法及控制电路,应用于LBS投影系统,该系统采用二维静电谐振式MEMS微镜及激光器,方法包括:生成快轴驱动方波、慢轴驱动方波的同时扫频,输出扫频后的快轴驱动方波和慢轴驱动方波;基于扫频后的快轴驱动方波、慢轴驱动方波分别驱动二维静电谐振式MEMS微镜的快轴和慢轴运动;分别对快轴驱动方波、慢轴驱动方波施加第一出光延迟和第二出光延迟,实现激光器与快轴、慢轴的同步运动;找到快轴出光点与慢轴出光点第一次处于同一时刻的位置,确定为投影起始点;预设投影点数量,自投影起始点开始按扫描轨迹顺序投影。本发明使LBS投影系统具有帧率高、视场角大、体积小、功耗低、机械稳定性高的显著优势。

    基于数字微流控的动态声场调制与微粒操控装置

    公开(公告)号:CN119368254A

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202411635729.6

    申请日:2024-11-15

    Abstract: 本发明公开了一种基于数字微流控的动态声场调制与微粒操控装置,包括溶液槽、数字微流控系统、体声波谐振器,所述数字微流控系统用于动态调制由体声波谐振器产生的声波,调制后的声波作用于溶液槽中的溶液,在溶液中形成局部的声流场,从而驱动溶液中的微粒,实现微粒的动态操控。本发明的有益效果:发明的装置可以进行单一声场进行调制,使其变为可控的动态变化的声场,液滴的快速移动可以实现传递到下一级的声场快速变化;设计的数字微流控外设和芯片电极的楔形夹紧机构,可以实现芯片的快速更换,可以实现稳定的电路连接,同时也保证了芯片与前端的发声器件和后端的操控溶液槽之间的声场耦合。

    一种基于压阻效应的微型天平及其制作方法

    公开(公告)号:CN118310607A

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202410404656.3

    申请日:2024-04-03

    Abstract: 本发明提供一种基于压阻效应的微型天平,涉及微物体称重设备技术领域,包括称重平台、支撑组件、悬臂梁和压敏电阻,称重平台用于放置待称重物;支撑组件具备多个支撑部,多个支撑部围绕称重平台所在的柱形区域设置;悬臂梁具有弹性变形能力,悬臂梁设置有多个,悬臂梁的一端和称重平台连接,另一端和支撑部连接;压敏电阻设置于悬臂梁与支撑部连接处。本发明提供的微型天平无严格的测量环境要求,可在各种环境下进行质量测量,应用范围广泛,适用于大范围的微观尺度测量,能够实现将质量信号转变为线性电压信号输出,便于信号处理。

    一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器

    公开(公告)号:CN116499517A

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202310104450.4

    申请日:2023-02-13

    Abstract: 本发明涉及一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器,具体涉及一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器及其制作方法;属于传感器领域。本发明的目的是为了克服现有技术的不足,填补领域的空白,实现单芯片同时检测气体流量与气体/湿度的功能,提供一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器及其制作方法;该传感器充分利用了流量传感部分加热电阻的热量,极大地提高了能量的利用率,并且具有低功耗、高响应速度、低滞回的优势;采用无需掩模版操作的Post‑CMOS工艺,避免了复杂的光刻步骤,有效降低了整个器件的后处理复杂程度,大大提高了整个Post‑CMOS后处理的效率。

    一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备

    公开(公告)号:CN114019674B

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202111167883.1

    申请日:2021-09-29

    Abstract: 本公开提供了一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备;其中,所述透射式光开关包括基底,驱动装置以及静电吸合装置;所述基底形成有透光区域;所述驱动装置的一端与所述基底连接,所述驱动装置悬置于所述基底上,所述驱动装置被构造为能够发生弯曲形变和展平;所述静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极,所述第一静电电极位于所述基底上,且为透光材料,所述第二静电电极位于所述驱动装置上;在所述驱动装置展平的状态下,所述驱动装置能够通过所述第二静电电极静电吸合在所述第一静电电极上,以关闭所述透光区域。本公开的方案为光开关提供了一种新的驱动方式,能够明显降低驱动电压和功耗,同时降低了维持光开关关闭的能耗。

    基于剪纸结构的双模柔性量热式流量传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115597671A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202211329624.9

    申请日:2022-10-27

    Abstract: 本发明属于传感器技术领域,具体涉及一种基于剪纸结构的双模柔性量热式流量传感器及其制备方法。本发明通过在硅片上依次形成第一柔性基底层、第二柔性基底层、第一热敏电阻、第二热敏电阻和第三热敏电阻。与硅基加工工艺不同,本发明首创性的提出了一种柔性基底的悬浮结构一体式加工工艺。先在空腔处构建牺牲层,在传感层构建完成之后,与硅基直接刻蚀基底不同,本发明采用丙酮洗去牺牲层厚胶的工艺形成悬浮结构。之后剥离硅基底从而形成带有悬浮结构的柔性量热式流速传感器。由于本发明采用一体式加工工艺和双模柔性基底制作传感器及它的悬空和剪纸结构,传感器具有稳定性高,热耗散低,灵敏度高,具有复杂曲面保型贴合的特点。

    二维微镜
    98.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114019675A

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202111155662.2

    申请日:2021-09-29

    Inventor: 谢会开 王鹏

    Abstract: 本公开公开了一种二维微镜。该二维微镜包括外框架及套设于所述外框架内侧的内框架;所述外框架与所述内框架之间设置有第一驱动器;所述内框架的内侧设置有第二驱动器;所述第一驱动器和所述第二驱动器均为电热驱动器,或者,所述第一驱动器为电热驱动器、所述第二驱动器为静电驱动器;所述第一驱动器包括支撑梁及驱动臂组件;所述支撑梁连接在所述内框架的外侧,所述驱动臂组件与所述支撑梁连接,所述驱动臂组件设置有多个,多个所述驱动臂组件沿第一方向排布,所述第一方向为所述支撑梁的长度方向。

    一种离轴激光雷达及其回波接收方法

    公开(公告)号:CN112859047A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202110040233.4

    申请日:2021-01-13

    Inventor: 谢会开 王鹏 杨文

    Abstract: 本申请公开了一种离轴激光雷达及其回波的接收方法,该离轴激光雷达包括激光发射单元和激光接收单元,其中,激光接收单元包括:滤光片,用于对离轴激光雷达的的回波进行过滤,且滤光片为透光波长包含激光发射单元所发射激光波长的窄带滤光片;滤光片驱动器,用于转动滤光片以使离轴激光雷达的回波以预定角度范围内的一个角度入射到滤光片上;光电探测器,用于对滤光片过滤后的回波进行接收,且将接收到的回波进行光电转换。本申请解决了现有离轴激光雷达在具备较强回波接收能力的同时信噪比较低的技术问题。

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