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公开(公告)号：CN101830425B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200910237298.7
申请日：2009-11-12
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种可变刚度梁及其制备方法、致动方法，该可变刚度梁包括：框架结构；嵌套于所述框架结构中的填充部分；位于所述填充部分上的绝缘层；及位于所述绝缘层上的加热部件。本发明的可变刚度梁具有单片集成、自适应性等技术特点，应用面广，附加值高，可克服现有技术的不足。
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公开(公告)号：CN101704498B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN200910237719.6
申请日：2009-11-16
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种静电致动器及其制备方法、抗瞬时扰动方法，该静电致动器包括：固定电极，为固定连接于衬底上的引线电极的平板电极；第一可动电极，为设置于距所述衬底设定高度的平板电极；第二可动电极，为矩形框平板电极，设置于所述第一可动电极同一平面上、所述固定电极与所述第一可动电极之间；所述第一可动电极及第二可动电极均与弹性部件相连。本发明的静电致动器具有单片集成、自适应性等技术特点，还具有高精确定位、高可靠性，能够有效克服由外部环境振动引入的冲击扰动，特别是瞬态振动引起的扰动。
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公开(公告)号：CN101718910B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200910237299.1
申请日：2009-11-12
Applicant: 北京大学
IPC: G02B26/10
Abstract: 本发明涉及一种静电振镜及其制作方法，该静电振镜由下至上包括衬底、驱动层、振镜层，衬底至少表面绝缘；驱动层包括：驱动电极、着陆电极、键合点、导线，驱动电极用于提供驱动电压以及外部管脚的连接，以振镜中心线为对称线设置于中心线两侧，用于控制振镜一个维度的振动；着陆电极两两以中心线为对称线设置于中心线两侧，并通过键合与振镜层相连，使得着陆电极与振镜层悬臂梁电位相同；振镜层包括：振镜、支架、悬臂梁，振镜两端与悬臂梁连接，支架固定于衬底，悬臂梁与支架连接，为鱼骨形结构，具有末端可接触到着陆电极的多根不同长度的齿状子梁，允许振镜产生扭动。本发明的静电振镜制造工艺简单、成本低，可靠性高。
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公开(公告)号：CN102079499A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201010595044.5
申请日：2010-12-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种悬臂梁微量检测传感器及其制备方法。该传感器是将经过重金属扩散或者伽马射线辐照处理过的金属-硅肖特基二极管嵌入硅悬臂梁适当位置的表面，用以将力学信号转化为电学信号。在悬臂梁的一个表面淀积薄的贵金属层，在该金属层上通过自主装的方法生长上具有特异性吸附能力的单分子敏感层。被检测化学物质与敏感层分子结合时在悬臂梁上下表面产生表面应力差，致使悬臂梁发生弯曲，从而在悬臂梁根部产生集中的弯曲应力，该应力由嵌入悬臂梁表面的肖特基二极管检测。本发明提供的传感器，结构简单、制作简便、灵敏度高、分辨率高，可应用于力传感器和扫描探针等，在环境检测、食品安全、航天军事等领域有重要应用。
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公开(公告)号：CN100561288C
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200810056983.5
申请日：2008-01-28
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种微型光学器件及其制备工艺，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、光反射模块和光纤固定模块；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定电极；所述可动电极为插设在所述梳齿式固定电极间的两梳齿式可动电极和分别位于所述平板式固定电极上方的两平板式可动电极；所述支撑梁包括折叠横梁和组合扭转梁，所述光纤固定模块上以所述光反射模块为中心，呈放射状设置有若干光纤槽，且每一所述光纤槽分别对准所述光反射模块上多个光反射面中的一个。本发明的制备方工艺简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可用于实现功能更强大的微光集成系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100558627C
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200810056981.6
申请日：2008-01-28
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法，本发明微驱动结构包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、驱动输出端；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定电极；所述可动电极为插设在所述梳齿式固定电极间的两梳齿式可动电极和分别位于所述平板式固定电极上方的两平板式可动电极；所述支撑梁包括折叠横梁和组合扭转梁。本发明不但可以通过梳齿型可动电极与固定电极之间的作用，实现共面X轴方向的移动，而且可以通过可动电极和固定电极的相互作用，实现驱动输出端的离面扭转运动。本发明工艺过程简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可用于实现功能更强大的微光集成系统。
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公开(公告)号：CN101508419A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910080158.3
申请日：2009-03-24
Applicant: 北京大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 本发明涉及一种纳米柱森林的加工方法，其步骤包括：1)准备并清洗所选用的衬底；2)在衬底的表面上旋涂光刻胶，并对光刻胶依次进行前烘、曝光和显影，最后形成光刻胶图形；3)对光刻胶图形进行氧等离子体干法刻蚀，在衬底上形成一层图形化的纳米点状结构；4)用纳米点状结构为掩模，各向异性刻蚀衬底，形成初始纳米柱；5)在初始纳米柱表面保形沉积薄膜；6)通过各向异性刻蚀薄膜，在初始纳米柱的周围形成侧墙；7)以包裹侧墙的初始纳米柱为掩模，各向异性刻蚀衬底，形成纳米柱；8)去除纳米柱表面上的侧墙残留，得到图形化的纳米柱森林结构。使用本发明制作的图形化纳米柱森林可广泛应用于新能源器件、生物医学检测器件、微流控器件、电子器件以及纳米压印中。
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公开(公告)号：CN101290395A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200810104013.8
申请日：2008-04-14
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种微型多功能光学器件及其制备方法，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、锚点、玻璃衬底、光反射模块和光纤槽；所述光反射模块的头部呈三角形，正对所述反射模块的头部设置一输入光纤槽，与所述三角形光反射模块的两侧反射面对应，与所述输出光纤槽垂直相对设置有两个输出光纤槽，所述输入、输出光纤槽内设置有输入、输出光纤。本发明利用固定电极和可动电极组成的梳齿型静电驱动器移动光反射模块来实现可调分光功能和光开关功能，同时利用固定电极和可动电极组成的平板型静电驱动器扭转光反射模块来实现光衰减功能。本发明的制备方工艺简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可用于实现功能更强大的微光集成系统中。
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公开(公告)号：CN100416834C
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200510068117.4
申请日：2005-04-26
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种纳机电非易失随机存取存储器，其特征在于：它主要包括设置在芯片衬底上的海量纳米级存储单元和键合在衬底上方的玻璃；每个存储单元包括一通过转子轴支撑在存储单元中心的驻极体转子，该转子两端的衬底上设有一对电极；在衬底的驻极体转子两侧设置一对受控制部件MOSFET，其中两个源/漏极作为单元的驱动/检测电极，分别与转子两端的电极相接，另两个漏/源极作为存储单元的位线，与外控电路的读出/写入信号相接，栅极与外控电路的存储单元字线选择信号相接；转子一端顶面设置有一永磁薄膜层，与转子另一端顶面相对的键合玻璃上设置另一永磁薄膜层。本发明提供了以两个机械稳态分别表示“0”和“1”的全新概念的存储器单元，用本发明的存储器单元制作的存储器具有非易失性、低功耗和高速的特点。
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公开(公告)号：CN100364094C
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200510005031.7
申请日：2005-01-31
Applicant: 北京大学
IPC: H01L27/02 , H01L29/78 , H01L21/822 , H01L21/336 , B82B1/00 , B82B3/00
Abstract: 本发明涉及一种FinFET电路与纳机电梁集成的芯片及其制作方法，本发明产品包括—芯片本体，其特征在于：芯片本体上包括机电区和电路区，机电区包括设置在芯片本体上的固定端，单端或双端固定的纳机电梁和机电区电极；电路区包括以FinFET为单元构建的电路系统，FinFET单元中包括源、漏、Fin和栅，栅跨越Fin，电路区和机电区之间通过金属引线连接，金属引线在机电区，连接固定端或机电区电极，金属引线在电路区，连接电路系统中FinFET单元的栅或源或漏，电路区和机电区的外接端口分别连通外接布线。本发明不仅对制作出更高性能NEMS潜力很大，而且大大提高了系统的集成度和生产效率，降低了工业化生产成本，它在各种传感、射频、检测环境微小变化等领域有重要应用。
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