层叠电极、带电极的应变电阻膜及压力传感器

    公开(公告)号:CN118043635A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202180102998.4

    申请日:2021-10-07

    Abstract: 本发明提供一种应变电阻膜用层叠电极等,其在使用含有Cr和Al的膜作为应变电阻膜的情况下,即使在暴露于高温环境之后,也能够实现相对于配线的良好的粘合力。所述层叠电极设置于应变电阻膜上,其中,所述应变电阻膜含有Cr和Al,所述层叠电极具有重叠于所述应变电阻膜上的接触层、重叠于所述接触层上的防扩散层以及重叠于所述防扩散层上的安装层,所述防扩散层含有属于第五周期及第六周期的过渡元素。

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