公开(公告)号：CN116888445A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202280017577.6

申请日：2022-02-25

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小林正典 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  绳冈孝平

IPC: G01L9/00

Abstract: 本发明提供耐热性及耐湿性优异的层叠电极、带电极的应变电阻膜及压力传感器。一种层叠电极(36)，其设置于应变电阻膜(32)之上，应变电阻膜(32)含有Cr和Al，层叠电极(36)具有重叠于应变电阻膜(32)之上的接触层(36a)、重叠于接触层(36a)之上的防扩散层(36b)、以及重叠于防扩散层(36b)之上的安装层(36c)，防扩散层(36b)或安装层(36c)，以接触层(36a)的端面(36a1)不露出的方式，覆盖接触层(36a)。

公开(公告)号：CN114902028B

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202180007836.2

申请日：2021-02-15

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小林正典 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  绳冈孝平

IPC: G01L9/04

Abstract: 本发明提供一种在层叠方向上具有多个检测部而且检测精度提高的压力传感器。本发明的压力传感器(10)具有：膜(22)，其产生与压力对应的变形；第一测量层(40)，其形成在膜(22)上；中间绝缘层(50)，其形成在第一测量层(40)之上；以及第二测量层(60)，其形成在中间绝缘层(50)之上。第一测量层(40)及第二测量层(60)分别包括检测膜的变形的第一检测部(42)及第二检测部(62)。从膜(22)的表面至第二检测部(62)的距离在30μm以内。

公开(公告)号：CN117848200A

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202311275692.6

申请日：2023-09-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 绳冈孝平 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  小林正典 ,  波多彻雄

IPC: G01B7/16 ,  C23C14/06 ,  C23C14/34 ,  C23C14/54 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明提供一种维持比较高的k‑因子且TCR的控制容易的应变电阻膜和具有该电阻膜的物理量传感器。所述应变电阻膜是具有由式Cr100‑x‑y‑zAlxNyOz表示的组成的应变电阻膜。满足5≤x≤50、0.1≤y≤20、0.1≤z≤17、及y+z≤25的关系。

公开(公告)号：CN117980711A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202280064637.X

申请日：2022-06-17

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 绳冈孝平 ,  海野健 ,  小林正典 ,  笹原哲也

IPC: G01L9/04 ,  G01K7/22 ,  G01L1/22

Abstract: 一种温度敏感应变敏感复合传感器，其中，具有：应变敏感电阻膜，其以通式Cr(100‑x‑y)AlxNy表示，x、y各自的组成区域为5＜x≤50、0.1≤y≤20；和温度敏感电阻膜，其在‑50℃以上450℃以下的温度范围内的电阻温度系数(TCR)的绝对值为2000ppm/℃以上。

公开(公告)号：CN114902028A

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202180007836.2

申请日：2021-02-15

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小林正典 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  绳冈孝平

IPC: G01L9/04

Abstract: 本发明提供一种在层叠方向上具有多个检测部而且检测精度提高的压力传感器。本发明的压力传感器(10)具有：膜(22)，其产生与压力对应的变形；第一测量层(40)，其形成在膜(22)上；中间绝缘层(50)，其形成在第一测量层(40)之上；以及第二测量层(60)，其形成在中间绝缘层(50)之上。第一测量层(40)及第二测量层(60)分别包括检测膜的变形的第一检测部(42)及第二检测部(62)。从膜(22)的表面至第二检测部(62)的距离在30μm以内。

公开(公告)号：CN118043635A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202180102998.4

申请日：2021-10-07

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小林正典 ,  南风盛将光 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  绳冈孝平

IPC: G01L1/26 ,  G01L1/22 ,  G01B7/16

Abstract: 本发明提供一种应变电阻膜用层叠电极等，其在使用含有Cr和Al的膜作为应变电阻膜的情况下，即使在暴露于高温环境之后，也能够实现相对于配线的良好的粘合力。所述层叠电极设置于应变电阻膜上，其中，所述应变电阻膜含有Cr和Al，所述层叠电极具有重叠于所述应变电阻膜上的接触层、重叠于所述接触层上的防扩散层以及重叠于所述防扩散层上的安装层，所述防扩散层含有属于第五周期及第六周期的过渡元素。

公开(公告)号：CN117120819A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280024663.X

申请日：2022-03-17

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 绳冈孝平 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  小林正典

IPC: G01L1/22

Abstract: 本发明提供可以降低伴随组成变化的特性变化的应变电阻膜及使用了该应变电阻膜的压力传感器。一种应变电阻膜，其由通式Cr100‑x‑yAlxNy表示，x、y各自的组成区域为25

公开(公告)号：CN117099172A

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202280024654.0

申请日：2022-02-25

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 绳冈孝平 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  小林正典

IPC: H01C10/10

Abstract: 本发明提供含有Cr、Al、N且可以防止膜剥离的应变电阻膜等。本发明提供一种由含有Cr、Al、N、Si的合金材料构成的应变电阻膜。

公开(公告)号：CN116659558A

公开(公告)日：2023-08-29

申请号：CN202310104783.7

申请日：2023-02-13

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小林正典 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  绳冈孝平

IPC: G01D11/00 ,  G01L1/04 ,  G01L7/08

Abstract: 本发明提供能够防止在绝缘膜缘部产生裂纹、剥离的带绝缘膜的金属部件、物理量传感器和压力传感器。带绝缘膜的金属部件包括：具有膜形成面和连接面的金属部件，其中，上述连接面朝向与上述膜形成面不同的方向且与上述膜形成面连接；绝缘膜，其跨上述膜形成面与上述连接面的连接位置覆盖上述膜形成面和上述连接面的至少一部分；和加强部，其沿着上述绝缘膜中覆盖上述连接位置的部分即绝缘膜缘部形成，从与上述金属部件相反的一侧覆盖上述绝缘膜缘部的至少一部分。

公开(公告)号：CN114303047A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202080061192.0

申请日：2020-08-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小林正典 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  绳冈孝平

IPC: G01L9/04

Abstract: 本发明提供适于小型化的传感器元件。本发明的压力传感器元件具有：金属板；绝缘膜，其以在作为所述金属板的一个表面的第一表面形成所述第一表面被覆盖的覆盖区域和所述第一表面露出的露出区域的方式设置；以及压力检测电路，其以通过所述绝缘膜相对于所述第一表面绝缘的方式，形成于所述绝缘膜。