公开(公告)号：CN102089709B

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN200980127305.6

申请日：2009-07-13

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 下川努 ,  江畑琢磨 ,  酒井香织 ,  大泉芳史 ,  征矢野晃雅 ,  大塚昇

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物，其可形成分辨性能优异且纳米边缘粗糙度小的化学增幅型抗蚀剂。该放射线敏感性树脂组合物含有(A)具有下述通式(1)所示的部分结构的放射线敏感性酸产生剂、和(B)树脂。通式(1)中，R1表示1价烃基等。

公开(公告)号：CN102089709A

公开(公告)日：2011-06-08

申请号：CN200980127305.6

申请日：2009-07-13

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 下川努 ,  江畑琢磨 ,  酒井香织 ,  大泉芳史 ,  征矢野晃雅 ,  大塚昇

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物，其可形成分辨性能优异且纳米边缘粗糙度小的化学增幅型抗蚀剂。该放射线敏感性树脂组合物含有(A)具有下述通式(1)所示的部分结构的放射线敏感性酸产生剂、和(B)树脂。通式(1)中，R1表示1价烃基等。

公开(公告)号：CN102150082A

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：CN200980135499.4

申请日：2009-09-10

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 江畑琢磨 ,  中川大树 ,  松田恭彦 ,  笠原一树 ,  星子贤二 ,  中岛浩光 ,  池田宪彦 ,  酒井香织 ,  原田早纪

IPC: G03F7/039 ,  C08F20/26 ,  G03F7/004

CPC classification number: C08F20/28 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物，其含有聚合物(A)、放射线敏感性的酸产生剂(B)、酸扩散抑制剂(C)和溶剂(D)，上述聚合物(A)是具有下述通式(a-1)表示的重复单元(a-1)的聚合物，上述酸扩散抑制剂(C)含有下述通式(C-1)表示的碱(C-1)和光分解性碱(C-2)中的至少一种碱。通式(a-1)中，R1相互独立地表示氢原子等，R为通式(a’)表示的1价基团，R19表示碳原子数为1～5的链状烃基等，A表示碳原子数为1～30的2价链状烃基等，m和n表示0～3的整数(其中m+n＝1～3)。通式(C-1)中，R2、R3相互独立地表示碳原子数为1～20的1价链状烃基等，2个R2也可以结合形成环结构。

公开(公告)号：CN102150082B

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN200980135499.4

申请日：2009-09-10

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 江畑琢磨 ,  中川大树 ,  松田恭彦 ,  笠原一树 ,  星子贤二 ,  中岛浩光 ,  池田宪彦 ,  酒井香织 ,  原田早纪

IPC: G03F7/039 ,  C08F20/26 ,  G03F7/004

CPC classification number: C08F20/28 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物，其含有聚合物(A)、放射线敏感性的酸产生剂(B)、酸扩散抑制剂(C)和溶剂(D)，上述聚合物(A)是具有下述通式(a-1)表示的重复单元(a-1)的聚合物，上述酸扩散抑制剂(C)含有下述通式(C-1)表示的碱(C-1)和光分解性碱(C-2)中的至少一种碱。通式(a-1)中，R1相互独立地表示氢原子等，R为通式(a’)表示的1价基团，R19表示碳原子数为1～5的链状烃基等，A表示碳原子数为1～30的2价链状烃基等，m和n表示0～3的整数(其中m+n＝1～3)。通式(C-1)中，R2、R3相互独立地表示碳原子数为1～20的1价链状烃基等，2个R2也可以结合形成环结构。