公开(公告)号：CN102089709B

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN200980127305.6

申请日：2009-07-13

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 下川努 ,  江畑琢磨 ,  酒井香织 ,  大泉芳史 ,  征矢野晃雅 ,  大塚昇

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物，其可形成分辨性能优异且纳米边缘粗糙度小的化学增幅型抗蚀剂。该放射线敏感性树脂组合物含有(A)具有下述通式(1)所示的部分结构的放射线敏感性酸产生剂、和(B)树脂。通式(1)中，R1表示1价烃基等。

公开(公告)号：CN102089709A

公开(公告)日：2011-06-08

申请号：CN200980127305.6

申请日：2009-07-13

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 下川努 ,  江畑琢磨 ,  酒井香织 ,  大泉芳史 ,  征矢野晃雅 ,  大塚昇

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物，其可形成分辨性能优异且纳米边缘粗糙度小的化学增幅型抗蚀剂。该放射线敏感性树脂组合物含有(A)具有下述通式(1)所示的部分结构的放射线敏感性酸产生剂、和(B)树脂。通式(1)中，R1表示1价烃基等。