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公开(公告)号:CN100430828C
公开(公告)日:2008-11-05
申请号:CN02802574.1
申请日:2002-07-25
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/36 , C08L101/00 , H01L21/312 , H01L23/12
CPC classification number: H05K1/162 , G03F7/001 , G03F7/0045 , G03F7/0047 , G03F7/039 , G03F7/0392 , G03F7/0757 , G03F7/26 , G03F7/38 , H01L21/02126 , H01L21/02186 , H01L21/02282 , H01L21/02343 , H01L21/02348 , H01L21/312 , H05K1/0286 , H05K2201/0116 , H05K2201/0187 , H05K2203/107 , H05K2203/1163 , Y10S430/106
Abstract: 一种放射线敏感性电容率变化性组合物,含有(A)分解性化合物、(B)非分解性化合物、(C)感放射线分解剂和(D)稳定剂。该组合物通过简便的方法可以进行材料的电容率变化,同时该变化的电容率差为充分大的数值,而且不因随后的使用条件变化,可以给予稳定的电容率图案或光学材料。
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公开(公告)号:CN1598695A
公开(公告)日:2005-03-23
申请号:CN200410064064.4
申请日:2004-07-14
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G03F7/001 , G03F7/0007 , G03F7/0046 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供可以容易地形成由2种折射率不同的区域组成的图案的方法。本发明提供一种形成折射率不同的2种区域的方法,其中:使用感辐射性树脂组合物形成具有疏水·疏油性部位的图案,并在其上涂布使用对疏水·疏油性部位润湿性小的溶剂的高折射率树脂溶液。
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