-
公开(公告)号:CN102089709B
公开(公告)日:2013-10-30
申请号:CN200980127305.6
申请日:2009-07-13
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物,其可形成分辨性能优异且纳米边缘粗糙度小的化学增幅型抗蚀剂。该放射线敏感性树脂组合物含有(A)具有下述通式(1)所示的部分结构的放射线敏感性酸产生剂、和(B)树脂。通式(1)中,R1表示1价烃基等。
-
公开(公告)号:CN102089709A
公开(公告)日:2011-06-08
申请号:CN200980127305.6
申请日:2009-07-13
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物,其可形成分辨性能优异且纳米边缘粗糙度小的化学增幅型抗蚀剂。该放射线敏感性树脂组合物含有(A)具有下述通式(1)所示的部分结构的放射线敏感性酸产生剂、和(B)树脂。通式(1)中,R1表示1价烃基等。
-
公开(公告)号:CN105418863B
公开(公告)日:2019-01-18
申请号:CN201510559461.7
申请日:2015-09-06
Applicant: JSR株式会社
IPC: C08F293/00 , C08L53/00
Abstract: 本发明提供一种透明性高、在光学领域中有用的嵌段共聚物及其制造方法以及膜。本发明的嵌段共聚物包括:包含下式(1)所表示的结构单元的嵌段部(A)、以及包含下式(2)所表示的结构单元的嵌段部(B)。此外,式中,R1及R2表示氢原子或者甲基,R3及R4表示氟原子、氯原子、溴原子、碘原子、羟基、烷基、环烷基、烷基酯基或者烷氧基,X表示亚甲基、氧原子或者硫原子,A1~A4表示特定的基团或者原子等,p为0~3的整数,q为0~4的整数,r为0或1,m为0~3的整数,n为0或者正整数。
-
公开(公告)号:CN102150082B
公开(公告)日:2013-08-07
申请号:CN200980135499.4
申请日:2009-09-10
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C08F20/28 , C08F220/18 , C08F220/28 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物,其含有聚合物(A)、放射线敏感性的酸产生剂(B)、酸扩散抑制剂(C)和溶剂(D),上述聚合物(A)是具有下述通式(a-1)表示的重复单元(a-1)的聚合物,上述酸扩散抑制剂(C)含有下述通式(C-1)表示的碱(C-1)和光分解性碱(C-2)中的至少一种碱。通式(a-1)中,R1相互独立地表示氢原子等,R为通式(a’)表示的1价基团,R19表示碳原子数为1~5的链状烃基等,A表示碳原子数为1~30的2价链状烃基等,m和n表示0~3的整数(其中m+n=1~3)。通式(C-1)中,R2、R3相互独立地表示碳原子数为1~20的1价链状烃基等,2个R2也可以结合形成环结构。
-
公开(公告)号:CN118812983A
公开(公告)日:2024-10-22
申请号:CN202410425819.6
申请日:2024-04-10
Applicant: JSR株式会社
IPC: C08L45/00 , G02B5/28 , C08L67/00 , C08L33/12 , C08L33/08 , C08K5/3417 , C08K5/1545 , C08K5/00 , C08K5/3445 , C08K5/55
Abstract: 本发明的课题在于提供一种组合物及光学构件,所述组合物为能够形成异物缺陷少的树脂层的组合物,且即便在使用制备后经长期保管的组合物形成树脂层的情况下,也能够形成与使用刚制备后的组合物形成树脂层的情况相比近红外区域中的吸光度的变化得到抑制的树脂层。本发明还提供一种具有由所述组合物形成的层的光学构件。一种组合物,含有:下述式(1)所表示的化合物(A)、聚合物(B)、以及在波长650nm~1400nm的范围内具有吸收极大波长(λmax)的近红外线吸收色素(C)。#imgabs0#
-
公开(公告)号:CN102150082A
公开(公告)日:2011-08-10
申请号:CN200980135499.4
申请日:2009-09-10
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C08F20/28 , C08F220/18 , C08F220/28 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物,其含有聚合物(A)、放射线敏感性的酸产生剂(B)、酸扩散抑制剂(C)和溶剂(D),上述聚合物(A)是具有下述通式(a-1)表示的重复单元(a-1)的聚合物,上述酸扩散抑制剂(C)含有下述通式(C-1)表示的碱(C-1)和光分解性碱(C-2)中的至少一种碱。通式(a-1)中,R1相互独立地表示氢原子等,R为通式(a’)表示的1价基团,R19表示碳原子数为1~5的链状烃基等,A表示碳原子数为1~30的2价链状烃基等,m和n表示0~3的整数(其中m+n=1~3)。通式(C-1)中,R2、R3相互独立地表示碳原子数为1~20的1价链状烃基等,2个R2也可以结合形成环结构。
-
公开(公告)号:CN101827813A
公开(公告)日:2010-09-08
申请号:CN200880111642.1
申请日:2008-10-14
Applicant: JSR株式会社
IPC: C07C309/19 , C07C381/12 , C07D333/46 , G03F7/004 , G03F7/039
CPC classification number: C07C381/12 , C07C309/19 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 本发明涉及具有通式(1)表示的部分结构的化合物。(通式(1)中,R1各自独立地表示氢原子或烃基,R2表示烃基,Rf表示氟原子或全氟烷基,L表示0~4的整数,n表示0~10的整数,m表示1~4的整数。)
-
公开(公告)号:CN118515853A
公开(公告)日:2024-08-20
申请号:CN202410171394.0
申请日:2024-02-06
Applicant: JSR株式会社
IPC: C08G61/08
Abstract: 本发明提供一种具有中阿贝数、且折射率、耐热性、玻璃化转变温度等的平衡优异的新颖的聚合物。一种聚合物,含有选自由下述通式(A1)及通式(B1)所表示的重复单元所组成的群组中的至少一种。[通式(A1)及通式(B1)中,Ra~Rc分别独立地表示氢原子、卤素原子、烷氧基等极性基或碳数1~10的脂肪族烃基等;X表示氧原子等;R表示碳数4~15的芳香族烃基等;Y表示单键等;R'表示氢原子或碳数1~8的脂肪族烃基等;n1表示0或1的整数;m表示0~3的整数(其中,在n1为0且X为氧原子时,m为0)]#imgabs0#
-
公开(公告)号:CN118064022A
公开(公告)日:2024-05-24
申请号:CN202311509486.7
申请日:2023-11-14
Applicant: JSR株式会社
IPC: C09D145/00 , C09D169/00 , C09D167/00 , C09D171/00 , C09D181/06 , C09D133/12 , C09D125/04 , C09D179/08 , C09D5/32 , C09D161/06 , C09D125/18 , G02B5/22
Abstract: 本发明是有关于一种光学滤波器及组合物。本发明提供一种可获得如下层、即、即便进行碱清洗也维持所期望的光学特性、且即便在高温高湿等恶劣的环境下与玻璃支撑体及光学膜(例如:电介质多层膜)的密接性也优异的层的组合物、以及具有所述层的光学滤波器。光学滤波器,具有由如下组合物形成的层(D),所述组合物含有:在重复单元中具有酚结构的聚合物(A)、所述聚合物(A)以外的聚合物(B)、以及在波长670nm~1200nm的范围内具有吸收极大波长(λmax)的色素(C)。
-
公开(公告)号:CN105418863A
公开(公告)日:2016-03-23
申请号:CN201510559461.7
申请日:2015-09-06
Applicant: JSR株式会社
IPC: C08F293/00 , C08L53/00
Abstract: 本发明提供一种透明性高、在光学领域中有用的嵌段共聚物及其制造方法以及膜。本发明的嵌段共聚物包括:包含下式(1)所表示的结构单元的嵌段部(A)、以及包含下式(2)所表示的结构单元的嵌段部(B)。此外,式中,R1及R2表示氢原子或者甲基,R3及R4表示氟原子、氯原子、溴原子、碘原子、羟基、烷基、环烷基、烷基酯基或者烷氧基,X表示亚甲基、氧原子或者硫原子,A1~A4表示特定的基团或者原子等,p为0~3的整数,q为0~4的整数,r为0或1,m为0~3的整数,n为0或者正整数。
-
-
-
-
-
-
-
-
-