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公开(公告)号:CN110320746A
公开(公告)日:2019-10-11
申请号:CN201910206932.4
申请日:2019-03-19
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、显示元件及显示装置。感放射线性组合物的放射线感度优异,且可形成耐化学品性高、对金属配线的腐蚀性低的硬化膜。感放射线性组合物,其包含:聚合体成分(A),在同一或不同的聚合体中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有烷氧基硅烷基的结构单元(II);以及感放射线性化合物(B)。
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公开(公告)号:CN110794648B
公开(公告)日:2024-08-27
申请号:CN201910639583.5
申请日:2019-07-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性组合物、硬化膜、硬化膜的制造方法及显示元件。感放射线性组合物,其含有聚合物成分(A)及感放射线性化合物(B),所述聚合物成分(A)在同一或不同的聚合物中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有式(II‑1)所表示的基的结构单元(II)。#imgabs0#[R1、R2、R3分别独立地为氢原子、烷基、脂环式烃基、芳基、这些基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基、或者‑SiRA3;RA分别独立地为碳数1~10的烷基;Q1为酯键、或者‑Ar1‑O‑所表示的二价基(Ar1为亚芳基、或者亚芳基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基)]。
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公开(公告)号:CN109581811A
公开(公告)日:2019-04-05
申请号:CN201811098945.6
申请日:2018-09-20
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种放射线感度及保存稳定性优异且可获得解析度高、对于金属配线的腐蚀性低的经图案化的膜的感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法。一种感放射线性树脂组合物,包含:聚合体成分(A),在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环上的烷氧基硅烷基的结构单元(I)及含有酸性基的结构单元(II);感放射线性化合物(B);有机溶媒(D);以及水(E);并且所述水(E)的含量为10wtppm以上、800wtppm以下。
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公开(公告)号:CN115202152A
公开(公告)日:2022-10-18
申请号:CN202210382467.1
申请日:2022-04-13
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/075 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种为高感度且可在减压干燥工序中实现减压到达时间的缩短化、并且可获得显影残渣少的硬化膜的组合物、硬化膜及其制造方法、半导体元件以及显示元件。一种感放射线性组合物,含有:丙烯酸系聚合物(A1),包含具有式(1)所表示的基的结构单元(I);聚合物(A2),包含具有酸性基的结构单元(α)及具有环状醚基的结构单元(β),且不含具有式(1)所表示的基的结构单元;以及感放射线性化合物,并且丙烯酸系聚合物(A1)包含超过15质量%且97质量%以下的结构单元(I),丙烯酸系聚合物(A1)与聚合物(A2)的含有比率为(A1):(A2)=3:97~40:60(质量比)。
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公开(公告)号:CN110320746B
公开(公告)日:2024-09-06
申请号:CN201910206932.4
申请日:2019-03-19
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、显示元件及显示装置。感放射线性组合物的放射线感度优异,且可形成耐化学品性高、对金属配线的腐蚀性低的硬化膜。感放射线性组合物,其包含:聚合体成分(A),在同一或不同的聚合体中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有烷氧基硅烷基的结构单元(II);以及感放射线性化合物(B)。
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公开(公告)号:CN115704995A
公开(公告)日:2023-02-17
申请号:CN202210928426.8
申请日:2022-08-03
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种可制造介电常数低且硬化性良好的膜的硬化性组合物、硬化膜及其应用、有机电致发光元件、液晶显示元件、半导体元件、印刷基板、硬化膜的制造方法、以及聚合物。硬化性组合物,含有(A)成分:具有下述式(1)所表示的基的化合物;及(B)成分:溶剂。式(1)中,R1为氢原子或酸解离性基。“*”表示键结键。
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公开(公告)号:CN114488688A
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202111228934.7
申请日:2021-10-21
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/00 , G02F1/1335 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039
Abstract: 本发明提供一种减少数据布线上的漏光且改善了显示可靠性的ADS模式的液晶显示元件、液晶显示元件的制造方法及感放射线性树脂组合物。ADS模式的液晶显示元件,是在相向配置的第一基板及所述第二基板之间夹持液晶而成的ADS模式的液晶显示元件,所述第一基板在数据布线的上方具有树脂透明结构物,所述第二基板具有彩色滤光片。
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公开(公告)号:CN110794648A
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:CN201910639583.5
申请日:2019-07-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性组合物、硬化膜、硬化膜的制造方法及显示元件。感放射线性组合物,其含有聚合物成分(A)及感放射线性化合物(B),所述聚合物成分(A)在同一或不同的聚合物中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有式(II-1)所表示的基的结构单元(II)。[R1、R2、R3分别独立地为氢原子、烷基、脂环式烃基、芳基、这些基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基、或者-SiRA3;RA分别独立地为碳数1~10的烷基;Q1为酯键、或者-Ar1-O-所表示的二价基(Ar1为亚芳基、或者亚芳基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基)]。
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公开(公告)号:CN109581812A
公开(公告)日:2019-04-05
申请号:CN201811098959.8
申请日:2018-09-20
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种可使放射线感度与所谓的PCD裕度、PED裕度特性并存的感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法。所述感放射线性树脂组合物,包含:聚合体成分(A),在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环上的烷氧基硅烷基的结构单元(I)及含有酸性基的结构单元(II)(其中,源自芳香族不饱和羧酸及含羟基氟化烷基的单体的结构单元除外);感放射线性化合物(B);以及有机溶媒(G)。
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