公开(公告)号：CN113219690A

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN202110154357.5

申请日：2021-02-04

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 角田裕志 ,  徳本爱香

IPC: G02F1/1333 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1337 ,  G02F1/1339 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/028

Abstract: 本发明提供一种可使气泡的产生得到充分抑制的液晶显示元件及其制造方法、感放射线性组合物、层间绝缘膜及其制造方法。一种液晶显示元件的制造方法，包括：形成工序，在基板上形成层间绝缘膜；以及照射工序，在层间绝缘膜的形成后对具有层间绝缘膜的对象物照射光，所述制造方法中，使用含有(A)成分、(B)成分及(C)成分的感放射线性组合物形成层间绝缘膜。(A)聚合物成分，包含：源自选自由具有环元数5以上的杂环结构的丙烯酸酯化合物及具有碳数3以下的烷基的丙烯酸酯化合物所组成的群组中的至少一种的第一结构单元、具有酸基的第二结构单元、以及具有环元数3或4的环状醚基的第三结构单元。(B)醌二叠氮化合物。(C)溶媒。

公开(公告)号：CN115704996A

公开(公告)日：2023-02-17

申请号：CN202210929724.9

申请日：2022-08-03

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 角田裕志

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/008 ,  G09F9/30 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1362

Abstract: 一种放射线感度高、而且可形成图案形状良好且热硬化前后的膜厚变化小的硬化膜的感放射线性组合物、层间绝缘膜及其制造方法、以及显示元件。一种感放射线性组合物，含有(A)聚合物成分、(B)醌二叠氮化合物以及(C)溶媒，(A)成分在同一聚合物或不同的聚合物中包含第一结构单元、第二结构单元及第三结构单元，所述第一结构单元源自具有环元数5以上的杂环结构，且在α位具有甲基、氟原子、三氟甲基或烷氧基烷基的α,β‑不饱和化合物，所述第二结构单元具有酸性基，所述第三结构单元具有环元数3或4的环状醚基，杂环结构为选自由环状醚结构(其中，四氢呋喃结构除外)、环状酯结构、环状酰亚胺结构及含三唑环的结构所组成的群组中的至少一种。

公开(公告)号：CN110361932A

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201910212542.8

申请日：2019-03-20

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 三村时生 ,  角田裕志 ,  仓田亮平 ,  工藤和生

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/008 ,  C07C315/00 ,  C07C317/44

Abstract: 本发明提供一种感放射线性组合物，其具有优异的辐照灵敏度和分辨率，能够发挥高的电压保持特性。一种感放射线性组合物，含有：碱溶性聚合物(A)、以及具有选自由式(b1)表示的结构和由式(b2)表示的结构中的至少1种结构(bb)的化合物(B)。[式(b1)和(b2)中，X为吸电子基团或卤素原子，在X为多个时可以分别相同或不同，n1为0～3的整数，n2为0～2的整数，其中，n1+n2为1以上，n3为0～4的整数，n4为0～1的整数，其中，n3+n4为1以上，*为结合位点。]

公开(公告)号：CN117590689A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202310994616.4

申请日：2023-08-09

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 角田裕志

IPC: G03F7/004 ,  G02F1/1333 ,  H10K59/12 ,  H10K59/80 ,  G03F7/075

Abstract: 本发明提供一种感度良好、且能够形成耐化学品性及低吸水性优异的硬化膜的感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、液晶显示装置、有机EL显示装置以及硬化性树脂组合物。一种感放射线性组合物，含有：(A‑1)包含具有碱可溶性基的结构单元的聚合体；(B‑1)醌二叠氮化合物；(C‑1)溶剂；以及(D)所R2SiO组硅氧烷化合物成3/2的单元及群组SiO中，的4/2包含选自由一单元所组成的群组中的一个以上个以上、R1与SiO选3/2自单元及由(R2)(R21S)i2SiOO2/，22/2通过凝单单元元、胶渗透色谱法测定的聚苯乙烯换算的重量平均分子量为800～3500，且烷氧基量为10质量％～70质量％。

公开(公告)号：CN115202152A

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202210382467.1

申请日：2022-04-13

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 松本晃幸 ,  新木利治 ,  角田裕志 ,  井上雄介

IPC: G03F7/075 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种为高感度且可在减压干燥工序中实现减压到达时间的缩短化、并且可获得显影残渣少的硬化膜的组合物、硬化膜及其制造方法、半导体元件以及显示元件。一种感放射线性组合物，含有：丙烯酸系聚合物(A1)，包含具有式(1)所表示的基的结构单元(I)；聚合物(A2)，包含具有酸性基的结构单元(α)及具有环状醚基的结构单元(β)，且不含具有式(1)所表示的基的结构单元；以及感放射线性化合物，并且丙烯酸系聚合物(A1)包含超过15质量％且97质量％以下的结构单元(I)，丙烯酸系聚合物(A1)与聚合物(A2)的含有比率为(A1)：(A2)＝3：97～40：60(质量比)。