公开(公告)号：CN108732831B

公开(公告)日：2022-08-16

申请号：CN201810268393.2

申请日：2018-03-28

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 若林隆太郎 ,  仓田亮平 ,  三村时生 ,  本田晃久

IPC: G02F1/1362 ,  G02F1/1333 ,  H01L27/32 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种具备在高温处理时难以白化且抑制了逸气的产生的层间绝缘膜的薄膜晶体管基板、具备其的液晶显示元件或有机EL元件、及可适宜地形成所述层间绝缘膜的感放射线性树脂组合物以及薄膜晶体管基板的制造方法。本发明是涉及一种薄膜晶体管基板，其包含：基板；薄膜晶体管，配置于所述基板上；及层间绝缘膜，配置于所述薄膜晶体管上；并且所述薄膜晶体管基板中，所述层间绝缘膜包含具有下述式(1)所表示的结构的聚合体。式(1)中，R1表示包含杂原子的二价连结基，R2表示包含芳香环的一价有机基；*表示键结部位。

公开(公告)号：CN110361932A

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201910212542.8

申请日：2019-03-20

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 三村时生 ,  角田裕志 ,  仓田亮平 ,  工藤和生

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/008 ,  C07C315/00 ,  C07C317/44

Abstract: 本发明提供一种感放射线性组合物，其具有优异的辐照灵敏度和分辨率，能够发挥高的电压保持特性。一种感放射线性组合物，含有：碱溶性聚合物(A)、以及具有选自由式(b1)表示的结构和由式(b2)表示的结构中的至少1种结构(bb)的化合物(B)。[式(b1)和(b2)中，X为吸电子基团或卤素原子，在X为多个时可以分别相同或不同，n1为0～3的整数，n2为0～2的整数，其中，n1+n2为1以上，n3为0～4的整数，n4为0～1的整数，其中，n3+n4为1以上，*为结合位点。]

公开(公告)号：CN108732831A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810268393.2

申请日：2018-03-28

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 若林隆太郎 ,  仓田亮平 ,  三村时生 ,  本田晃久

IPC: G02F1/1362 ,  G02F1/1333 ,  H01L27/32 ,  G03F7/004

CPC classification number: G02F1/136277 ,  G02F1/133345 ,  G03F7/004 ,  H01L27/32

Abstract: 本发明提供一种具备在高温处理时难以白化且抑制了逸气的产生的层间绝缘膜的薄膜晶体管基板、具备其的液晶显示元件或有机EL元件、及可适宜地形成所述层间绝缘膜的感放射线性树脂组合物以及薄膜晶体管基板的制造方法。本发明是涉及一种薄膜晶体管基板，其包含：基板；薄膜晶体管，配置于所述基板上；及层间绝缘膜，配置于所述薄膜晶体管上；并且所述薄膜晶体管基板中，所述层间绝缘膜包含具有下述式(1)所表示的结构的聚合体。 式(1)中，R1表示包含杂原子的二价连结基，R2表示包含芳香环的一价有机基；*表示键结部位。

公开(公告)号：CN113589647A

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202110477368.7

申请日：2021-04-29

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 本田晃久 ,  中西拓也 ,  仓田亮平 ,  吉田智香 ,  三村时生 ,  八代隆郎

IPC: G03F7/004 ,  H01L23/29

Abstract: 本发明的课题在于提供一种保存稳定性优异且可形成耐化学品性优异的硬化膜的感放射线性组合物、硬化膜的制造方法、半导体元件及显示元件。一种感放射线性组合物，含有：包含具有氧杂环丙基的第一结构单元与具有羧基的第二结构单元的聚合物成分；感光剂；选自由胺系化合物、咪唑系化合物及异氰酸酯系化合物所组成的群组中的至少一种化合物；以及溶剂；并且相对于构成聚合物成分的全部结构单元，第一结构单元的含有比例为超过20质量％且65质量％以下，第二结构单元的含有比例为超过5质量％且25质量％以下，溶剂包含相对于感放射线性组合物中所含的溶剂的总量而为20质量％以上的汉森溶解度参数的氢键项dH为10.0以上的高dH溶媒。