公开(公告)号：CN104393044B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201410660754.X

申请日：2014-11-18

Applicant: 西安电子科技大学

Inventor： 毛维 ,  郝跃 ,  范举胜 ,  李敏娜 ,  杨林安 ,  刘红侠 ,  王冲 ,  郑雪峰 ,  张金风

IPC: H01L29/778 ,  H01L29/41

Abstract: 本发明公开了一种绝缘栅型直角栅‑漏复合场板功率器件，其包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、肖特基漏极(5)、台面(6)、绝缘介质层(7)、绝缘栅极(8)、钝化层(9)和保护层(14)。钝化层内刻有栅槽(10)与漏槽(11)；钝化层与保护层之间淀积有直角栅场板(12)和直角漏场板(13)；直角栅场板与绝缘栅极电气连接，且下端完全填充栅槽；直角漏场板与肖特基漏极电气连接，且下端完全填充漏槽，直角栅场板靠近绝缘栅极一侧边缘与栅槽靠近绝缘栅极一侧边缘对齐，直角漏场板靠近肖特基漏极一侧边缘与漏槽靠近肖特基漏极一侧边缘对齐。本发明工艺简单，正、反向特性好，成品率高，可作为开关器件。

公开(公告)号：CN104393044A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201410660754.X

申请日：2014-11-18

Applicant: 西安电子科技大学

Inventor： 毛维 ,  郝跃 ,  范举胜 ,  李敏娜 ,  杨林安 ,  刘红侠 ,  王冲 ,  郑雪峰 ,  张金风

IPC: H01L29/778 ,  H01L29/41

CPC classification number: H01L29/402 ,  H01L29/404 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/778 ,  H01L29/7786

Abstract: 本发明公开了一种绝缘栅型直角栅-漏复合场板功率器件，其包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、肖特基漏极(5)、台面(6)、绝缘介质层(7)、绝缘栅极(8)、钝化层(9)和保护层(14)。钝化层内刻有栅槽(10)与漏槽(11)；钝化层与保护层之间淀积有直角栅场板(12)和直角漏场板(13)；直角栅场板与绝缘栅极电气连接，且下端完全填充栅槽；直角漏场板与肖特基漏极电气连接，且下端完全填充漏槽，直角栅场板靠近绝缘栅极一侧边缘与栅槽靠近绝缘栅极一侧边缘对齐，直角漏场板靠近肖特基漏极一侧边缘与漏槽靠近肖特基漏极一侧边缘对齐。本发明工艺简单，正、反向特性好，成品率高，可作为开关器件。