具有差异化的源极或漏极结构的集成电路结构

    公开(公告)号:CN119730372A

    公开(公告)日:2025-03-28

    申请号:CN202411156411.X

    申请日:2024-08-22

    Abstract: 描述了具有差异化的源极或漏极结构的集成电路结构。在示例中,集成电路结构包括第一、第二和第三多条水平堆叠的纳米线或第一、第二和第三鳍状物,以及第一、第二和第三栅极堆叠体。第一外延源极或漏极结构位于第一多条水平堆叠的纳米线或第一鳍状物与第二多条水平堆叠的纳米线或第二鳍状物之间,第一外延源极或漏极结构具有横向宽度和成分。第二外延源极或漏极结构位于第二多条水平堆叠的纳米线或第二鳍状物与第三多条水平堆叠的纳米线或第三鳍状物之间,第二外延源极或漏极结构具有第一外延源极或漏极结构的成分,并且第二外延源极或漏极结构具有小于第一外延源极或漏极结构的横向宽度的横向宽度。

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