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公开(公告)号：CN106052666A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610181833.1
申请日：2016-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649
CPC classification number: H01L41/0477 , C23C14/0036 , C23C14/025 , C23C14/0641 , C23C14/185 , H01L41/29 , H03H9/02023 , H03H9/0509 , H03H9/0514 , H03H9/0519 , H03H9/0547 , H03H9/131 , H03H9/171 , H03H9/215 , G01C19/5656 , G01C19/5649
Abstract: 本发明提供电子器件、电子器件的制造方法、电子设备以及移动体，具有接合强度高且能够比较简单地制造的金属膜结构。电子器件(100)具有：基材(110)；第1金属膜(121)，其配置在基材(110)上，含有氮和铬；以及第2金属膜(122)，其配置在第1金属膜(121)上，含有金，在第1金属膜(121)中，氮原子的数量是铬原子的数量的20％以上且100％以下。并且，对于第1金属膜(121)中的氮原子的分布，被第1金属膜(121)的基材(110)侧的第1区域和第2金属膜(122)侧的第2区域夹着的第3区域比第1区域和第2区域大。
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公开(公告)号：CN106052666B
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN201610181833.1
申请日：2016-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649
Abstract: 本发明提供电子器件、电子器件的制造方法、电子设备以及移动体，具有接合强度高且能够比较简单地制造的金属膜结构。电子器件(100)具有：基材(110)；第1金属膜(121)，其配置在基材(110)上，含有氮和铬；以及第2金属膜(122)，其配置在第1金属膜(121)上，含有金，在第1金属膜(121)中，氮原子的数量是铬原子的数量的20％以上且100％以下。并且，对于第1金属膜(121)中的氮原子的分布，被第1金属膜(121)的基材(110)侧的第1区域和第2金属膜(122)侧的第2区域夹着的第3区域比第1区域和第2区域大。
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公开(公告)号：CN102377402A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110213173.8
申请日：2011-07-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/04
CPC classification number: H03H3/10 , H03H9/25 , H03H2003/0442 , Y10T29/42
Abstract: 提供一种能够一方面防止表面粗糙度的增大和构造破坏一方面使谐振频率上升的压电振动设备及其制造方法、谐振频率的调整方法。本发明是具有声表面波元件的压电振动设备的制造方法，其特征在于，包括在上述声表面波元件的表面上形成用于提高声表面波的速度的功能膜的工序。此外，上述功能膜的杨氏模量比上述激励电极的杨氏模量以及上述压电体的杨氏模量大，并且上述功能膜的密度比上述激励电极的密度及上述压电体的密度低。由此，能够在抑制质量附加效果对频率降低的影响的同时，发现基于弹性模量上升的频率上升，能够使声表面波元件的谐振频率上升。
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公开(公告)号：CN203019823U
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201220370646.5
申请日：2012-07-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/1433 , B41J2/1606
Abstract: 本实用新型提供液体喷射头及液体喷射装置，其提高了喷射效率及液体喷射特性。液体喷射头具备形成有作为贯穿孔的喷嘴孔（21）的喷嘴板（20），且从喷嘴孔喷射液体，喷嘴孔由第一喷嘴部（21a）和第二喷嘴部（21b）构成，其中，所述第一喷嘴部（21a）在喷嘴板的从喷嘴喷射液体的喷射面侧开口，所述第二喷嘴部（21b）与第一喷嘴部连通，并在喷嘴板的喷射面的相反侧的面上开口，且该开口的大小大于第一喷嘴部的喷射面上的开口，第一喷嘴部的内壁面整体通过与喷嘴板的基材相比防液性较高的防液膜（201）而被覆盖，并且在第二喷嘴部的内壁上设置有与防液膜相比防液性较低的区域。
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