位移测量装置、测量系统及位移测量方法

    公开(公告)号:CN109557545B

    公开(公告)日:2023-07-07

    申请号:CN201810151188.8

    申请日:2018-02-13

    Abstract: 本发明获得一种能够精度良好地测量到测量对象面的距离的位移测量装置、测量系统及位移测量方法。本发明的位移测量装置包括:投光部,产生光;传感器头,对测量对象物照射光,且接收所照射的光中在测量对象物的测量对象面反射的光;以及控制部,基于传感器头所接收的光,算出表示与测量对象面之间的距离的值。控制部是以所算出的值包含在预先设定的数值范围内为条件,将所算出的值作为表示到测量对象面的距离的值进行处理,且基于所算出的值,重新设定数值范围。

    移位测量装置、测量系统及移位测量方法

    公开(公告)号:CN109556518B

    公开(公告)日:2020-12-22

    申请号:CN201810151233.X

    申请日:2018-02-13

    Abstract: 本发明提供一种能够高精度地测量至测量对象面的距离的移位测量装置、测量系统及移位测量方法。本发明的移位测量装置具备:投光部,产生光;传感器头,对测定值与实际移位成为非线形的测量对象物,以在测量对象物的测量对象面形成焦点的方式照射光,且接收所照射的所述光中在所述测量对象面反射的光;存储部,存储着将传感器头与测量对象面之间的距离设为变量的函数;以及控制部,基于由传感器头所接收到的光的波长而算出距离。控制部将传感器头与测量对象物的测量对象面之间的距离设为变量的值,算出函数的值。控制部使用算出的函数的值,对算出的距离进行校正。

    光学计测装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103988046A

    公开(公告)日:2014-08-13

    申请号:CN201280057337.5

    申请日:2012-09-12

    CPC classification number: G01B11/00 G01B11/026

    Abstract: 在本发明的光学计测装置中,利用光对计测对象物(200)进行计测,具有头部(10)、控制部(20)、光纤(11)、存储部(40)。在本发明的光学计测装置中,光纤(11)连接头部(10)和控制部(20)。存储部(40)分别与所制造的头部(10)的各个体相关联,存储由控制部(20)进行运算所需的信息,来作为头部(10)的个体信息。控制部(20),从相对于控制部(20)而在物理上独立存在的存储部(40、41)中读取个体信息,利用所读取的个体信息进行运算。

    光学测量装置及光学测量方法

    公开(公告)号:CN110058249A

    公开(公告)日:2019-07-26

    申请号:CN201811194957.9

    申请日:2018-10-15

    Abstract: 本发明提供一种光学测量装置及光学测量方法,可容易地去除在对象物的一部分中所测量的距离中可能产生的噪声。光学测量装置(100)具备:光源(10),发出光;光接收部(40),检测由对象物(TA)反射的反射光的光接收量;测量部(51),根据反射光的光接收量,测量从光学测量装置(100)至对象物(TA)为止的距离;以及检测部(52),检测反射光的每单位时间的光接收量小于阀值的对象物(TA)的一部分。

    移位测量装置、测量系统及移位测量方法

    公开(公告)号:CN109556518A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201810151233.X

    申请日:2018-02-13

    Abstract: 本发明提供一种能够高精度地测量至测量对象面的距离的移位测量装置、测量系统及移位测量方法。本发明的移位测量装置具备:投光部,产生光;传感器头,对测定值与实际移位成为非线形的测量对象物,以在测量对象物的测量对象面形成焦点的方式照射光,且接收所照射的所述光中在所述测量对象面反射的光;存储部,存储着将传感器头与测量对象面之间的距离设为变量的函数;以及控制部,基于由传感器头所接收到的光的波长而算出距离。控制部将传感器头与测量对象物的测量对象面之间的距离设为变量的值,算出函数的值。控制部使用算出的函数的值,对算出的距离进行校正。

    光学式传感器安装用适配器及其安装位置的调整方法

    公开(公告)号:CN107300393A

    公开(公告)日:2017-10-27

    申请号:CN201710201760.2

    申请日:2017-03-30

    Abstract: 本发明提供一种光学式传感器安装用适配器及其安装位置的调整方法,用以根据使用环境来对光学式传感器的温度特性进行调整。适配器是用以将光学式传感器的传感头安装于安装部位的适配器。适配器包括:传感器设置面,用以将传感头设置于适配器;以及安装面,位于传感器设置面的相反侧,以将传感头与适配器一起安装于安装部位。在传感器设置面中,形成有用以将传感头固定于传感器设置面的固定孔。在适配器中,形成有贯穿传感器设置面与安装面的安装孔。安装孔相对于固定孔而形成在传感头的光投射接收面侧,以及相对于固定孔而形成在光投射接收面的相反侧(背面侧)。

    分光偏振测定法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1841030A

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:CN200610068280.5

    申请日:2006-03-27

    CPC classification number: G01J4/04 G01J3/447

    Abstract: 本发明提供一种分光偏振测定法。在该沟槽分光偏振测定法中,有效消除了表示试样分光偏振特性的参数的测量误差,该误差是由于延迟器基于试样状态的各种延迟变化而引起的。关注的焦点是通过稳定透射过延迟器的光的入射方向可保持延迟器的延迟恒定;相对于该试样,该延迟器设置在光源这一侧,从而可有效消除与测量误差相关的影响,例如由于试样引起的光线方向变化。

    光学测量装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110672034B

    公开(公告)日:2021-08-10

    申请号:CN201910999860.3

    申请日:2017-01-17

    Abstract: 本发明的一个方面的光学测量装置(1)包括:光源(10),其产生具有多个波长成分的照射光;传感器头部(30),其使从光源发出的照射光产生轴向色差,并接收从至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象(2)反射的反射光;光接收部(40),其将由传感器头部接收的反射光分离成各波长成分,并接收各波长成分的光;导光部(20),其将光源(10)、光接收部以及传感器头部光学性地连接;以及处理部(50),其基于光接收部中的各波长成分的受光量,计算从光学系统到测量对象的距离。处理部将光接收波形中的多个波长成分的各受光量与受光量的基准值比较,基于该比较结果,判断是否正常测定到所述测量对象的所述距离。

    共焦测量装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109596045B

    公开(公告)日:2021-02-12

    申请号:CN201811055176.1

    申请日:2018-09-11

    Abstract: 本发明提供一种测量对象物的位置的检测精度经提高的共焦测量装置。共焦测量装置具备:输出白色光的光源、光耦合器、将产生了色差的光照射到测量对象物的传感头、以及取得经测量对象物反射的反射光并测量反射光的光谱的分光器,光耦合器为使从第一光纤向第二光纤传输光时的第一传输波形、与从第二光纤向第三光纤传输光时的第二传输波形接近的滤波器型耦合器或空间光学系统型耦合器。

    倾斜测定装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108375349B

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN201711045907.X

    申请日:2017-10-31

    Abstract: 提供便利性优越的倾斜测定装置。倾斜测定装置(1)具备:光学系列(传感器头30),其向测量对象物(2)照射来自光源(10)的照射光,并且接收来自测量面的反射光;受光部(40),其包含将所述反射光分离为各波长成分的至少1个分光器(42)及具有多个受光元件的检测器(44);包含多个缆芯的导光部(20);以及处理部(50),其根据与所述测量面上多个位置上的多个照射光相对应的反射光,来计算测量面的倾斜角度。

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