公开(公告)号：CN105070656B

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：CN201510414120.0

申请日：2015-07-15

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 李海鸥 ,  林子曾 ,  曹明民 ,  周佳辉 ,  常虎东 ,  丁志华 ,  张旭芳 ,  李琦 ,  肖功利

IPC: H01L21/3065 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明公开了一种降低GaAs背孔工艺中等离子体刻蚀机腔体污染的方法，包括以下步骤：在衬底正面匀涂电子束光刻胶；用液态蜡将衬底正面粘贴在石英托上；将粘有衬底的石英托粘贴在减薄玻璃片上；进行减薄工艺；将石英托连同衬底从减薄玻璃片上取下；匀涂光刻胶并烘片；形成背孔图形；形成背孔；去光刻胶和液态蜡，使衬底片和石英托分离；其中，液态蜡是由一定量的Crystalbond 509强力粘合剂以及能够溶解所述Crystalbond 509强力粘合剂用量的丙酮组成。本发明采用液态蜡替代传统的高温蜡，既不会产生互溶问题，还具备优良的粘附性，并解决由于等离子体轰击而溅射的高温蜡和金属污染等离子体刻蚀机腔体内壁的问题。

公开(公告)号：CN105070656A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201510414120.0

申请日：2015-07-15

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 李海鸥 ,  林子曾 ,  曹明民 ,  周佳辉 ,  常虎东 ,  丁志华 ,  张旭芳 ,  李琦 ,  肖功利

IPC: H01L21/3065 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01L21/3065 ,  H01J37/32477

Abstract: 本发明公开了一种降低GaAs背孔工艺中等离子体刻蚀机腔体污染的方法，包括以下步骤：在衬底正面匀涂电子束光刻胶；用液态蜡将衬底正面粘贴在石英托上；将粘有衬底的石英托粘贴在减薄玻璃片上；进行减薄工艺；将石英托连同衬底从减薄玻璃片上取下；匀涂光刻胶并烘片；形成背孔图形；形成背孔；去光刻胶和液态蜡，使衬底片和石英托分离；其中，液态蜡是由一定量的Crystalbond 509强力粘合剂以及能够溶解所述Crystalbond 509强力粘合剂用量的丙酮组成。本发明采用液态蜡替代传统的高温蜡，既不会产生互溶问题，还具备优良的粘附性，并解决由于等离子体轰击而溅射的高温蜡和金属污染等离子体刻蚀机腔体内壁的问题。

公开(公告)号：CN105140155B

公开(公告)日：2018-06-05

申请号：CN201510414886.9

申请日：2015-07-15

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 李海鸥 ,  曹明民 ,  林子曾 ,  周佳辉 ,  李琦 ,  韦春荣 ,  常虎东 ,  张旭芳 ,  肖功利 ,  高喜

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明公开了一种用于GaAs MMIC减薄工艺的粘片方法，包括在衬底正面匀涂电子束光刻胶的步骤、用液态蜡将衬底正面粘贴在石英托上的步骤，其中：所述的液态蜡是由一定量的Crystalbond 509强力粘合剂以及能够溶解所述Crystalbond 509强力粘合剂用量的丙酮组成。本发明采用特殊配方组成的液态蜡代替传统的高温蜡，在使用过程中不需要增加其它阻隔层即可避免因光刻胶和高温蜡的互溶而产生的较难去除的有机物；其次，由于液态蜡和光刻胶均易溶于丙酮，解决了传统工艺中用高温蜡粘片时去胶慢去胶难的问题；再者，还能使衬底和石英托之间具有优良的粘附性，有效地解决了后续抛光和减薄过程中的碎片问题。

公开(公告)号：CN105140155A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201510414886.9

申请日：2015-07-15

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 李海鸥 ,  曹明民 ,  林子曾 ,  周佳辉 ,  李琦 ,  韦春荣 ,  常虎东 ,  张旭芳 ,  肖功利 ,  高喜

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67092

Abstract: 本发明公开了一种用于GaAs MMIC减薄工艺的粘片方法，包括在衬底正面匀涂电子束光刻胶的步骤、用液态蜡将衬底正面粘贴在石英托上的步骤，其中：所述的液态蜡是由一定量的Crystalbond 509强力粘合剂以及能够溶解所述Crystalbond 509强力粘合剂用量的丙酮组成。本发明采用特殊配方组成的液态蜡代替传统的高温蜡，在使用过程中不需要增加其它阻隔层即可避免因光刻胶和高温蜡的互溶而产生的较难去除的有机物；其次，由于液态蜡和光刻胶均易溶于丙酮，解决了传统工艺中用高温蜡粘片时去胶慢去胶难的问题；再者，还能使衬底和石英托之间具有优良的粘附性，有效地解决了后续抛光和减薄过程中的碎片问题。

公开(公告)号：CN105018025A

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201510412159.9

申请日：2015-07-15

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 李海鸥 ,  曹明民 ,  林子曾 ,  周佳辉 ,  丁志华 ,  常虎东 ,  张旭芳 ,  李琦 ,  肖功利 ,  高喜

IPC: C09J191/06

Abstract: 本发明公开了一种GaAs MMIC减薄工艺中粘片用的液态蜡，它是由一定量的Crystalbond 509强力粘合剂以及能够溶解所述Crystalbond 509强力粘合剂用量的丙酮组成。本发明用Crystalbond 509强力粘合剂溶于丙酮中所得的液态蜡代替传统粘片工艺中使用的高温蜡，在液态蜡和光刻胶接触部分不会产生互溶问题，避免了因光刻胶和高温蜡的互溶而产生的较难去除的有机物；其次，由于液态蜡和光刻胶均易溶于丙酮，分离时只需要采用丙酮溶液浸泡即可，解决了传统工艺中用高温蜡粘片时去胶慢去胶难的问题；再者，本发明所述液态蜡具有极强的粘附性，有效地解决了后续抛光和减薄过程中的碎片问题。