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公开(公告)号:CN111406099B9
公开(公告)日:2022-10-28
申请号:CN201980006006.0
申请日:2019-01-11
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C09J7/30 , C09J133/08 , C09J133/10 , C09J7/22 , H01L21/02
Abstract: 本发明涉及背面研磨带和使用该背面研磨带研磨晶片的方法,所述背面研磨带包括聚合物基底和粘合层,其中所述粘合层包含含有30重量%至60重量%的衍生自玻璃化转变温度为0℃或更高的单体或低聚物的重复单元的(甲基)丙烯酸酯树脂,以及其中所述粘合层的玻璃化转变温度为-20℃至10℃。
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公开(公告)号:CN111406099B
公开(公告)日:2022-09-23
申请号:CN201980006006.0
申请日:2019-01-11
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C09J7/30 , C09J133/08 , C09J133/10 , C09J7/22 , H01L21/02
Abstract: 本发明涉及背面研磨带和使用该背面研磨带研磨晶片的方法,所述背面研磨带包括聚合物基底和粘合层,其中所述粘合层包含含有30重量%至60重量%的衍生自玻璃化转变温度为0℃或更高的单体或低聚物的重复单元的(甲基)丙烯酸酯树脂,以及其中所述粘合层的玻璃化转变温度为‑20℃至10℃。
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公开(公告)号:CN111433306A
公开(公告)日:2020-07-17
申请号:CN201980006221.0
申请日:2019-06-04
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C09J7/24 , C09J7/29 , H01L21/304 , H01L21/67
Abstract: 本公开内容涉及背面研磨带,包括含有氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯树脂的聚合物树脂层,所述氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯树脂包含10重量%至40重量%的源自玻璃化转变温度为0℃或更高的(甲基)丙烯酸酯单体或低聚物的重复单元,其中聚合物树脂层的玻璃化转变温度为-30℃至0℃。本公开内容还涉及使用背面研磨带研磨晶片的方法。
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公开(公告)号:CN111406099A
公开(公告)日:2020-07-10
申请号:CN201980006006.0
申请日:2019-01-11
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C09J7/30 , C09J133/08 , C09J133/10 , C09J7/22 , H01L21/02
Abstract: 本发明涉及背面研磨带和使用该背面研磨带研磨晶片的方法,所述背面研磨带包括聚合物基底和粘合层,其中所述粘合层包含含有30重量%至60重量%的衍生自玻璃化转变温度为0℃或更高的单体或低聚物的重复单元的(甲基)丙烯酸酯树脂,以及其中所述粘合层的玻璃化转变温度为-20℃至10℃。
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公开(公告)号:CN111433306B
公开(公告)日:2022-05-10
申请号:CN201980006221.0
申请日:2019-06-04
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C09J7/24 , C09J7/29 , H01L21/304 , H01L21/67
Abstract: 本公开内容涉及背面研磨带,包括含有氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯树脂的聚合物树脂层,所述氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯树脂包含10重量%至40重量%的源自玻璃化转变温度为0℃或更高的(甲基)丙烯酸酯单体或低聚物的重复单元,其中聚合物树脂层的玻璃化转变温度为‑30℃至0℃。本公开内容还涉及使用背面研磨带研磨晶片的方法。
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