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公开(公告)号：CN115144614B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202210313136.2
申请日：2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B7/00
Abstract: 微振动体(2)包括曲面部(21)、从曲面部凹入的凹部(22)、从凹部的底面(22b)突出的底面突出部(23)以及在底面突出部内的通孔(24)。安装基板(3)具有供底面突出部插入其中的定位凹部(43)，以及围绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)位于定位凹部中，并将底面突出部与安装基板接合。底面与安装基板的围绕定位凹部的区域接触。底面突出部具有与定位凹部间隔一定距离的梢端面(23b)。接合构件至少部分地进入通孔，并且电连接到导电层。
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公开(公告)号：CN115144613B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202210313131.X
申请日：2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本申请涉及一种惯性传感器及其制造方法，所述惯性传感器包括微振动体，所述微振动体(2)包括具有环形曲面的曲面部(21)和从曲面部凹入的凹部(22)。安装基板(3)包括内框架部(51)和环绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)设置在所述安装基板的被内框架部环绕的内部区域中。微振动体的凹部具有底面，所述底面限定位于所述内部区域中的被安装表面(22b)并通过接合构件接合于安装基板。曲面部具有边沿(211)，所述边沿包括曲面部的与所述凹部相反的一侧上的端部。所述边沿具有边沿下表面(211c)，其位于与被安装表面或被安装表面的梢端部(28)相同的平面上。
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公开(公告)号：CN116765612A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310240493.5
申请日：2023-03-14
Abstract: 一种微小振动体的制造方法，准备具有平坦部位(203)、以及是被平坦部位包围的部位且形成为从平坦部位的一面(203a)突出的三维曲面形状的曲面部位(201)的基材(20)，对曲面部位中的外侧面(201a)照射激光，将曲面部位从平坦部位分离。
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公开(公告)号：CN115144613A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210313131.X
申请日：2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本申请涉及一种惯性传感器及其制造方法，所述惯性传感器包括微振动体，所述微振动体(2)包括具有环形曲面的曲面部(21)和从曲面部凹入的凹部(22)。安装基板(3)包括内框架部(51)和环绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)设置在所述安装基板的被内框架部环绕的内部区域中。微振动体的凹部具有底面，所述底面限定位于所述内部区域中的被安装表面(22b)并通过接合构件接合于安装基板。曲面部具有边沿(211)，所述边沿包括曲面部的与所述凹部相反的一侧上的端部。所述边沿具有边沿下表面(211c)，其位于与被安装表面或被安装表面的梢端部(28)相同的平面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119064635A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202410535316.4
申请日：2024-04-30
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , G01C21/16 , G01C1/00
Abstract: 惯性传感器(1)具备：谐振器(2)，具有第一驱动模式和第二驱动模式；安装基板(3)，具有包围谐振器(2)的多个电极部(53)；以及致动器(6)，使谐振器(2)振动。将与安装基板(3)所成的平面正交的方向设为z方向，致动器(6)通过在z方向上振动，使谐振器(2)在z方向上振动而产生谐振模式。
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公开(公告)号：CN112088483B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN201980030650.1
申请日：2019-06-06
Applicant: 株式会社电装
IPC: H02N11/00 , B06B1/04 , B81B3/00 , G01C19/5747 , H01L29/84
Abstract: 静电致动器具备固定电极(1)和以与固定电极(1)对置的方式配置的可动电极(2)。可动电极(2)能够相对于固定电极(1)及固定部(3)位移。在可动电极(2)与固定部(3)之间作用吸引力。并且，静电致动器的在对固定电极(1)及可动电极(2)施加了电压时的可动电极(2)的非线性振动被在可动电极(2)与固定部(3)之间作用的吸引力降低。
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公开(公告)号：CN116730274A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310202688.0
申请日：2023-03-06
IPC: B81B7/00 , B81B3/00 , B81C99/00 , G01C19/5691
Abstract: 在安装结构中，微振动器(2)具有：带半球形曲面的曲面部分(21)；连接部分(22)，所述连接部分(22)从所述曲面部分朝向所述曲面部分的半球形中心延伸；表面电极(23)，其覆盖连接部分的至少一部分和曲面部分的至少一部分。安装基板(3)具有两个或更多个布线(42)，并且微振动器的一部分连接到安装基板。布线各自具有电极连接部分(421)，电极连接部分(421)连接到表面电极在端部覆盖连接部分的一部分。两个或更多个布线包括用于向表面电极施加电压的电压施加布线(42A)和用于检测施加到表面电极的电压的电压检测布线(42B)。电压施加布线在安装基板上远离电压检测布线间隔开。
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公开(公告)号：CN115144614A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210313136.2
申请日：2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B7/00
Abstract: 微振动体(2)包括曲面部(21)、从曲面部凹入的凹部(22)、从凹部的底面(22b)突出的底面突出部(23)以及在底面突出部内的通孔(24)。安装基板(3)具有供底面突出部插入其中的定位凹部(43)，以及围绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)位于定位凹部中，并将底面突出部与安装基板接合。底面与安装基板的围绕定位凹部的区域接触。底面突出部具有与定位凹部间隔一定距离的梢端面(23b)。接合构件至少部分地进入通孔，并且电连接到导电层。
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公开(公告)号：CN112088483A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN201980030650.1
申请日：2019-06-06
Applicant: 株式会社电装
IPC: H02N11/00 , B06B1/04 , B81B3/00 , G01C19/5747 , H01L29/84
Abstract: 静电致动器具备固定电极(1)和以与固定电极(1)对置的方式配置的可动电极(2)。可动电极(2)能够相对于固定电极(1)及固定部(3)位移。在可动电极(2)与固定部(3)之间作用吸引力。并且，静电致动器的在对固定电极(1)及可动电极(2)施加了电压时的可动电极(2)的非线性振动被在可动电极(2)与固定部(3)之间作用的吸引力降低。
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