具有集成有效载荷夹具的真空环境机器人

    公开(公告)号:CN116887959A

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN202280014842.5

    申请日:2022-02-23

    IPC分类号: B25J15/00

    摘要: 一种装置,包括:驱动器;可移动臂,被连接到驱动器并具有可以在第一旋转接头处围绕驱动器旋转的第一连杆;第一致动器,被配置为引起第一连杆围绕第一旋转接头的旋转;在第二旋转接头处被连接到第一连杆的至少一个第二连杆;至少一个第二致动器,被配置为引起第二连杆围绕第二旋转接头的旋转;以及在第二连杆上的至少一个夹具,该夹具被配置为承载有效载荷。该夹具包括介电基板;被被设置在介电基板上的至少一个电极,该电极被配置为在电极的表面上产生吸引力以吸引有效载荷;以及主电子模块,被配置为从电流源向电极施加电压。

    用于高温应用的机器人
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115868017A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202180049008.5

    申请日:2021-06-01

    IPC分类号: H01L21/677

    摘要: 一种装置,包括:机器人驱动器;以及被连接到机器人驱动器的机器人臂,其中机器人臂包括被连接到机器人驱动器的第一连杆、在第一可旋转连接处可旋转地被连接到第一连杆的第二连杆、以及在第二可旋转连接处可旋转地被连接到第二连杆的末端执行器。末端执行器包括位于末端执行器的衬底支撑区与第二可旋转连接之间的热扼流器。第一可旋转连接器或第二可旋转连接中的至少一个包括旋转热耦接件,旋转热耦接件具有相对于彼此可旋转的交错构件。

    具有分布式致动器的真空环境机器人

    公开(公告)号:CN115362051A

    公开(公告)日:2022-11-18

    申请号:CN202180027093.5

    申请日:2021-02-10

    摘要: 一种装置,包括驱动器;连接到所述驱动器的可移动臂,所述可移动臂包括在肩部处连接到所述驱动器的第一连杆、在肘部处连接到所述第一连杆的第二连杆、在腕部处连接到所述第二连杆的第三连杆、以及在所述腕部处连接到所述第二连杆的第四连杆;位于该第二连杆中的至少一个第一致动器,该第一致动器被配置成使得该第三连杆围绕该腕部旋转;以及位于所述第二连杆中的至少一个第二致动器,该第二致动器被配置成使得所述第四连杆围绕所述腕部旋转。通过第二连杆实现热管理、功率分配或通信中的一个或多个。