惯性传感器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102510996B

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:CN201080041707.7

    申请日:2010-09-22

    Inventor: 植村猛

    CPC classification number: G01C19/5776

    Abstract: 本发明的惯性传感器形成包括了振子、使振子振动的驱动单元、检测对振子提供的惯性量的检测单元、以及设置在振子和驱动单元之间的故障诊断单元的结构。而且,驱动单元具有:对振子供给基准电位的基准电位供给单元;以及基于从振子输出的监视信号,对振子供给驱动信号的驱动信号供给单元。故障诊断单元包括基于从基准电位供给单元至振子中流过的电流值来诊断有无故障的诊断单元。根据该结构,可以检测在驱动单元或振子上发生的故障。

    惯性力传感器
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101501448B

    公开(公告)日:2013-01-02

    申请号:CN200780029928.0

    申请日:2007-09-18

    Inventor: 植村猛

    CPC classification number: G01C19/5607 H01L41/1132

    Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器,在检测元件(1)中,检测角速度时,在产生角速度时基于第一加法值、第二加法值、第三加法值及第四加法值进行检测,该第一加法值为将从相互为正极的第二感应电极部(19b)的上部电极和第四感应电极部(20b)的上部电极输出的输出值相加的值,该第二加法值为将从相互为负极的第一感应电极部(19a)的上部电极和第三感应电极部(20a)的上部电极输出的输出值相加的值,该第三加法值为将从相互为正极的第一感应电极部(19a)的下部电极和第三感应电极部(20a)的下部电极输出的输出值相加的值,该第四加法值为将从相互为负极的第二感应电极部(19b)的下部电极和第四感应电极部(20b)的下部电极输出的输出值相加的值。根据以上的结构,提高检测灵敏度。

    惯性力传感器
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101990626B

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN200980112587.2

    申请日:2009-04-08

    CPC classification number: G01C19/5776 G01C25/00

    Abstract: 提供抑制角速度的检测精度的劣化,并且提高故障诊断的诊断精度的惯性力传感器。该惯性力传感器包括:具有驱动电极、监视电极、检测电极的振子;对驱动电极通电驱动信号并使振子振动的驱动电路;基于起因于惯性力并从检测电极输出的检测信号检测角速度的检测电路;基于从监视电极输出的监视信号而控制驱动信号的通电量的振动控制电路;以及对检测电路输入模拟角速度信号并进行故障诊断的故障诊断电路,在故障诊断时,是设置了切换在检测电路中包含的滤波器电路的特性并缩短延迟时间的滤波器切换电路的结构。

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