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公开(公告)号：CN101118007A
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200710143435.1
申请日：2007-07-31
CPC classification number: C23C16/26 , C23C14/0605 , Y10T29/49462 , Y10T74/22 , Y10T428/24983 , Y10T428/30
Abstract: 用作动力传动机构的高强度齿轮。该齿轮包括由已进行渗碳或碳氮共渗处理的铁基合金形成的基础齿轮。该基础齿轮具有用其啮合相对齿轮的啮合表面。基础齿轮的啮合表面涂覆有氢含量不大于10原子％和在纳米压痕试验中表面硬度范围为8至30GPa的第一类金刚石碳膜。另外，至少部分第一类金刚石碳膜涂覆有氢含量不大于10原子％和在纳米压痕试验中表面硬度范围为50至90GPa的第二类金刚石碳膜。该第二类金刚石碳膜具有范围为0.1至0.2μm的表面粗糙度Ra。
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公开(公告)号：CN100593655C
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：CN200710143435.1
申请日：2007-07-31
CPC classification number: C23C16/26 , C23C14/0605 , Y10T29/49462 , Y10T74/22 , Y10T428/24983 , Y10T428/30
Abstract: 用作动力传动机构的高强度齿轮。该齿轮包括由已进行渗碳或碳氮共渗处理的铁基合金形成的基础齿轮。该基础齿轮具有用其啮合相对齿轮的啮合表面。基础齿轮的啮合表面涂覆有氢含量不大于10原子%和在纳米压痕试验中表面硬度范围为20至30GPa的第一类金刚石碳膜。另外，至少部分第一类金刚石碳膜涂覆有氢含量不大于10原子%和在纳米压痕试验中表面硬度范围为71至90GPa的第二类金刚石碳膜。该第二类金刚石碳膜具有范围为0.1至0.2μm的表面粗糙度Ra。
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公开(公告)号：CN106460152B
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201580033045.1
申请日：2015-06-23
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C28/044 , B23B27/14 , B23B51/00 , B23C5/16 , C04B41/5024 , C04B41/5057 , C04B41/5062 , C04B41/522 , C23C14/06 , C23C28/042 , C23C28/42 , C23C28/44 , C23C30/005
Abstract: 本发明提供一种层叠型硬质被膜，其交替地层叠有各1层以上的作为(MaAlbCrcTaD)(BxCyNz)[其中，M为V等，0≤a≤0.35、0.05≤d≤0.35、0≤x≤0.15、0≤y≤0.50、a+b+c+d＝1、x+y+z＝1]的层A和作为(TiαSiβ)(BxCyNz)[其中，0.05≤β≤0.35、0≤x≤0.15、0≤y≤0.50、α+β＝1、x+y+z＝1]的层B。
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公开(公告)号：CN107532278A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680021502.X
申请日：2016-02-24
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明提供一种硬质皮膜，其是形成于基材表面的硬质皮膜，该硬质皮膜由包含元素X、Al和Cr的氮化物或碳氮化物构成，所述元素X为选自原子序号大于Cr的第4族元素、第5族元素及第6族元素中的至少1种，X元素的浓度最高点重复地存在于与基材表面垂直的方向，并且，在与垂直方向相邻的X元素的浓度最高点之间存在1个以上X元素的浓度最低点，组成在垂直方向连续地变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103392026B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201280009978.3
申请日：2012-02-23
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/32669 , H01J37/34 , H01J37/3402 , H01J37/345 , H01J37/3452
Abstract: 本发明的一实施方式的电弧式蒸发源（101）具备如下：使磁化方向沿着与靶（102）的前面平行的方向而以包围靶的外周的方式配置的环状的外周磁体（103）；使磁化方向沿着与靶（102）的前面正交的方向而配置在靶的背面侧的背面磁体（104）。外周磁体（103）的径向内侧的磁极和背面磁体（104）的靶（102）侧的磁极是彼此相同的极性。
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公开(公告)号：CN102933738B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201180027644.4
申请日：2011-06-15
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: B23K9/00 , C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/3402
Abstract: 本发明提供一种成膜速度快的电弧式蒸发源。本发明的电弧式蒸发源(1)具备：至少一个外周磁铁(3)，其包围标靶(2)的外周，并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；非环状的第一永磁铁(4A)，其配置于标靶(2)的背面侧，具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向极性且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；非环状的第二永磁铁(4B)，其在与所述第一永磁铁(4A)隔开间隔的状态下，配置于第一永磁铁(4A)与标靶(2)之间、或配置于第一永磁铁(4A)的背面侧，具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向的极性并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；以及磁性体(5)，其配置在第一永磁铁(4A)与第二永磁铁(4B)之间。
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公开(公告)号：CN101612822B
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN200910149436.6
申请日：2009-06-22
Applicant: 株式会社神户制钢所
Inventor： 山本兼司
CPC classification number: C23C14/06 , C23C14/022 , C23C14/0641 , C23C14/0664 , C23C14/325 , C23C28/044 , C23C28/048 , C23C28/42 , C23C30/005 , Y10T408/567 , Y10T428/12771 , Y10T428/24975 , Y10T428/265
Abstract: 本发明提供耐磨损性及密合性优异的硬质被膜覆盖部件以及成形用工具。硬质被膜覆盖部件具备由含有Cr的铁基合金形成的基材、以1～10μm的膜厚形成于基材的表面的第1被膜层、以2～10μm的膜厚形成于第1被膜层的表面的第2被膜层，第1被膜层由Cr1-a-bMaBb(CcN1-c)构成，M为选自W、V、Mo、Nb、Ti、Al中的1种以上的元素，a、b、c为原子比时，满足0≤a≤0.7、0≤b≤0.15、0≤c≤0.5、0.3≤1-a-b，第2被膜层由Nb1-d-e-fCrdAleLf(CgN1-g)构成，L为选自Si、Y、B中的1种以上的元素，d、e、f、g为原子比时，满足0.05≤1-d-e-f≤0.5、0.05≤d≤0.5、0.4≤e≤0.7、0≤f≤0.15、0≤g≤0.5。
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公开(公告)号：CN102304692B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201110252244.5
申请日：2006-10-20
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: C23C14/06
CPC classification number: C23C14/0641 , C23C14/06 , C23C14/0664 , Y10T428/30
Abstract: 一种被覆于工具表面的硬质保护膜，其组成为具有下面所规定原子比的(Cr1-a-bAlaSib)(BxCyN1-x-y)，0＜a≤0.4，0.05≤b≤0.35，0.25≤1-a-b≤0.9，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，或其组成为具有下面所规定原子比的(M1-a-bAlaSib)(BxCyN1-x-y)，0.05≤a≤0.5，0.1＜b≤0.35，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，式中M表示Ti和Cr。用于切削工具的该硬质保护膜具有比常规硬质保护膜更好的耐磨性。
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公开(公告)号：CN102057073A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200980121455.6
申请日：2009-03-31
CPC classification number: C23C14/0635 , C04B35/565 , C04B35/581 , C04B2235/3817 , C04B2235/3821 , C04B2235/3839 , C04B2235/3843 , C04B2235/3847 , C04B2235/3852 , C04B2235/3873 , C04B2235/3886 , C04B2235/79 , C23C14/0641 , C23C14/345 , C23C14/35 , C23C28/044 , C23C28/42
Abstract: 提供在晶体质中不具有裂纹且兼具高硬度和优异的耐磨性的硬质被膜层及其形成方法。覆盖基材(2)的晶体质的硬质被膜层(3)是利用PVD法形成的，并且，该硬质被膜层以Si和C为必要成分，以元素M[选自3A族元素、4A族元素、5A族元素、6A族元素、B、Al及Ru中的1种以上的元素]和N为选择成分，具有SixC1-x-y-zNyMz(0.4≤x≤0.6、0≤y≤0.1、0≤z≤0.2)的组成。
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