公开(公告)号：CN104995726B

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201480008665.5

申请日：2014-02-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： D·R·杜鲍斯 ,  B·杨 ,  J·周 ,  S·巴录佳 ,  A·K·班塞尔 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67248 ,  G01K1/08 ,  G01K1/14 ,  G01K7/02 ,  G01K7/16 ,  G01K13/00 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68792

Abstract: 本公开的实施例大体上提供用于监测各个位置处的个或更多个制程参数(诸如基板支撑件的温度)的设备及方法。本公开的个实施例提供种用于测量处理腔室中的或更多个参数的传感器柱。传感器柱包括:用于接触正经测量的腔室部件的尖端;具有自第端及第二端延伸的内容积的保护管,其中该尖端附接于保护管的第端并在第端处密封保护管;及安置于尖端附近的传感器。在保护管的内容积中安放传感器的连接器,及在操作期间经由处理腔室的开口将尖端安置于处理腔室中。

公开(公告)号：CN104995726A

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201480008665.5

申请日：2014-02-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： D·R·杜鲍斯 ,  B·杨 ,  J·周 ,  S·巴录佳 ,  A·K·班塞尔 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67248 ,  G01K1/08 ,  G01K1/14 ,  G01K7/02 ,  G01K7/16 ,  G01K13/00 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68792

Abstract: 本公开的实施例大体上提供用于监测各个位置处的一个或更多个制程参数(诸如基板支撑件的温度)的设备及方法。本公开的一个实施例提供一种用于测量处理腔室中的一或更多个参数的传感器柱。传感器柱包括：用于接触正经测量的腔室部件的尖端；具有自第一端及第二端延伸的内容积的保护管，其中该尖端附接于保护管的第一端并在第一端处密封保护管；及安置于尖端附近的传感器。在保护管的内容积中安放传感器的连接器，及在操作期间经由处理腔室的开口将尖端安置于处理腔室中。