激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置

    公开(公告)号:CN1232798C

    公开(公告)日:2005-12-21

    申请号:CN200410062208.2

    申请日:2004-06-30

    Abstract: 本发明涉及一种激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置,属于表面形状测量技术领域,特别适应于超精密圆柱度测量装置。本发明将激光透反组合监测补偿技术、主副双导轨直行技术和隔离式抗干扰驱动技术集为一体,以激光光束作为物理基准,依据导轨直线运动基准运动误差对圆柱度测量装置测量结果的作用规律,提供一种基于激光透、反组合监测补偿式主副双导轨结构的超精密圆柱度直线运动基准装置,克服了已有圆柱度测量装置直线运动基准技术的不足。

    分立式人字槽动静压气体复合圆柱轴承

    公开(公告)号:CN1270109C

    公开(公告)日:2006-08-16

    申请号:CN200510009636.3

    申请日:2005-01-18

    Abstract: 本发明“分立式人字槽动静压气体复合圆柱轴承”涉及一种高速、高刚度、大载荷超精密螺旋槽动静压气体复合圆柱轴承,在圆柱轴承工作面上,静压气浮供气点分布圆两侧分别开有人字形动压沟槽,在不增加气浮轴承耗气量的情况下,轴承承载能力比传统静压气浮轴承提高30%以上,轴承刚度比传统静压气浮轴承提高15%以上。

    双特征复合节流静压气体球面轴承

    公开(公告)号:CN1651781A

    公开(公告)日:2005-08-10

    申请号:CN200510009740.2

    申请日:2005-02-17

    Abstract: 本发明“双特征复合节流静压气体球面轴承”涉及一种高刚度、大载荷超精密静压气体球面轴承,在球面轴承工作面上,以静压气浮供气点为中心,加工有均压腔,均压腔外侧加工有放射状表面节流沟槽,表面节流沟槽与相应均压腔相通。轴承承载能力比传统静压气浮球面轴承提高30%以上,轴承刚度比传统静压气浮球面轴承提高15%以上。

    基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量装置与方法

    公开(公告)号:CN1329711C

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200510102478.6

    申请日:2005-09-14

    CPC classification number: G01B5/201 G01B11/007

    Abstract: 本发明公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量装置包括:瞄准及发讯装置,用以产生瞄准信号,并将瞄准结果反馈给控制装置、测长装置,用以在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微小腔体移动的距离、和控制装置,用以对整个测量装置的自动测量过程进行控制;其特征在于:所述瞄准及发讯装置包括激光耦合单元、数据采集处理单元和双光纤耦合单元;在双光纤耦合单元中,一根光纤作为入射光纤,另一根作为出射光纤,两根光纤的一端与耦合器固定连接。本发明还公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量方法。

    混合式螺旋槽动静压气体复合球面轴承

    公开(公告)号:CN1632332A

    公开(公告)日:2005-06-29

    申请号:CN200510009633.X

    申请日:2005-01-18

    Abstract: 本发明“混合式螺旋槽动静压气体复合球面轴承”涉及一种高速、高刚度、大载荷超精密螺旋槽动静压气体复合球面轴承,在球面轴承工作面上,静压气浮供气点分布圆两侧分别开有人字形动压沟槽,在不增加气浮轴承耗气量的情况下,轴承承载能力比传统静压气浮轴承提高30%以上,轴承刚度比传统静压气浮轴承提高15%以上。

    基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量装置与方法

    公开(公告)号:CN1731084A

    公开(公告)日:2006-02-08

    申请号:CN200510102478.6

    申请日:2005-09-14

    CPC classification number: G01B5/201 G01B11/007

    Abstract: 本发明公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量装置包括:瞄准及发讯装置,用以产生瞄准信号,并将瞄准结果反馈给控制装置、测长装置,用以在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微小腔体移动的距离、和控制装置,用以对整个测量装置的自动测量过程进行控制;其特征在于:所述瞄准及发讯装置包括激光耦合单元、数据采集处理单元和双光纤耦合单元;在双光纤耦合单元中,一根光纤作为入射光纤,另一根作为出射光纤,两根光纤的一端与耦合器固定连接。本发明还公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量方法。

    分立式人字槽动静压气体复合圆柱轴承

    公开(公告)号:CN1632335A

    公开(公告)日:2005-06-29

    申请号:CN200510009636.3

    申请日:2005-01-18

    Abstract: 本发明“分立式人字槽动静压气体复合圆柱轴承”涉及一种高速、高刚度、大载荷超精密螺旋槽动静压气体复合圆柱轴承,在圆柱轴承工作面上,静压气浮供气点分布圆两侧分别开有人字形动压沟槽,在不增加气浮轴承耗气量的情况下,轴承承载能力比传统静压气浮轴承提高30%以上,轴承刚度比传统静压气浮轴承提高15%以上。

    激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置

    公开(公告)号:CN1584495A

    公开(公告)日:2005-02-23

    申请号:CN200410062208.2

    申请日:2004-06-30

    Abstract: 本发明涉及一种激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置,属于表面形状测量技术领域,特别适应于超精密圆柱度测量装置。本发明将激光透反组合监测补偿技术、主副双导轨直行技术和隔离式抗干扰驱动技术集为一体,以激光光束作为物理基准,依据导轨直线运动基准运动误差对圆柱度测量装置测量结果的作用规律,提供一种基于激光透、反组合监测补偿式主副双导轨结构的超精密圆柱度直线运动基准装置,克服了已有圆柱度测量装置直线运动基准技术的不足。

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