一种凹腔型螺旋波等离子体源
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119012490A

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202411262888.6

    申请日:2024-09-10

    Abstract: 一种凹腔型螺旋波等离子体源,涉及等离子体科学技术领域。为解决现有技术中存在的,直线装置在放电中往往会破坏装置既定的磁场位形使实验产生偏差,在强磁场下难以达到符合预期的效果的技术问题,本发明提供的技术方案为:一种凹腔型螺旋波等离子体源,包括:真空密封及支撑部分,包括石英钟罩,为钟形,用于提供真空环境,底部固定在主法兰上,主法兰连接外部设备;所述电磁屏蔽与散热部分,包括屏蔽罩,为筒形,用于提供屏蔽能力,套接在所述主法兰外侧;天线,为L形,用于连接外部水冷系统和电源,设置在所述石英钟罩和屏蔽罩之间。所述述屏蔽罩通过内螺纹与所述主法兰连接,通过风扇和扇形空隙实现散热。应用于等离子体领域的等离子体源。

    一种基于射频电感耦合技术的等离子体调控装置

    公开(公告)号:CN119212188A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202411408329.1

    申请日:2024-10-10

    Abstract: 一种基于射频电感耦合技术的等离子体调控装置,涉及等离子体参数调控技术领域。为解决现有技术中存在的,传统的梯度生成设备,虽然能够产生高密度的电极,但其时间短、实验环境电极和持续可控性电极,难以在保证放电均匀性的同时产生足够大面积的等离子体的技术问题,本发明提供的技术方案为:一种基于射频电感耦合技术的等离子体调控装置,装置包括:放电腔室;环形天线主体,套接在放电腔室外壁上,用于在放电腔室内产生等离子体;接线柱,设置在环形天线上,用于连接射频电源的输入和输出端;耙式探针阵列,用于测量等离子体的电子密度和温度;伺服系统,用于驱动耙式探针阵列运动。适合应用于等离子体参数调控的工作中。

    偏滤器线圈模块及装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115691838A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202211121440.3

    申请日:2022-09-15

    Inventor: 刘畅 杨肖易

    Abstract: 偏滤器线圈模块及装置,涉及等离子体领域。针对现有技术中存在的,目前直线装置对偏滤器物理和工程的研究主要集中在等离子体与材料相互作用方面,直线装置由于没有闭合磁力线,等离子体电流较弱,不具备环形装置的偏滤器拓扑结构和磁场位形的问题,本发明提供的技术方案为:偏滤器线圈模块,模块包括:极向场线圈、辅助线圈、偏滤线圈和真空舱室;真空舱室为筒型结构;极向场线圈用于在导通时提供沿筒型结构轴线方向的均匀磁场;偏滤线圈用于在导通时提供与均匀磁场的方向相反方向上的磁场,且与均匀磁场叠加产生磁零点;辅助线圈用于在导通时提供用于调节偏滤器磁场位形结构的磁场。适合应用于在直线装置上研究偏滤器物理问题的实验平台中。

    基于磁力传动密封的高速往复式电动探针系统及驱动方法

    公开(公告)号:CN117890638A

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202311802902.2

    申请日:2023-12-26

    Abstract: 基于磁力传动密封的高速往复式电动探针系统及驱动方法,涉及等离子体诊断技术领域。为解决现有技术中存在的,现有的往复式快动探针系统中,气缸虽然可以通过进气量与负载的大小对于探针的位移距离进行大致的标定,但是在这种情况下气动探针的空间分辨率不能做到很高,而波纹管会导致探针杆不必要的长度增加,由相似三角形效应导致误差放大,测量精度降低的技术问题,本发明提供的技术方案为:基于磁力传动密封的高速往复式电动探针系统,系统包括:筒型真空舱室和探针系统,探针系统中探针的轴线与真空舱室轴线平行设置;探针系统与真空舱室的一端固定连接;探针在真空舱室内部,沿探针轴线做往复运动。可以应用于等离子体领域的诊断系统。

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