公开(公告)号：CN117890638A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202311802902.2

申请日：2023-12-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵旭 ,  杨肖易 ,  黄韬 ,  刘畅 ,  陈晟 ,  宋世龙 ,  王瑶

IPC: G01R1/067 ,  G01R19/00

Abstract: 基于磁力传动密封的高速往复式电动探针系统及驱动方法，涉及等离子体诊断技术领域。为解决现有技术中存在的，现有的往复式快动探针系统中，气缸虽然可以通过进气量与负载的大小对于探针的位移距离进行大致的标定，但是在这种情况下气动探针的空间分辨率不能做到很高，而波纹管会导致探针杆不必要的长度增加，由相似三角形效应导致误差放大，测量精度降低的技术问题，本发明提供的技术方案为：基于磁力传动密封的高速往复式电动探针系统，系统包括：筒型真空舱室和探针系统，探针系统中探针的轴线与真空舱室轴线平行设置；探针系统与真空舱室的一端固定连接；探针在真空舱室内部，沿探针轴线做往复运动。可以应用于等离子体领域的诊断系统。