一种利用动态阈值重心法提取共焦显微峰值的方法

    公开(公告)号:CN109540806B

    公开(公告)日:2019-11-05

    申请号:CN201811204522.8

    申请日:2018-10-16

    Abstract: 本发明公开了一种用于利用动态阈值重心法提取共焦显微峰值的方法,其利用共焦显微镜获取光谱仪上接收的离散轴向响应信号的波长和光强信息得到归一化的离散轴向响应信号;利用预设的强度阈值T计算动态阈值Td;归一化的离散轴向响应信号去除预设的Ik小于强度阈值T得到新的归一化的离散轴向响应信号;利用新的的归一化的离散轴向响应信号的波长和光强值及动态阈值Td求得归一化的离散轴向响应信号理想峰值波长,从而实现利用归一化的离散轴向响应信号理想峰值波长p进行色散共焦的快速测量,以确保色散共焦的快速测量的准确性。

    一种利用动态阈值重心法提取共焦显微峰值的方法

    公开(公告)号:CN109540806A

    公开(公告)日:2019-03-29

    申请号:CN201811204522.8

    申请日:2018-10-16

    Abstract: 本发明公开了一种用于利用动态阈值重心法提取共焦显微峰值的方法,其利用共焦显微镜获取光谱仪上接收的离散轴向响应信号的波长和光强信息得到归一化的离散轴向响应信号;利用预设的强度阈值T计算动态阈值Td;归一化的离散轴向响应信号去除预设的Ik小于强度阈值T得到新的归一化的离散轴向响应信号;利用新的的归一化的离散轴向响应信号的波长和光强值及动态阈值Td求得归一化的离散轴向响应信号理想峰值波长,从而实现利用归一化的离散轴向响应信号理想峰值波长p进行色散共焦的快速测量,以确保色散共焦的快速测量的准确性。

    一种高精度直线导轨的误差测量系统及方法

    公开(公告)号:CN110160471B

    公开(公告)日:2020-08-28

    申请号:CN201910380843.1

    申请日:2019-05-08

    Abstract: 本发明属于几何精度检测领域,并具体公开了一种高精度直线导轨的误差测量系统及方法。该系统包括固定单元和移动单元,其中:固定单元安装在数控机床的固定平面上,包括氦氖激光器、第一分光棱镜、第二分光棱镜、偏振分光棱镜、第一1/4波片和第一四象限探测器;移动单元安装在数控机床的移动工作台上,包括角锥棱镜。本发明采用对角度较不敏感的角锥棱镜进行直线度误差测量,能够有效避免由于角度变化引入的串扰和测量误差,同时将角锥棱镜安装在轴线或近轴线上,还能够有效减少阿贝误差对测量结果的影响,从而提高直线度测量的精度,并且通过布置其他器件能够实现六自由度同步测量,将各项误差进行解耦分离,从而提高测量结果的准确度。

    一种用于色散共焦峰值提取的补偿拟合差分信号方法

    公开(公告)号:CN109186458B

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201811140267.5

    申请日:2018-09-28

    Abstract: 本发明公开了一种用于色散共焦峰值提取的补偿拟合差分信号方法,其通过线性最小二乘法拟合归一化的离散光谱响应信号的差分信号得到初始峰值波长,进一步得到归一化的离散光谱响应信号初始峰值波长与理想峰值波长之间的误差并对其进行一阶导数变形,求解一阶导数变形的微分方程得到拟合的归一化的离散光谱响应信号初始峰值波长与理想峰值波长X之间的误差,进一步得到归一化的离散光谱响应信号的理想峰值波长的拟合值,从而实现利用归一化的离散光谱响应信号的理想峰值波长的拟合值进行色散共焦的快速测量,以确保色散共焦的快速测量的准确性。

    一种五自由度的白光干涉原子力探针位姿调整机构

    公开(公告)号:CN105242076B

    公开(公告)日:2018-04-24

    申请号:CN201510704968.7

    申请日:2015-10-27

    Abstract: 本发明公开了一种原子力探针位姿调整机构。包括探针座,调节机构和连接头。其中探针座用于原子力探针的安装固定;调节机构包括由下至上的第一调节部件、第二调节部件、第三调节部件以及第四调节部件,分别用于原子力探针的里外水平偏摆、左右水平和上下旋转、上下俯仰以及上下竖直位姿调节;连接头用于与显微物镜相连。本发明能够实现原子力探针姿态在五个自由度上的细微调节,各个调节动作相互独立,彼此不发生干涉,互不影响,提高了探针姿态的调节精度;且能够对调节后的位姿进行锁定,使其保持稳定。

    一种白光干涉原子力显微镜自动标定系统及自动标定方法

    公开(公告)号:CN106199079A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610801968.3

    申请日:2016-09-05

    CPC classification number: G01Q60/24 G01Q70/00

    Abstract: 本发明公开了一种白光干涉原子力显微镜探针自动标定系统及自动标定方法,其中实现自动标定控制方法中主要涉及的自动标定系统包括:标定样板,原子力探针组件,原子力探针,干涉显微物镜,面CCD及光路系统,水平二维电机运动平台,垂直电机运动和垂直纳米位移平台。按照本发明实现的自动标定系统以及根据该标定样板执行的标定方法,根据标定样板上的光强与探针表面的光强的对比关系来控制垂直电机运动平台和垂直纳米位移平台运动,从而控制探针接触到标定样板上的位置,由此完成标定,此方法能进一步提高标定速度,并且操作简单。

    一种可溯源白光干涉原子力探针自动定位工件方法

    公开(公告)号:CN105242074B

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201510703077.X

    申请日:2015-10-26

    Abstract: 本发明公开了一种可溯源白光干涉原子力探针自动定位工件方法,该方法包括如下步骤:在纳米级位移平台运动之前记录下激光干涉位移计量系统的初始位移;接着其在垂直方向上快速产生一个适量的位移,在位移发生后通过零级条纹的移动量是否在阈值范围内来判断原子力探针是否定位到工件,而如果纳米级垂直位移平台在到达极限的位移运动时还未定位到工件,记录下其最终位置,并将纳米级垂直位移平台复位,重复上述步骤,直至定位到工件。按照本发明设定的自动定位的方法,不受原子力探针与工件之间的距离限制,同时在定位过程中对位移进行计量,可实现可溯源,而采用零级条纹的移动量来判断探针是否定位到工件具有定位快速和高精度的显著效果。

    一种面、线CCD组合的原子力探针扫描测量系统及测量方法

    公开(公告)号:CN104614558A

    公开(公告)日:2015-05-13

    申请号:CN201510061415.4

    申请日:2015-02-05

    Abstract: 本发明公开了一种面、线CCD组合的白光干涉原子力探针扫描显微镜测量系统及其测量方法,该测量系统包括面、线CCD测量系统,原子力探针扫描显微镜组件,干涉光源系统,调整系统以及数据处理系统;干涉光源系统用于产生测试的白光光源传输于原子力探针扫描显微镜组件,其产生包含样品信息的干涉条纹;数据处理系统连接所述面、线CCD测量系统,分析所述干涉条纹,由此实现干涉零级条纹的测量,从而获得样品表面信息。按照本发明实现的面、线CCD组合的白光干涉原子力探针扫描显微镜测量系统及其测量方法,能够实现结构简单,高速度,高精度和高分辨率以及直观测量,由此解决原子力探针对焦困难,以及原子力探针微悬臂变形的检测的问题。

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