公开(公告)号：CN117699786A

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202311836323.X

申请日：2023-12-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈志蓥 ,  丁惠凤 ,  李彩艳 ,  孙浩 ,  高秀丽

IPC: C01B32/19 ,  C01B32/194

Abstract: 本发明涉及一种悬空石墨烯的制备方法，包括在衬底上旋涂剥离胶和光刻胶，经过曝光显影去除光刻胶和多余的剥离胶，将石墨烯和光刻胶的结合体转移到剥离胶上，经过曝光显影出现图形，刻蚀暴露的部分石墨烯，再一次旋涂光刻胶，再经过曝光显影去除多余光刻胶，在露出石墨烯的区域蒸发或溅射一层金属，然后去除光刻胶，最后去除剥离胶，即得。本发明可以精准实现不同形状不同尺寸的石墨烯悬空结构的制备，也可以应用于任意衬底，具有良好的推广应用前景。

公开(公告)号：CN1557964A

公开(公告)日：2004-12-29

申请号：CN200410016012.X

申请日：2004-01-19

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 赵建龙 ,  高秀丽 ,  杨剑波 ,  景奉香

IPC: C12Q1/68

Abstract: 一种利用基因芯片的检测方法，是在芯片表面进行原位PCR反应对待测基因进行检测的方法。将普通PCR反应中的上游引物连接poly(T)的臂结构后，5’端氨基修饰后连接于醛基修饰的玻片等载体上，在芯片表面上进行的一种芯片原位PCR反应。利用本发明能有效解决目前基因芯片杂交中小片断探针和待测大片段不能有效杂交的问题，实现了样品处理和标记同步化和原位检测。本发明可用于SNP检测、转基因植物检测、疾病检测等方面。

公开(公告)号：CN117894738A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202311818956.8

申请日：2023-12-26

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  上海为肯工业设计有限公司

Inventor： 李铁 ,  魏擅红 ,  王晓冬 ,  高秀丽 ,  魏鹏

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/78

Abstract: 本发明涉及一种薄膜转移装置及方法，装置包括：包括容器、限位罩、托架和转移工装，所述限位罩固定在所述容器上，所述限位罩限定一两端开口的限位腔；所述托架包括托板，托板上设有多个贯穿所述托板的通孔和多个支撑柱，多个支撑柱上可拆卸固定有用于吸附薄膜的转移工装。本发明的薄膜转移装置及方法，基于化学腐蚀方法，无需复杂机械设备即可完成薄膜的大尺寸转移，转移效率高，可实现器件的批量制备；通过限位罩限位和托板缓冲，避免因水流导致的薄膜运动与碰撞，减小薄膜破损概率，保证转移薄膜的性能。

公开(公告)号：CN117742076A

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202311836321.0

申请日：2023-12-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 丁惠凤 ,  陈志蓥 ,  李彩艳 ,  孙浩 ,  高秀丽

IPC: G03F7/16

Abstract: 本发明涉及一种提高匀胶平整性及均匀性的方法，包括如下步骤：提供任意衬底，将吸附性材料固定在衬底边缘，形成结合体；将结合体吸附在匀胶机上匀胶，即得到表面胶层厚度均匀的衬底。本发明解决了现有光刻技术中因胶层厚度不均匀导致的掩模版和衬底不能完全贴合的问题，相对现有技术，本发明能够显著改善掩模版和待光刻衬底的贴合，操作简单，成本低廉，适合所有尺寸的样品。

公开(公告)号：CN1291037C

公开(公告)日：2006-12-20

申请号：CN200410016012.X

申请日：2004-01-19

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 赵建龙 ,  高秀丽 ,  杨剑波 ,  景奉香

IPC: C12Q1/68

Abstract: 一种利用基因芯片的检测方法，是在芯片表面进行原位PCR反应对待测基因进行检测的方法。将普通PCR反应中的上游引物连接poly(T)的臂结构后，5’端氨基修饰后连接于醛基修饰的玻片等载体上，在芯片表面上进行的一种芯片原位PCR反应。利用本发明能有效解决目前基因芯片杂交中小片断探针和待测大片段不能有效杂交的问题，实现了样品处理和标记同步化和原位检测。本发明可用于SNP检测、转基因植物检测、疾病检测等方面。