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公开(公告)号：CN1222795C
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN02112181.8
申请日：2002-06-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海联能科技有限公司
Abstract: 一种采用以压电晶片驱动器制作的二维光开关矩阵及其方法，属于光通信领域，其特征在于镜面排列方法由密排发展为非密排；光纤准直器排列方式由原来对准镜面中心发展为对着镜面间隙；双压电晶片驱动器是由两根长条状压电材料相互平行地粘贴在一起，沿粘贴面插入中间电极，而第二电极和第三电极则分布在粘贴面相对的另两个面上，其根部固定在支架上；工作时，不同的电压沿电极加到压电片上，产生弯曲，其弯曲方向和弯曲大小由电压来控制；镜面或插入双压电晶片的自由端开出的定位槽中；或通过粘贴法粘贴在双压电晶片自由端的侧壁上。本发明突破了“不工作镜面中心不允许与准直器中心在同一高度上”限制。
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公开(公告)号：CN1215348C
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN02145147.8
申请日：2002-11-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种竖直镜面微机械光开关及其制作方法，其特征在于：该光开关的悬臂梁、微镜、光输入和输出的对准槽全都集成在一个硅片上；以非零度角入射，输出在反射角方向接收，输入球透镜最大程度地靠近镜面，输出球透镜前后错开摆放，输入和输出的光轴平面与微镜中心在同一水平面上；所述的悬臂梁，根部固定，自由端有一镜面与之垂直，在悬臂梁左右分别制作两个对称电极，同时在靠近自由端处有两个限位块，采用静电力驱动方式；悬臂梁靠近自由端处的限位块控制转动的角度和确保电绝缘；该光开关通过腐蚀(100)硅片，制得硅的(111)竖直镜面。具有自对准、光功率损失小，开关时间短、串扰小、使用方便等优点。
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公开(公告)号：CN1178088C
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN01139287.8
申请日：2001-12-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜。其特征在于驱动电极呈多级阶梯底电极结构；阶梯结构底电极台阶数至少大于或等于2，阶梯底电极与微镜的角度由台阶高度h和台阶宽度l的比值控制。通过X方向和Y方向分别设置扭梁并进行二维嵌套，可方便地扩展为二维转动微镜。其制作方法或用无掩膜各向异性腐蚀，或用DRIE干法刻蚀，或用这二种方法组合制作，然后将阶梯电极和微镜对准、安装。所用的材料为单晶硅或SOI材料，本发明综合了现有技术中倾斜电极和平行于微镜的底电极两种现有转动微镜的优点。
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公开(公告)号：CN1206550C
公开(公告)日：2005-06-15
申请号：CN03116501.X
申请日：2003-04-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种垂直光滑的反射微镜的制作方法，其特征在于利用硅的干法刻蚀和各向异性腐蚀相结合在绝缘层上的硅材料上制作的；具体步骤是：(1)在绝缘层上的硅上生长一层可用于硅的各向异性腐蚀的掩模；(2)在掩模上光刻出制作镜子的窗口；(3)利用步骤(2)中的光刻胶或已经光刻出镜子窗口的掩模作掩模进行硅的干法刻蚀，刻蚀出垂直、相对光滑的镜面；(4)在各向异性腐蚀液中腐蚀，而制成垂直、光滑的镜面。本发明优点在于镜面光滑，可在更小区域内制作面积是足够大镜面；无用区域小以及工艺简单，仅增加一步干法刻蚀工艺。
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公开(公告)号：CN1448737A
公开(公告)日：2003-10-15
申请号：CN03116501.X
申请日：2003-04-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种垂直光滑的反射型微镜的制作方法，其特征在于利用硅的干法刻蚀和各向异性腐蚀相结合在绝缘层上的硅材料上制作的；具体步骤是：(1)在绝缘层上的硅上生长一层可用于硅的各向异性腐蚀的掩模；(2)在掩模上光刻出制作镜子的窗口；(3)利用步骤(2)中的光刻胶或已经光刻出镜子窗口的掩模作掩模进行硅的干法刻蚀，刻蚀出垂直、相对光滑的镜面；(4)在各向异性腐蚀液中腐蚀，而制成垂直、光滑的镜面。本发明优点在于镜面光滑，可在更小区域内制作面积是足够大镜面；无用区域小以及工艺简单，仅增加一步干法刻蚀工艺。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1385720A
公开(公告)日：2002-12-18
申请号：CN02112181.8
申请日：2002-06-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海联能科技有限公司
Abstract: 一种采用双压电晶片驱动器制作的二维光开关矩阵,属于光通信领域,其特征在于镜面排列方式由密排发展为非密排;光纤准直器排列方式由原来对准镜面中心发展为对着镜面间隙;双压电晶片驱动器是由两根长条状压电材料相互平行地粘贴在一起,沿粘贴面插入中间电极,而第二电极和第三电极则分布在粘贴面相对的另两个面上,其根部固定在支架上;工作时,不同的电压沿电极加到压电片上,产生弯曲,其弯曲方向和弯曲大小由电压来控制;镜面或插入双压电晶片的自由端开出的定位槽中;或通过粘贴法粘贴在在双压电晶片自由端的侧壁上。本发明突破了“不工作镜面中心不允许与准直器中心在同一高度上”限制。
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公开(公告)号：CN1405592A
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：CN02137791.X
申请日：2002-11-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种利用 硅片制作微机械光开关的设计，属于光电子器件领域。其特征在于它是由A、B两个部分紧密结合而成，且相互绝缘；A部分上的组件有外框架、左右两个副悬臂梁、左右两个副质量块、主悬臂梁、主质量块、微镜、微镜支撑体、两个进光光纤定位槽和两个出光光纤定位槽；B部分上的组件有一个上层面、左右两个中层面、一个底层面、左右两个副电极、主电极以及左右两个阻挡块。通过在 硅片上制作出垂直的 镜面，并设计结构使之可以在垂直方向上大位移移动从而完成光路切换功能。 镜面严格与 底面垂直以及微镜支撑体设计、大位移结构设计都极大地降低了光信号的损耗。
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公开(公告)号：CN1405590A
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：CN02145147.8
申请日：2002-11-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种竖直镜面微机械光开关及其制作方法，其特征在于：该光开关的悬臂梁驱动器、反射镜、光输入和输出的对准槽全都集成在一个硅片上；以非零度角入射，输出在反射角方向接收，输入球透镜最大程度地靠近镜面，输出球透镜前后错开摆放，输入和输出的光轴平面与微镜中心在同一水平面上；所述的悬臂梁驱动器，根部固定，自由端有一镜面与之垂直，在悬臂梁左右分别制作两个对称电极，同时在靠近自由端处有两个限位块，采用静电力驱动方式；悬臂梁靠近自由端处的限位块控制转动的角度和确保电绝缘；该光开关通过腐蚀(100)硅片，制得硅的{111}竖直镜面。具有自对准、光功率损失小，开关时间短、串扰小、使用方便等优点。
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公开(公告)号：CN1359017A
公开(公告)日：2002-07-17
申请号：CN01139287.8
申请日：2001-12-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明涉及一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜。其特征在于驱动电极呈多级阶梯底电极结构;阶梯结构底电极台阶数至少大于或等于2,阶梯底电极与微镜的角度由台阶高度h和台阶宽度l的比值控制。通过X方向和Y方向分别设置扭梁并进行二维嵌套,可方便地扩展为二维转动微镜。其制作方法或用无掩膜各向异性腐蚀,或用DRIE干法刻蚀,或用这二种方法组合制作,然后将阶梯电极和微镜对准、安装。所用的材料为单晶硅或SOI材料,本发明综合了现有技术中倾斜电极和平行于微镜的底电极两种现有转动微镜的优点。
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公开(公告)号：CN2571076Y
公开(公告)日：2003-09-03
申请号：CN02267128.5
申请日：2002-09-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海联能科技有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种用压电体驱动器制作的二维光开关矩阵。其特征在于：(1)由相互垂直光纤准直器阵列、反电体驱动器、上定位板、镜面方阵以及相尖关驱动器组成；(2)光纤准直器阵列与压电体驱动器成45度角；(3)在每个压电体驱动器的顶部安装一个反射镜面；(4)压电体驱动器底端排成阵列固定在基板定位槽内，顶端置于上定位板的导引槽里；(5)压电驱动器的电极与驱动器电路通过焊接工艺连接。每个压电驱动器的表面或直接加工成镜面，每个压电驱动器由数十片陶瓷薄片在电学上并联，机械上串联的方式组成。由于采用压电体驱动器替代传统的技术制作的驱动器，使制作的光开关阵列不仅体积小且一致性好，适合未来器件发展的需要。
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