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公开(公告)号：CN117140370A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311403735.4
申请日：2023-10-27
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及超声空化喷丸技术，具体是一种具有专用夹具的六自由度双频超声空化喷丸装置，其包括水槽、专用夹具、两个三自由度移动机构、两个三自由度转动机构、两个连接机构、两个超声空化喷丸工具头，所述专用夹具包括纵向手动直线模组、两个L形折板、两根纵向传动轴、两个电机承托板、两个纵向驱动电机、两个传动圆盘、两个虎钳，两个三自由度移动机构分别固定于水槽的左外侧面上端和右外侧面上端，两个三自由度转动机构分别固定于两个三自由度移动机构的自由端，其解决了现有超声空化喷丸装置喷丸效率低、喷丸效果差、适用范围受限的问题，适用于金属、陶瓷、玻璃、塑料等材料的表面处理和改性。
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公开(公告)号：CN115821029B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202310054565.7
申请日：2023-02-03
Applicant: 中北大学
IPC: B23Q17/22 , B23Q17/12 , B23Q17/00 , B23P9/00 , B29C65/08 , B24B39/00 , C21D10/00 , C21D11/00 , G01D21/02
Abstract: 本发明提供了一种力‑声压检测式超声空化改性微调控制系统，属于超声空化控制系统的技术领域，包括纵向升降机构、旋转机构Ⅰ、旋转机构Ⅱ、超声纵振工具头、激光测距传感器、液体容器、改性工作下平台、改性工作上平台、三向力传感器、旋转升降臂、传感器安装臂、声压传感器和计算机。本系统能够检测超声空化过程中被改性工件的受力情况以及最大负压区，依据检测值控制超声纵振工具头的靶距以及工具头端面与被改性工件之间的夹角。
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公开(公告)号：CN117047572A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311301261.2
申请日：2023-10-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及珩磨加工技术领域，具体是一种偏心主轴压电微调控自加载双频超声复合式珩磨刀具，其包括刀座、若干个压电陶瓷片A、端盖、紧固螺栓A、变幅杆、挠性螺杆、油石条、两个陀螺仪、前油石座、两根紧固螺栓B、两个压电陶瓷片B、后油石座、若干个压电陶瓷片C、前传动盘、紧固螺栓C、两个应变传感器、后传动盘、两根紧固螺栓D，其中，刀座的上端面中央开设有盲螺孔A，刀座的下端面中央开设有盲螺孔B，每个压电陶瓷片A的端面中央均贯通开设有紧固孔A，各个压电陶瓷片A自下而上层叠构成第一压电晶堆，其有效解决了现有珩磨加工技术加工效率较低、加工精度较差、加工范围受限的问题，适用于珩磨加工。
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公开(公告)号：CN115821029A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202310054565.7
申请日：2023-02-03
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种力‑声压检测式超声空化改性微调控制系统，属于超声空化控制系统的技术领域，包括纵向升降机构、旋转机构Ⅰ、旋转机构Ⅱ、超声纵振工具头、激光测距传感器、液体容器、改性工作下平台、改性工作上平台、三向力传感器、旋转升降臂、传感器安装臂、声压传感器和计算机。本系统能够检测超声空化过程中被改性工件的受力情况以及最大负压区，依据检测值控制超声纵振工具头的靶距以及工具头端面与被改性工件之间的夹角。
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公开(公告)号：CN117484291A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311855119.2
申请日：2023-12-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于碳化硅衬底材料抛光技术领域，解决了现有超声辅助化学机械抛光精度低、且适用性差的问题。提供了一种超声振动辅助抛光装置，超声振动单元通过十字滑台设置在机架的正面，能够相对机架横向、竖向滑动；超声振动单元包括阶梯轴、总套筒、微距调节机构和超声纵向振动机构；总套筒的内壁处设置有多道起限位作用的环形板；微距调节机构和超声纵向振动机构沿阶梯轴的轴向顺次设置；微距调节机构外接有压电陶瓷驱动器，压电陶瓷驱动器能够带动微距调节机构进行微距调节；超声纵向振动机构外接超声波发生器，超声波发生器能够带动超声纵向振动机构实现纵向的正弦振动。本装置能够实现对抛光精度的微米级调控和对不同规格的晶片的稳定吸附。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117140370B
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311403735.4
申请日：2023-10-27
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及超声空化喷丸技术，具体是一种具有专用夹具的六自由度双频超声空化喷丸装置，其包括水槽、专用夹具、两个三自由度移动机构、两个三自由度转动机构、两个连接机构、两个超声空化喷丸工具头，所述专用夹具包括纵向手动直线模组、两个L形折板、两根纵向传动轴、两个电机承托板、两个纵向驱动电机、两个传动圆盘、两个虎钳，两个三自由度移动机构分别固定于水槽的左外侧面上端和右外侧面上端，两个三自由度转动机构分别固定于两个三自由度移动机构的自由端，其解决了现有超声空化喷丸装置
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公开(公告)号：CN114878752A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210543193.X
申请日：2022-05-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01N33/00
Abstract: 本发明涉及双频超声空化实验技术，具体是一种具有多自由度的双频超声空化实验装置。本发明解决了现有双频超声空化实验技术导致超声工具头的调节灵活性差、调节精准度低的问题。一种具有多自由度的双频超声空化实验装置，包括水平底板、两对导向立柱、两个弧条形下约束块、两个弧条形上约束块、两个弧条形滑动座块、两根传动丝杠、两个步进电机、两个U形支架、两个连接座块、两个抱箍夹具、两个超声工具头、加热称重台、烧杯、两根导气管、支撑立柱A、支撑臂、导料筒、支撑立柱B、测温仪。本发明适用于双频超声空化实验。
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公开(公告)号：CN114878752B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202210543193.X
申请日：2022-05-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01N33/00
Abstract: 本发明涉及双频超声空化实验技术，具体是一种具有多自由度的双频超声空化实验装置。本发明解决了现有双频超声空化实验技术导致超声工具头的调节灵活性差、调节精准度低的问题。一种具有多自由度的双频超声空化实验装置，包括水平底板、两对导向立柱、两个弧条形下约束块、两个弧条形上约束块、两个弧条形滑动座块、两根传动丝杠、两个步进电机、两个U形支架、两个连接座块、两个抱箍夹具、两个超声工具头、加热称重台、烧杯、两根导气管、支撑立柱A、支撑臂、导料筒、支撑立柱B、测温仪。本发明适用于双频超声空化实验。
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公开(公告)号：CN117484291B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311855119.2
申请日：2023-12-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于碳化硅衬底材料抛光技术领域，解决了现有超声辅助化学机械抛光精度低、且适用性差的问题。提供了一种超声振动辅助抛光装置，超声振动单元通过十字滑台设置在机架的正面，能够相对机架横向、竖向滑动；超声振动单元包括阶梯轴、总套筒、微距调节机构和超声纵向振动机构；总套筒的内壁处设置有多道起限位作用的环形板；微距调节机构和超声纵向振动机构沿阶梯轴的轴向顺次设置；微距调节机构外接有压电陶瓷驱动器，压电陶瓷驱动器能够带动微距调节机构进行微距调节；超声纵向振动机构外接超声波发生器，超声波发生器能够带动超声纵向振动机构实现纵向的正弦振动。本装置能够实现对抛光精度的微米级调控和对不同规格的晶片的稳定吸附。
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公开(公告)号：CN117047572B
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311301261.2
申请日：2023-10-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及珩磨加工技术领域，具体是一种偏心主轴压电微调控自加载双频超声复合式珩磨刀具，其包括刀座、若干个压电陶瓷片A、端盖、紧固螺栓A、变幅杆、挠性螺杆、油石条、两个陀螺仪、前油石座、两根紧固螺栓B、两个压电陶瓷片B、后油石座、若干个压电陶瓷片C、前传动盘、紧固螺栓C、两个应变传感器、后传动盘、两根紧固螺栓D，其中，刀座的上端面中央开设有盲螺孔A，刀座的下端面中央开设有盲螺孔B，每个压电陶瓷片A的端面中央均贯通开设有紧固孔A，各个压电陶瓷片A自下而上层叠构成第一压电晶堆，其有效解决了现有珩磨加工技术加工效率较低、加工精度较差、加工范围受限的问题，适用于珩磨加工。(56)对比文件黄卫清;宁青双;安大伟;杨成龙.压电超声辅助研磨抛光技术研究进展.压电与声光.2019,(第02期),全文.
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