公开(公告)号：CN1722451A

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN200510084430.7

申请日：2005-07-15

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 日野辉重 ,  田上和昭 ,  柴田英次 ,  小田拓嗣

IPC: H01L27/12 ,  H01L21/84 ,  H01L21/768 ,  H01L21/28 ,  G09F9/30 ,  G02F1/133

CPC classification number: H01L21/31116 ,  G02F1/136227 ,  H01L27/1248 ,  Y10S156/916 ,  Y10T29/41

Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以保持蚀刻的一致性并进行高可靠性蚀刻的显示装置的制造方法和制造装置。在本发明的显示装置的制造方法中，在一对电极间产生电场，在至少在表面含有铝的下部电极(2)上的绝缘性基板(3)的表面所形成的绝缘膜上形成接触孔，其特征在于，包括：在上述下部电极(2)上，包围设置了上述绝缘性基板(3)的区域的外周部被绝缘材料所覆盖，在该状态下，在上述绝缘膜上形成接触孔的工序。

公开(公告)号：CN100388502C

公开(公告)日：2008-05-14

申请号：CN200510084430.7

申请日：2005-07-15

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 日野辉重 ,  田上和昭 ,  柴田英次 ,  小田拓嗣

IPC: H01L27/12 ,  H01L21/84 ,  H01L21/768 ,  H01L21/28 ,  G09F9/30 ,  G02F1/133

CPC classification number: H01L21/31116 ,  G02F1/136227 ,  H01L27/1248 ,  Y10S156/916 ,  Y10T29/41

Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以保持蚀刻的一致性并进行高可靠性蚀刻的显示装置的制造方法和制造装置。在本发明的显示装置的制造方法中，在一对电极间产生电场，在至少在表面含有铝的下部电极(2)上的绝缘性基板(3)的表面所形成的绝缘膜上形成接触孔，其特征在于，包括：在上述下部电极(2)上，包围设置了上述绝缘性基板(3)的区域的外周部被绝缘材料所覆盖，在该状态下，在上述绝缘膜上形成接触孔的工序。

公开(公告)号：CN101064273A

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN200710101893.9

申请日：2007-04-25

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 田上和昭 ,  日野辉重 ,  柴田英次 ,  屋比久英夫

IPC: H01L21/768 ,  H01L21/84 ,  H01L23/522 ,  H01L27/12 ,  G02F1/1362

Abstract: 本发明提供一种能够防止导电层损伤的布线衬底及其制造方法以及显示装置。本发明的一个实施方式的布线衬底的制造方法具有如下步骤：第一刻蚀步骤，为了对含Al的下层(31)以及含Mo的上层(32)进行侧面刻蚀，通过抗蚀剂图形(33)对下层(31)以及上层(32)进行刻蚀；灰化步骤，在第一刻蚀步骤之后，为使上层(32)侧端部的表面露出，使抗蚀剂图形(33)后退；第二刻蚀步骤，在灰化步骤后，为使上层(32)的剖面成为正锥形形状，通过后退后的抗蚀剂图形(33)进行刻蚀。