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公开(公告)号：CN101997090A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010248429.4
申请日：2010-08-05
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种薄膜沉积设备和利用该薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的方法。薄膜沉积设备包括多个薄膜沉积组件，每个薄膜沉积组件包括：沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧，并包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置为面对沉积源喷嘴单元，并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；障碍板组件，设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间。障碍板组件包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间的多个障碍板。
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公开(公告)号：CN102127748A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110029291.3
申请日：2011-01-11
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C16/04 , C23C16/455 , C23C16/52
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , H01L51/001
Abstract: 本发明公开了一种薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备可被简单应用于大规模生产大尺寸显示装置并提高生产率。薄膜沉积设备包括：沉积源，排出沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，被设置成与所述沉积源喷嘴单元相对，所述图案化缝隙片包括沿与第一方向垂直的第二方向布置的多个图案化缝隙。在基底或者薄膜沉积设备沿第一方向彼此相对移动的同时执行沉积，沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片彼此一体地形成。
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公开(公告)号：CN102169967A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110021753.7
申请日：2011-01-14
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/568 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种薄膜沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法。薄膜沉积设备包括：沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧处，并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置为与沉积源喷嘴单元相对，并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；障碍板组件，沿第一方向设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间，并包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间的多个障碍板，其中，所述薄膜沉积设备与基底分开预定的距离，所述薄膜沉积设备和基底能够相对于彼此移动。
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公开(公告)号：CN101997092A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010263417.9
申请日：2010-08-25
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/562 , H01L27/3244 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种薄膜沉积设备和制造有机发光显示装置的方法。提供了一种可以应用于大规模制造大尺寸显示装置并改善了生产率的薄膜沉积设备和通过利用该薄膜沉积设备来制造有机发光显示装置的方法。所述方法包括如下步骤：将基底布置为与薄膜沉积设备分开预定距离；在薄膜沉积设备或基底相对于彼此移动的同时将从薄膜沉积设备排放的沉积材料沉积在基底上。
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