超宽带高频互联结构及制备方法
摘要:
本发明提供一种超宽带高频互联结构及制备方法,包括从下到上依次层叠设置的底层导电层、形变金属层和键合互联金属层,且底层导电层的两端分别和键合互联金属层的两端连接;形变金属层包括层叠设置的至少一个第一子金属层和至少一个第二子金属层,且第一子金属层和第二子金属层的热应力不同;键合互联金属层的两端、形变金属层的两端以及底层导电层的两端均向靠近键合互联金属层上表面的中间位置弯曲,且该弯曲是基于第一子金属层和第二子金属层的热应力不同形成的自然变形。本发明提供的互联结构强度高一致性好。
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