本发明公开了一种氧化物复合粉体及其制备方法与应用。本发明的氧化物复合粉体按照重量百分比计，包含氧化镨0.1～30％、氧化铟20～70％、氧化锌5～30％、氧化镓3～15％和氧化锡1～10％，其制备方法包括：向氯化锡溶液中滴加氢氧化钠在pH值为6～8.5条件下沉淀，得到氢氧化锡前驱体，并进行水热处理，处理完成后加入氯化锌、氯化铟、氯化镓、氯化镨混合溶液和碱性物质在pH值为7～9下反应，反应完成后，得氧化物复合粉前驱体；将氧化物复合粉前驱体置于800℃～900℃下煅烧，即得氧化物复合粉体。采用本发明的制备方法制得的氧化物复合粉体烧结活性好，且在较低的烧结温度下即可获得高密度且均一性好的氧化物靶材。