发明授权
- 专利标题: 约瑟夫森结及其制备方法
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申请号: CN202210733607.5申请日: 2022-06-24
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公开(公告)号: CN115433905B公开(公告)日: 2023-06-02
- 发明人: 赵勇杰 , 马亮亮 , 沈龙 , 张润潇 , 徐望胜
- 申请人: 合肥本源量子计算科技有限责任公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期E2楼六层
- 专利权人: 合肥本源量子计算科技有限责任公司
- 当前专利权人: 合肥本源量子计算科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期E2楼六层
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24 ; C23C14/22 ; H10N60/10 ; H10N60/01
摘要:
本发明公开了一种约瑟夫森结及其制备方法。该制备方法包括:在衬底上确定第一区域和第二区域,第一区域与第二区域具有相交区域;形成第一超导层于第一区域;通过氧化形成第一势垒层于第一超导层上;形成第二超导层于相交区域的第一势垒层上;通过氧化将第二超导层整体转化为第二势垒层;形成第三超导层于第二势垒层上,以在相交区域获得约瑟夫森结。该约瑟夫森结由该制备方法得到。通过上述方式,本发明能够在降低势垒层的氧化气压的情况下控制势垒层厚度,进而获得大线宽的约瑟夫森结。
公开/授权文献
- CN115433905A 约瑟夫森结及其制备方法 公开/授权日:2022-12-06
IPC分类: