约瑟夫森结及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种约瑟夫森结及其制备方法。该制备方法包括:在衬底上确定第一区域和第二区域,第一区域与第二区域具有相交区域;形成第一超导层于第一区域;通过氧化形成第一势垒层于第一超导层上;形成第二超导层于相交区域的第一势垒层上;通过氧化将第二超导层整体转化为第二势垒层;形成第三超导层于第二势垒层上,以在相交区域获得约瑟夫森结。该约瑟夫森结由该制备方法得到。通过上述方式,本发明能够在降低势垒层的氧化气压的情况下控制势垒层厚度,进而获得大线宽的约瑟夫森结。
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