谐振子以及谐振装置
摘要:
抑制谐振子上的绝缘体层或者绝缘体层上的导电层带电的电荷给谐振频率带来的影响。具备:第一电极以及第二电极;压电膜,被设置在第一电极与第二电极之间,并具有与第一电极对置的上表面,当电压施加于第一电极和第二电极之间时以规定的振动模式振动;保护膜,由绝缘体构成,并隔着第一电极与压电膜的上表面对置地设置;以及导电膜,由导电体构成,并隔着保护膜与压电膜的上述上表面对置地设置,导电膜与第一电极以及第二电极中的任意一方电连接。
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